CN120080292B 一种干法刻蚀腔体真空门更换装置 （苏州芯慧联半导体科技有限公司）

(19)国家知识产权局(12)发明专利审查员薛飞地址215500江苏省苏州市常熟高新技术(72)发明人唐力隋劲东潘俊有限公司117184本申请提供了一种干法刻蚀腔体真空门更持安装法兰块，顶升单元用于驱动夹紧单元升421.一种干法刻蚀腔体真空门更换装置，干法刻蚀腔体真空门(1)包括密封板(11)、气动总成箱(12)和安装法兰块(13),所述气动总成箱(12)和所述密封板(11)下方固定连接，所述安装法兰块(13)和密封板(11)的下方固定连接，在所述气动总成箱(12)的两侧均设有所述安装法兰块(13),其特征在于，干法刻蚀腔体真空门更换装置包括：基座(2),位于干法刻蚀腔体的真空门安装位置的下方；移动台车(3),在基座(2)上移动；顶升单元(4),安装在移动台车(3)上，所述顶升单元(4)上设有夹紧单元(5);承载台(6),安装在移动台车(3)上，所述承载台(6)用于承接真空门(1);夹持单元(7),安装在承载台(6)或移动台车(3)上，所述夹持单元(7)用于将位于承载台(6)上的气动总成箱(12)夹紧；其中，承载台(6)的两侧均设有顶升单元(4),所述顶升单元(4)的位置和两侧的安装法兰块(13)对应，所述夹紧单元(5)用于夹持所述安装法兰块(13),所述顶升单元(4)用于驱动所述夹紧单元(5)升降，所述承载台(6)用于抵接所述气动总成箱(12)的底部，所述夹持单元(7)用于夹紧所述气动总成箱(12)的相对两侧；干法刻蚀腔体真空门更换装置还包括总控单元(8),所述顶升单元(4)、夹紧单元(5)和夹持单元(7)为气动或电动设备，所述总控单元(8)用于控制移动台车(3)的移动、顶升单元(4)的升降、夹紧单元(5)的夹持和释放动作、夹持单元(7)的夹持和释放动作；所述基座(2)的一端为上下料工位(22),所述基座(2)的另一端为拆装工位(23),所述移动台车(3)位于拆装工位(23)时，所述夹紧单元(5)和所述安装法兰块(13)对正，或，所述承载台(6)上的真空门(1)和干法刻蚀腔体上真空门的安装位置对正；所述移动台车(3)位于上下料工位(22)时，所述移动台车(3)位于干法刻蚀腔体上真空门的安装位置范围外；所述移动台车(3)上设有若干个第二气缸(36),所述第二气缸(36)的输出端上设有吸盘(35),所述基座(2)上设有固定板(25),所述固定板(25)的一侧面和所述吸盘(35)的吸附面对正，所述第二气缸(36)用于驱动所述吸盘(35)的吸附面抵接或远离所述固定板(25),所述第二气缸(36)的电磁阀以及吸盘(35)的电磁阀均和所述总控单元(8)连接，所述总控单元(8)用于在所述移动台车(3)位于上下料工位(22)或拆装工位(23)时控制所述第二气缸(36)驱动所述吸盘(35)抵接所述固定板(25)、且控制所述吸盘(35)的通气；所述总控单元(8)用于在所述夹持单元(7)夹持所述气动总成箱(12)后，控制所述吸盘(35)的电磁阀关闭，并控制所述第二气缸(36)的伸缩轴缩回。2.根据权利要求1所述的干法刻蚀腔体真空门更换装置，其特征在于，所述移动台车(3)包括移动车(31)和行走驱动组件，所述基座(2)上设有导轨(21),所述移动车(31)的滚轮(32)沿所述导轨(21)滚动，所述行走驱动组件的输出端和移动车(31)的滚轮(32)连接，所述行走驱动组件用于驱动所述滚轮(32)转动。3.根据权利要求2所述的干法刻蚀腔体真空门更换装置，其特征在于，所述基座(2)的两端均设有第一光电传感器和第二光电传感器，所述第一光电传感器用于检测移动台车(3)即将到达上下料工位(22)或拆装工位(23)时向所述总控单元(8)发送接近信号，所述总控单元(8)控制所述移动台车(3)减速，所述第二光电传感器用于在移动台车(3)到达上下料工位(22)或拆装工位(23)时向所述总控单元(8)发送到位信号，所述总控单元(8)控制所述移动台车(3)停止。