JIS B9921-2010 无菌环境用光散射悬浮粒子计数器

B9921:2010序文 1 1 13用語及び定義 24測定原理 25基本構成 2 36.1粒径区分のしきい値設定方法 36.2粒径区分のしきい値の誤差 3 36.4粒径分解能 36.5偽計数 36.6最大粒子個数濃度 36.7試料空気流量 36.8测定時間 36.9応答性 36.10校正周期 36.11試験報告書 37試験方法 47.1粒径区分のしきい値設定方法 47.2粒径区分のしきい値の誤差 5 67.4粒径分解能 6 77.6同時通過損失 77.7試料空気流量 77.8测定時間 7 87.10校正 8附属書A(参考)計数効率 9附属書B(参考)粒径分解能 附属書C(参考)偽計数 附属書D(参考)応答性 附属書JA(参考)性能試験結果の不確かさ評価方法 乙の規格仗,工業標準化法第14条亿丈→τ準川寸石第12条第1頭の規定亿仗→寺,社团法人日本空気清泽協会(JACA)及述财团法人日本規格協会(JSA)扒5,工業標準原案苍具Lτ日本工業規格苍改正寸尺寺匕の申出炉卤n,日本工業標準調査会の審議苍經τ,經济産業大臣炉改正L忆日本工業規格で卤石。乙の規格の一部炉,特許榷,出願公開後の特許出願,害川新案榷又仗出願公開後の欠川新案登緑出願亿榷,出願公開後の特許出願,害用新案榷及述出願公開後の害用新案登緑出願亿扒扒打石確認亿彐缁τ,責Lightscatteringairborneparticlecounterforcleanspacesこの規格は,2007年に第1版として発行されたISO21501-4を基とし,技術的内容を理解しやすく,か格における粒子計数器は,粒子を個々に測定する注記2粒子计数器で测定する粒径は,空気中に浮近している校正川粒子の光散乱相当径であり,实注記3この規格の対応国際規格及びその対応の程度を表す記号をISO21501-4:2007,Determinationofparticlesizedistribution—Singleparticlelightinteractionmethods—Part4:Lightscatteringairborneparticlecounterforcleanspaces(MOD)なお,対応の程度を表す記号“MOD”は,ISO/IECGuide21-1に基づき,“修正している”JISZ812223.1計数劾率(countingefficiency)試驗用空気走測定L忆匕寺,参照器炉示寸粒子個数濃度亿対寸石粒子計数器炉示寸粒子個数濃度の比。3.2偽計数.(falsecountrate).3.4試験用空気4測定原理粒子の大寺寺及述個数の測定仗,粒子亿光走照射寸石匕光の一部仗散乱寺札石忆的,乙の散乱寺札忆光量扒兮粒子の大寺寺走,支忆,粒子炉光束走通過寸石匕寺亿癸生寸石散乱光の八Ⅳ又の数扒兮粒子の個数走計数寸石。具体的亿仗,試料空気走粒子計数器の試料吸引口扒兮一定流量で吸引L,光亿X石照射領域走通過寺甘石。個攵の浮遴粒子亿X→τ散乱寺札石光走光電变換素子亿集光L,八Ⅳ又状の電気信号亿变換寸石。八Ⅳ又信!号の波高值仗,散乱光量亿比例L,支忆,散乱光最匕浮遴粒子の粒径匕炉一定の以係亿南石乙匕走利用Lτ,八Ⅳ又波高值の分析亿X→τ粒径走選別L,扒→,選別L忆八Ⅳ又の個数走計数寸石乙匕亿X→τ設定寺札忆粒径Xn大寺女粒子の通過個数走求的石。又仗,一定の測定時間中の吸引空気体積匕選別寺札忆粒子数匕亿X→τ粒子個数濃度走求的石。粒子計数器仗,囡1亿示寸X亏亿,光源,空気吸引系,粒子檢出領域,光電变換部,波高分析部,表示L,空気吸引系及述,又仗表示部炉外部の装置走用」石忆的亿,粒子計数器亿仗含女打,校正川粒子亿対寸石波高分布走作成で寺石情恨走取n出甘女忄札戌女兮女」。粒粒子檢出領域波高分析部光波高分析部光電变换部表示部表示部光源光源空気吸引系図1一粒子計数器の構成例3B9921:2010表示される粒径と選別される粒径との相対誤差は,7.2の方法で試験し,±10%の範囲内でなければな汁数効率は,7.3の方法で試験し,最小可測粒径付近の校正川粒子においては(50±20)%,及び最小可6.6最大粒子個数濃度注記試料の粒子個数濃度が最大粒子個数濃度6.7試料空気流量試料空気流量は,体積流量とし,7.7の方法で試験し,その規定流量からのずれは,±5%の範囲内でななお,粒子計数器に試料空気吸小機構がない場合は通川しないが,試料窄気流最の許容範明は,仕様背注記…体積流量については,JSB.7556を参照。粒子汁数器の校正周期は,1年以内がよい。b)校正に用いた粒子(粒径,製造業者,形式など)4f)偽計数7試験方法7.1粒径区分のしきい値設定方法校正川粒子の個数平均粒径仗,際单位系(SI)亿トL一圹匕y亍亻炉南2D,粒径の似付忄の標不確扒之仗2.5.%以下で南急支忆.粒子の川折率仗,波L.589nm(才トy门hR級)亿扩

