T-CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

T/CASME1953—2025半导体设备用全氟醚橡胶密封制品Perfluoroetherrubbersealingproductsforsemiconductorequipment2025-03-21发布2025-04-21实施发布发布Ⅰ前言 Ⅲ 2规范性引用文件 3术语和定义 4分类 5技术要求 6试验方法 7检验规则 8标志、标签和随行文件 Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由江苏多肯新材料有限公司提出。本文件由中国中小商业企业协会归口。本文件起草单位：江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司。1半导体设备用全氟醚橡胶密封制品本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签本文件适用于工作温度范围为-45℃~320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T528硫化橡胶或热塑性橡胶拉伸应力应变性能的测定GB/T531.1硫化橡胶或热塑性橡胶压入硬度试验方法第1部分：邵氏硬度计法（邵尔硬度）GB/T1690硫化橡胶或热塑性橡胶耐液体试验方法GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T2941橡胶物理试验方法试样制备和调节通用程序GB/T3452.1—2005液压气动用O形橡胶密封圈第1部分：尺寸系列及公差GB/T3452.2—2007液压气动用O形橡胶密封圈第2部分：外观质量检验规范GB/T3512硫化橡胶或热塑性橡胶热空气加速老化和耐热试验GB/T3672.1橡胶制品的公差第1部分：尺寸公差GB/T5719橡胶密封制品词汇GB/T5721橡胶密封制品标志、包装、运输、贮存的一般规定GB/T7757硫化橡胶或热塑性橡胶压缩应力应变性能的测定GB/T7759.1硫化橡胶或热塑性橡胶压缩永久变形的测定第1部分：在常温及高温条件下GB/T7762硫化橡胶或热塑性橡胶耐臭氧龟裂静态拉伸试验GB/T15256硫化橡胶或热塑性橡胶低温脆性的测定（多试样法）HG/T3090模压和压出橡胶制品外观质量的一般规定3术语和定义GB/T5719界定的以及下列术语和定义适用于本文件。全氟醚橡胶密封制品perfluoroetherrubbersealingproduct由全氟甲基乙烯基醚、四氟乙烯与全氟烯丙基醚三元共聚得到的一类弹性体材料制成，用于密封装置的零部件。2全氟醚橡胶密封制品（以下简称“产品”）按型式不同分为Ο型圈、非Ο型圈。非Ο型圈包括其他型式的模压制品、压出制品、压延胶板。5技术要求5.1外观质量5.1.1Ο型圈的外观质量应符合GB/T3452.2—2007中S级的要求。5.1.2非Ο型圈的外观质量应符合HG/T3090的要求。5.2尺寸公差5.2.1Ο型圈的尺寸和公差应符合GB/T3452.1—2005中A系列的要求。5.2.2非Ο型圈的尺寸和公差应符合GB/T3672.1的相关要求。5.3材料力学性能材料力学性能应符合表1的规定。表1材料力学性能项目要求邵尔硬度（HA）75±5拉伸强度/MPa≥15拉断伸长率/%≥160压缩回弹率（23℃×24h）/%压缩率5%≥80压缩率10%≥78压缩率15%≥75压缩永久变形（B型试样）/%0~150~25热空气老化（230℃×48h）硬度变化（HA）0~2拉伸强度变化率/%0~6拉断伸长率变化率/%0~8耐液体性能ASTM1#标准油（100℃×48h）硬度变化（HA）0~5体积变化率/%0~8ASTM1#标准油（150℃×48h）体积变化率/%0~10ASTM3#标准油（150℃×48h）体积变化率/%0~10耐臭氧龟裂静态拉伸（伸长20%，50×10-8，16h，40℃)无龟裂脆性温度/℃≤-403T/CASME1953—20255.4密封性产品经密封性试验，应无气泡溢出。6试验方法6.1外观质量采用目视法检验。6.2尺寸公差使用分度值不大于0.02mm的厚度计或游标卡尺测量。使用游标卡尺或厚度计无法测量的，可使用影像测量仪、π尺、检验工装等工具测量。6.3材料力学性能6.3.1试样制备按GB/T2941的规定进行。6.3.2邵尔硬度按GB/T531.1的规定进行。6.3.3拉伸强度、拉断伸长率按GB/T528的规定进行。6.3.4压缩回弹率按GB/T7757的规定进行。6.3.5压缩永久变形按GB/T7759.1的规定进行。6.3.6热空气老化按GB/T3512的规定进行。6.3.7耐液体性能按GB/T1690的规定进行。6.3.8耐臭氧龟裂静态拉伸按GB/T7762的规定进行。6.3.9脆性温度按GB/T15256的规定进行。46.4密封性将试样置于100℃的水中浸泡10min，观察有无气泡溢出。7检验规则同一批材料、相同工艺、连续生产的同一规格产品为一批次。7.2检验分类检验分为出厂检验和型式检验。7.3.1经制造厂质量检验部门按本文件检验合格后方能出厂。7.3.2出厂检验项目包括外观质量和尺寸公差。7.3.3出厂检验抽样按GB/T2828.1的规定，采用正常检验，一次抽样方案，一般检验水平Ⅰ,接收质量7.3.4全部检验项目合格，则判定该试样为合格品；若有项目不合格，则判定该试样为不合格品。7.4型式检验7.4.1型式检验项目包括第5章规定的全部项目，从出厂检验合格的产品中随机抽取。7.4.2有下列情形之一，应进行型式检验：a）新产品鉴定时；b）工艺、材料有较大改变可能影响产品性能时；c）停产一年以上再恢复生产时；d）出厂检验结果与上次型式检验结果有较大差异时；e）行业主管部门提出要求时。7.4.3第一次检验如有项目不合格，允许另取双倍数量的试样进行重复试验，重复试验结果全部合格，判该批次合格；若重复试验结果中仍有项目不合格，判该批次不合格。8标志、标签和随行文件8.1标志应符合GB/T5721的规定。8.2标签和随行文件8.2.1交付时，应附有检验合格标签及随行文件。检验合格标签上应注明胶料名称、产品名称、制造日8.2.2随行文件宜包括使用说明书、质量保证书、包装清单，需方需要时应提供检验报告，检验报告至少给出以下内容：b）样品、检测单位、分析日期、报告日期等所有必要的信息；5T/CASME1953—2025c）试验结果及试验次数；d）