34.根据权利要求3所述的干法刻蚀腔体真空门更换装置，其特征在于，所述基座(2)上设有定位孔(24),所述移动台车(3)移动上设有插销(33),所述移动台车(3)上设有第一气缸(34),所述第一气缸(34)的输出轴和所述插销(33)固定连接，所述移动台车(3)位于上下料工位(22)或拆装工位(23)时，所述插销(33)和所述定位孔(24)对正，所述第一气缸(34)的电磁阀和所述总控单元(8)电连接，所述总控单元(8)通过第一气缸(34)的电磁阀控制第一气缸(34)输出轴的伸缩，所述总控单元(8)用于在所述移动台车(3)位于上下料工位(22)或拆装工位(23)时控制所述第一气缸(34)的伸缩轴伸出；所述总控单元(8)用于在所述夹持单元(7)夹持所述气动总成箱(12)后，控制所述第一气缸(34)的伸缩轴缩回。5.根据权利要求1所述的干法刻蚀腔体真空门更换装置，其特征在于，所述吸盘(35)为伯努利吸盘(35)。6.根据权利要求1所述的干法刻蚀腔体真空门更换装置，其特征在于，所述顶升单元(4)上设有距离传感器，所述距离传感器用于检测所述夹紧单元(5)和所述安装法兰块(13)的距离，所述距离传感器、顶升单元(4)和夹紧单元(5)均和所述总控单元(8)电连接，所述总控单元(8)根据距离传感器输出的距离信息控制顶升单元(4)的输出轴的升高和停止、以及夹紧单元(5)执行夹紧动作，所述夹紧单元(5)夹紧所述安装法兰块(13)后，所述总控单元(8)控制所述顶升单元(4)的输出端下降。7.根据权利要求1所述的干法刻蚀腔体真空门更换装置，其特征在于，所述承载台(6)上设有接近传感器，所述接近传感器用于检测气动总成箱(12)是否进入所述夹持单元(7)的夹持范围，所述气动总成箱(12)进入所述夹持单元(7)夹持范围后，所述总控单元(8)控制所述夹持单元(7)夹持所述气动总成箱(12)。4一种干法刻蚀腔体真空门更换装置技术领域[0001]本申请涉及干法刻蚀设备的领域，尤其是涉及一种干法刻蚀腔体真空门更换装背景技术[0002]现有液晶面板干法刻蚀设备真空门更换，拆解需要3-4人同时操作，并且真空门重量500Kg左右，第一作业危险性高，第二作业强度高，作业成本高，多人更换作业时候在无尘室产生粉尘等污染物污染无尘室。发明内容[0003]有鉴于此，本申请提供一种干法刻蚀腔体真空门更换装置，解决了现有技术中的[0004]本申请提供的一种干法刻蚀腔体真空门更换装置采用如下的技术方案：[0005]一种干法刻蚀腔体真空门更换装置，干法刻蚀腔体真空门包括密封板、气动总成箱和安装法兰块，所述气动总成箱和所述密封板下方固定连接，所述安装法兰和密封板的下方固定连接，在所述气动总成箱的两侧均设有所述安装法兰块，干法刻蚀腔体真空门更换装置包括：[0006]基座，位于干法刻蚀腔体的真空门安装位置的下方；[0008]顶升单元，安装在移动台车上，所述顶升单元上设有夹紧单元；[0010]夹持单元，安装在承载台或移动台车上，所述夹持单元用于将位于承载台上的气动总成箱夹紧；[0011]其中，承载台的两侧均设有顶升单元，所述顶升单元的位置和两侧的安装法兰块对应，所述夹紧单元用于夹持所述安装法兰块，所述顶升单元用于驱动所述夹紧单元升降，所述承载台用于抵接所述气动总成箱的底部，所述夹持单元用于夹紧所述气动总成箱的相对两侧。[0012]可选的，所述移动台车包括移动车和行走驱动组件，所述基座上设有导轨，所述移动车的滚轮沿所述导轨滚动，所述行走驱动组件的输出端和移动车的滚轮连接，所述行走驱动组件用于驱动所述滚轮转动。