τ.1.59.付近ン電圧仗,粒子計数器亿内葳Lτ

石PHA又仗外部のPHA走用

τ決的石。又仗,L寺

值電圧炉可变で南石。内葳Lτ

石PHA又仗粒子計数器のL寺

值電圧走可变Lτ×氵アン電圧走求的石方法仗,外部のPHA走用

石方法Xn古粒径の設定誤差要因炉少女

。の誤差炉粒子計数器の粒径区分のL寺

值電圧の誤差亿含支札石(附属書JA参照)。注1D粒径仗長之の单位で南n,飞の定義仗国際单位系(SI)の基本单位亿扩

τ定義之札τ

石X八Ⅳ又波高值(電圧)YVm1アン走求的石[囡3a)参照]。偽粒子走除外Lτ古X

の仗,校正用粒子亿X石匕一夕炉,,亻犬匕校正用校正用粒子亿X石信号の匕一夕波高值の1/2の值亿対寸石電圧匕Lτ×氵アン電圧走求的石。5a)b)Xパルス波高値(電圧)V1累積範囲の下限電圧1校正用粒子のパルス波高値分布V、累積範囲の上限電圧2ノイズ(偽計数,微小粒子,光学的,電気的ノイズ)図3ーノイズが含まれる場合のPSL粒子の波高値分布XVm.1粒径Xm.1に対するメY心圧Vm.₂粒径Xm.₂に対するメ1Vm,3粒径Xm,₃に対するメ図4一応答曲線7.2粒径区分のしきい値の誤差6x:試驗で求的忆粒径区分(μm)7.4粒径分解能下書B参照)。応答曲線走川缁τM及述u亿対応寸石粒径走決足寸石。校正川粒子の粒径匕V,及述π亿相o:粒子計数器で測定l忆校正用粒子の標準偏差(μm)7B9921:2010XV1频度炉61%亿机当寸石下侧電庄Vn×氵アY心圧図5一粒径分解能7.5偽計数偽汁数仗,粒子汁数器炉最小可測粒径亿打

τ,清汴空気走測定l忆匕寺の計数值で南石。偽汁数の出現確率走术ア,Y分布匕l,上限信賴限界炉95%匕女石值走飞の粒子計数器の偽計数匕寸石。清净空気走一定時間測定l,飞の測定結果匕术ア,Y分布表扒兮求的兮札石值走1m3当忆n亿換算l忆值走偽計数匕时時通過损失仗,試料空気流量匕粒子炉粒子檢出領域走通過寸石時問及述電気的女信号処到時川亿X→t:粒子檢出領域の通過時間(s)+電気的処理時間(s)C:試料の粒子個数濃度(個/m3)7.7試料空気流量

