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13I请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体股份本文件主要起草人：马茜茜、崔雯、安园园、张露露、滕鑫胜、殷越玲、陈琛、1高纯六氟化钨中杂质的检测本文件适用于电子工业用气体高纯六氟化钨中氧+氩、氮气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用GB/T28726气体分析氦离子化气相GB/T6040-2019红外光谱分析方法通则国家151555555555552555555555552225552225氧气+氩气、氮气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅含量的测定采用气路切换装置的氦离子化检测器的气相色谱仪（GB/T2872经色谱柱分离后进入氦离子化检测器时，与亚稳态的氦发生非弹性碰撞而电离，在检测器的收集极输出相应的微电流，微电流经放大器放大后的电流讯号在一定范围内与组分含量成正比。将样品气体的色谱峰与标准气体进行比较，根据保留时间定性，讯号大小定量，从而测定样品气体中各组分5.2.1载气：高纯氦气，纯度≥99.999×10-2（体积分）；配备气路切换装置和氦离子化检测器（PDD）的气相色谱仪，仪器对氧气+氩气、氮气、四氟化3b)衰减：10⁹;Φ——样品气中待测组分i的含量(体积分数，10⁶);Φsi-标准气中待测组分i的含量(体积分数，10⁶);氮中氟化氢标准气体：含量为(1~10)×10⁶(体积分数)。4采用配备相应气体池的傅立叶红外光谱仪测定六氟化钨中氟化氢的含量。检测限：0.1×10-6高）。每种标准样品至少重复进样两次，直至两两次平行测定的相对偏差不大于5%，取平HFASHFΦΦSHFAHF(2)HFASHFΦsHF——标准气体中HF的含量（体积分数，10-65六氟化钨中氧气+氩气、氮气、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅含量测定气古9③⑥⑥②针阀3针阀

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