[0013]可选的，干法刻蚀腔体真空门更换装置还包括总控单元，所述顶升单元、夹紧单元和夹持单元为气动或电动设备，所述总控单元用于控制移动台车的移动、顶升单元的升降、夹紧单元的夹持和释放动作、夹持单元的夹持和释放动作。[0014]可选的，所述基座的一端为上下料工位，所述基座的另一端为拆装工位，所述移动台车位于拆装工位时，所述夹紧单元和所述安装法兰块对正，或，所述承载台上的真空门和干法刻蚀腔体上真空门的安装位置对正；所述移动台车位于上下料工位时，所述移动台车5位于干法刻蚀腔体上真空门的安装位置范围外；[0015]所述基座的两端均设有第一光电传感器和第二光电传感器，所述第一光电传感器用于检测移动台车即将到达上下料工位或拆装工位时向所述总控单元发送接近信号，所述总控单元控制所述移动台车减速，所述第二光电传感器用于在移动台车到达上下料工位或拆装工位时向所述总控单元发送到位信号，所述总控单元控制所述移动台车停止。[0016]可选的，所述基座上设有定位孔，所述移动台车移动上设有插销，所述移动台车上设有第一气缸，所述第一气缸的输出轴和所述插销固定连接，所述移动台车位于上下料工位或拆装工位时，所述插销和所述定位孔对正，所述第一气缸的电磁阀和所述总控单元电连接，所述总控单元通过第一气缸的电磁阀控制第一气缸输出轴的伸缩，所述总控单元用于在所述移动台车位于上下料工位或拆装工位时控制所述第一气缸的伸缩轴伸出；[0017]所述总控单元用于在所述夹持单元夹持所述气动总成箱后，控制所述第一气缸的伸缩轴缩回。[0018]可选的，所述移动台车上设有若干个第二气缸，所述第二气缸的输出端上设有吸盘，所述基座上设有固定板，所述固定板的一侧面和所述吸盘的吸附面对正，所述第二气缸用于驱动所述吸盘的吸附面抵接或远离所述固定板，所述第二气缸的电磁阀以及吸盘的电磁阀均和所述总控单元连接，所述总控单元用于在所述移动台车位于上下料工位或拆装工位时控制所述第二气缸驱动所述吸盘抵接所述固定板、且控制所述吸盘的通气；[0019]所述总控单元用于在所述夹持单元夹持所述气动总成箱后，控制所述吸盘的电磁阀关闭，并控制所述第二气缸的伸缩轴缩回。[0021]可选的，所述顶升单元上设有距离传感器，所述距离传感器用于检测所述夹紧单元和所述安装法兰块的距离，所述距离传感器、顶升单元和夹紧单元均和所述总控单元电连接，所述总控单元根据距离传感器输出的距离信息控制顶升单元的输出轴的升高和停止、以及夹紧单元执行夹紧动作，所述夹紧单元夹紧所述安装法兰块后，所述总控单元控制所述顶升单元的输出端下降。[0022]可选的，所述承载台上设有接近传感器，所述接近传感器用于检测气动总成箱是否进入所述夹持单元的夹持范围，所述气动总成箱进入所述夹持单元夹持范围后，所述总控单元控制所述夹持单元夹持所述气动总成箱。[0024]利用本申请的更换装置进行真空门的更换作业可以提高作业安全性，而且只需要1人，相比以前4-5人，大幅减少人员配置，并且可以节约了20-30%更换真空门时间，进而节省成本。[0025]同时基座、移动台车、顶升单元、承载台、夹紧单元和坚持单元等等部件的原件不生锈的材质，都是低发尘并且运动部件都有防尘罩，达到Class100无尘等级，大幅减少了作附图说明[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域6普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。[0027]图1为本申请干法刻蚀腔体真空门更换装置的整体结构示意图；[0028]图2为本申请移动台车在拆装工位夹持真空门的结构示意图；[0029]图3为本申请移动台车在拆装工位的结构示意图；[0030]图4为图3中A部分的放大结构示意图。具体实施方式[0032]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。[0033]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。[0034]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目个方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。[0035]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图示中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。[0036]另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。[0037]本申请实施例提供一种干法刻蚀腔体真空门更换装置。干法刻蚀腔体真空门1包括密封板11、气动总成箱12和安装法兰块13,所述气动总成箱12和所述密封板11下方固定连接，所述安装法兰和密封板11的下方固定连接，在所述气动总成箱12的两侧均设有所述安装法兰块13,其中，安装法兰块13不直接和刻蚀腔体配合安装，安装法兰块13仅作为安装过程中的辅助连接结构。7[0039]基座2,位于干法刻蚀腔体的真空门1安装位置的下方，基座2可以固定或放置在车间地面上。[0040]移动台车3,在基座2上移动。[0041]顶升单元4,安装在移动台车3上，所述顶升单元4上设有夹紧单元5。[0042]承载台6,安装在移动台车3上，所述承载台6用于承接真空门1。[0043]夹持单元7,安装在承载台6或移动台车3上，所述夹持单元7用于将位于承载台6上的气动总成箱12夹紧。[0044]其中，承载台6的两侧均设有顶升单元4,所述顶升单元4的位置和两侧的安装法兰块13对应，所述夹紧单元5用于夹持所述安装法兰块13,所述顶升单元4用于驱动所述夹紧单元5升降，所述承载台6用于抵接所述气动总成箱12的底部，所述夹持单元7用于夹紧所述气动总成箱12的相对两侧。[0045]更换真空门1的步骤包括拆卸旧真空和安装新真空门1。所述基座2的一端为上下料工位22,所述基座2的另一端为拆装工位23,所述移动台车3位于拆装工位23时，所述夹紧单元5和所述安装法兰块13对正，或，所述承载台6上的真空门1和干法刻蚀腔体上真空门1的安装位置对正；所述移动台车3位于上下料工位22时，所述移动台车3位于干法刻蚀腔体上真空门1的安装位置范围外。[0046]本申请中，在拆卸旧真空门1时，将移动台车3在基座2上移动至旧真空门1下方，并调整移动台车3的位置使夹紧单元5和旧真空门1上的安装法兰块13对齐，移动台车3位于拆装工位23。然后控制顶升单元4的输出端升高，使夹紧单元5随之升高，直至夹紧单元5的夹持部位环绕在安装法兰块13的外周，启动夹紧单元5对安装法兰块13进行夹持；确定夹紧单元5夹紧安装法兰块13后，工人拆卸真空门1和刻蚀腔体的连接部件，使真空门1和刻蚀腔体实现机械分离。控制顶升单元4的输出端下降，夹紧单元5带动真空门1下降，直至真空门1下降至气动总成箱12的底部接触承载台6;控制夹持单元7对气动总成箱12进行夹持，用来保证后续移动过程中整个真空门1的稳定性，最后控制移动台车3在基座2上移动，移动台车3带着旧真空门1移动至干法刻蚀腔体上真空门1的安装位置范围外，移动台车3位于上下料工位22。利用行车的吊钩和旧真空门1的吊点连接，松开夹紧单元5和夹持单元7对旧真空门1的夹持，然后行车将旧真空门1起吊，将旧真空门1移动至预定位置。完成旧真空门1的拆[0047]利用行车移走旧真空门1后，移动台车3仍位于上下料工位22,利用行车将新的真空门1移动至移动台车3上方，并控制新真空门1的位置，使安装法兰块13和夹紧单元5对齐，然后控制顶升单元4的输出端升高，使夹紧单元5随之升高，直至夹紧单元5的夹持部位环绕在安装法兰块13的外周，启动夹紧单元5对安装法兰块13进行夹持；确定夹紧单元5夹紧安装法兰块13后，释放行车和新真空门1的连接，控制顶升单元4的输出端下降，夹紧单元5带动真空门1下降，直至真空门1下降至气动总成箱12的底部接触承载台6;控制夹持单元7对气动总成箱12进行夹持，用来保证后续移动过程中整个真空门1的稳定性；控制移动台车3移动至拆装工位23,此时，新真空门1和刻蚀腔体真空门1的安装位置上下对齐；释放夹持单元7对气动总成箱12的夹持，控制顶升单元4的输出端升高，使夹紧单元5随之升高，带动新真空门1升高至安装位置，工人将新真空门1和刻蚀腔体连接，完成新真空门1的安装。最后松开夹紧单元5对安装法兰块13的夹紧，将移动台车3移动至上下料位置。8[0048]所述移动台车3包括移动车31和行走驱动组件，所述基座2上设有导轨21,所述移动车31的滚轮32沿所述导轨21滚动，所述行走驱动组件的输出端和移动车31的滚轮32连接，所述行走驱动组件用于驱动所述滚轮32转动，导轨21呈三棱柱，三棱柱的一个棱边朝上，滚轮32的外周设有环槽，环槽呈V形，滚轮32的V形槽和三棱柱的一个棱边的两侧壁配合；行走驱动组件为第一电机311和第一减速机312的组合，第一电机311的输出和第一减速机312的输入轴连接，第一减速机312的输出端和滚轮32连接；所述顶升单元4、夹紧单元5和夹持单元7为气动或电动设备。[0049]干法刻蚀腔体真空门更换装置还包括总控单元8,所述顶升单元4、夹紧单元5和夹持单元7为气动或电动设备，所述总控单元8用于控制移动台车3的移动、顶升单元4的升降、夹紧单元5的夹持和释放动作、夹持单元7的夹持和释放动作。[0050]利用本申请的更换装置进行真空门1的更换作业可以提高作业安全性，而且只需要1人，相比以前4-5人，大幅减少人员配置，并且可以节约了20-30%节省成本。件不生锈的材质，都是低发尘并且运动部件都有防尘罩，达到Class100无尘等级，大幅减少[0052]对于移动台车3的移动和停止：[0053]具体的，所述基座2的两端均设有第一光电传感器和第二光电传感器，所述第一光电传感器用于检测移动台车3即将到达上下料工位22或拆装工位23时向所述总控单元8发送接近信号，所述总控单元8控制所述移动台车3减速，所述第二光电传感器用于在移动台车3到达上下料工位22或拆装工位23时向所述总控单元8发送到位信号，所述总控单元8控制所述移动台车3停止。[0054]第一光电传感器和第二光电传感器可以是红外传感器，也可以是激光传感器，在上下料工位22沿移动台车3移动方向依次设置了第一光电传感器和第二光电传感器，移动台车3从拆装工位23向上下料工位22移动时先经过第一光电传感器，到位后恰好遮挡第二光电传感器；同理在拆装工位23沿移动台车3移动方向依次设置了第一光电传感器和第二光电传感器，移动台车3从上下料工位22向拆装工位23移动时先经过第一光电传感器，到位后恰好遮挡第二光电传感器，每个工位上的两个光电传感器的距离根据车速和刹车机构性能决定。移动台车3经过第一光电传感器时，移动台车3遮挡光线，第一光电传感器的接收端信号发生变化，从而检测出移动台车3达到到位前的接近位置，第一光电传感器将信号发送至总控单元8,总控单元8的PLC给移动台车3的行走驱动组件信号，控制移动台车3开始减速，移动台车3缓慢移动，当移动台车3恰好遮挡第二光电传感器时，说二光电传感器将信号发送至总控单元8,总控单元8则控制移动台车3停止。在基座2的两端设置有机械极限位置挡块，用于阻挡移动台车3的移动，避免移动台车3跑出基座2。[0055]对于移动台车3的定位和固定：[0056]如图1、图3和图4所示，所述基座2上设有定位孔24,所述移动台车3移动上设有插销33,所述移动台车3上设有第一气缸34,所述第一气缸34的输出轴和所述插销33固定连接，所述移动台车3位于上下料工位22或拆装工位23时，所述插销33和所述定位孔24对正。所述第一气缸34的电磁阀和所述总控单元8电连接，所述总控单元8通过第一气缸34的电磁9阀控制第一气缸34输出轴的伸缩，所述总控单元8用于在所述移动台车3位于上下料工位22或拆装工位23时控制所述第一气缸34的伸缩轴伸出；插销33插入定位孔24,对移动台车3进行定位和初步固定。所述总控单元8用于在所述夹持单元7夹持所述气动总成箱12后，控制所述第一气缸34的伸缩轴缩回，便于移动台车3进行移动。[0057]本申请实施例中，移动台车3的前后两端均设有插销33,基座2的上下料工位22设有对应两端插销33的两个定位孔24,基座2的拆装工位23也设有对应两端插销33的两个定位孔24。其中，移动台车3的前后方向为移动台车3的移动方向。插销33和定位孔24竖直设置，第一气缸34的伸缩轴伸缩方向为竖直方向。[0058]所述移动台车3上设有若干个第二气缸36,所述第二气缸36的输出端上设有吸盘35,所述基座2上设有固定板25,所述固定板25的一侧面和所述吸盘35的吸附面对正，所述第二气缸36用于驱动所述吸盘35的吸附面抵接或远离所述固定板25,所述第二气缸36的电磁阀以及吸盘35的电磁阀均和所述总控单元8连接，所述总控单元8用于在所述移动台车3位于上下料工位22或拆装工位23时控制所述第二气缸36驱动所述吸盘35抵接所述固定板25、且控制所述吸盘35通气，吸盘35通气产生吸附力固定板25上，稳定移动台车3在基座2上的位置，为后续顶升单元4升降、夹紧单元5夹持安装法兰块13以及带动真空门1升降提供稳定基础；所述总控单元8用于在所述夹持单元7夹持所述气动总成箱12后，控制所述吸盘35的电磁阀关闭，吸盘35的吸附力停止，并控制所述第二气缸36的伸缩轴缩回，吸盘35和固定[0059]本申请实施例中，固定板25从上下料工位22延伸至拆装工位23,即，在上下料工位22延和拆装工位23移动台车3均能通过吸盘35吸附固定板25稳定移动台车3。吸盘35的吸附面朝下，第二气缸36的伸缩方向为竖直方向。对于夹持单元7夹持所述气动总成箱12的动作判断方式为：夹持单元7可以为气动夹具，核心驱动为气缸，夹持单元7夹持气动总成箱12后，气缸磁性开关信号反馈至总控单元8,总控单元8根据，气缸磁性开关信号判断夹持单元7夹紧气动总成箱12。[0060]所述吸盘35为伯努利吸盘35,吸盘35连通供气设备，供气设备为吸盘35提供压缩空气。移动台车3的四个点位设有第二气缸36,每个第二气缸36的输出端上连接有并列的两个吸盘35。[0061]本申请的第一光电传感器、第二光电传感器、定位用的插销33以及固定用的吸盘35提高了安装和搬送的定位精度，不需要人员手动调整，提高了作业的效率。[0062]所述顶升单元4上设有距离传感器，所述距离传感器用于检测所述夹紧单元5和所述安装法兰块13的距离，距离传感器为激光传感器，所述距离传感器、顶升单元4和夹紧单元5均和所述总控单元8电连接，所述总控单元8根据距离传感器输出的距离信息控制顶升单元4的输出轴的升高和停止、以及夹紧单元5执行夹紧动作。所述夹紧单元5夹紧所述安装法兰块13后，所述总控单元8控制所述顶升单元4的输出端下降，夹紧单元5为气动夹爪，夹紧单元5的夹持端和安装法兰块13的形状匹配，核心驱动为气缸，总控单元8通过控制气