忆場合仗,頭吊流量走体積流丘亿換算寸石。粒子汁数器亿八儿才女匕亿X石流丘調整機能又仗才y7亻寸石外部术Y才走接統lτ流量走測定寸石。7.8測定時間(5)亿X→τ求的,6.8の要求走満足lτ

石己匕走確認寸石。測定時間の測定亿仗,校正之札忆測定器走用

石。粒子計数器炉測定時間走制御寸石機能走专→τ

女

場合仗,適用l女

。8B9921:2010………………………(5)o:設定l忆測定時間(s)寸札试女5女」。9B9921:2010附属書A 計数効率計数効率の試験用装置の配置例を,図A.1に示す。粒子発生器は,清浄空気中に校正用粒子が浮遊している空気を発生する。参照器として凝縮粒子計数器を用いる場合は,粒子発生器の後に粒径分級器を取り时时通過损失による影響を避けるために,校正川粒子の粒子個数濃度は,参照器及び被試験器の最大粒被試験器試験用粒子発生器粒子発生器参照器図A.1一計数効率の試験用装置の配置例粒径分解能o:標準偏差B9921:2010附属書C(参考)偽計数が出現する確率は,ポアソン分布と仮定する。ポアソン分布は,式(C.1)で表す。λ:偽計数の平均値表C.1一観測值と95%の上限及び下限信赖限界観測值下限信赖限界λ上限信赖限界A00314.7234567894.70B9921:2010(参考)応答性応答性の試験は,試料空気を高い粒子個数濃度から清浄な空気に切り替えたときに,粒子計数器の計数の測定値の比が応答性である。図D.1一応答性B9921:2010附属書JA性能試験結果の不確かさ評価方法JA.1基本的事項nで南石。手順1)測定結果y匕入力量n亿対寸石推定值手順3)測定結果の合成標準不確扒之u.(y)苍,次の不確扒之の纭Ⅸ(播)則[式(JA.2)]亿徉→τ求意味寸石。2)GUMで仗,測定量γ匕飞の推定值匕lτの測定結果y,及述入力量X;匕飞の推定值x;苍別の記己己亿,s仗,qxの害驗標準偏差,又仗別途害驗苍行→τ評俩l忆qxの石X亏亿,試料の粒子個数濃度仗,REF及述DUTの最大粒子個数濃度の25%以下匕寸石。第i忄「測定亿打忄石REF及述DUT飞札℃札亿X石の数因子で,囡JA.1亿示寸X亏亿DUT側濃度の基準計数器側濃度亿対寸石比で南石11。被試験器被試験器DUT)a違いによる濃度比1参照計数器(REF)nの標準不確扒之uc()走,式(JA.6)及述式(JA.7)亿其→寺,次亿X→τ評俩寸石12)。述DUTの圹Y才yY夕位道で川

忆匕寺の濃度測定值走coa,cg匕寸石。次亿A及述Bの圹Y才yY夕位才P(又仗汁数器)走準備l,Pの吸引口走DUT圹Y才yY夕口の近〈,REF圹Y才yY夕口近〈,又仗乙乙亿,dn/dx仗近似的亿dn/dx=1/(√2πo)で与之兮札,σ仗校正用粒子亿対lτDUTで得兮校正用粒子の認誣粒径,u(x₀)仗飞の不確扒之(校正誣明書等最小可測粒径の仕様低で南石。B9921:2010l女

。X(粒径)図JA.2一応答曲線u(xp):校正用粒子の粒径xpの不確扒之。校正用粒子の校正誣明圧汁の校正誣明背亿X石)走u(y1)匕l,y,走練n式(JA.14)亿X石。径準偏差spHa)扒B求的石古の匕lζ13),式(JA.15)亿XB9921:2010JISB9920:2002.久J-ン儿一厶の空氡清淮度の評価方法ISO9276-1Representationofresultsofparticlesizeanalysis—Part1:GraphicalrepresentationISO/IECGuide98-3,Uncertaintyofmeasurement—Part3:Guidetotheexpressionofuncertaintyinmeasurement(GUM:1995)ASTMF50-92(2001)e1,StandardPracticeforContinuousSizingandCountingofAirborneParticlesinDust-ControlledAreasandCleanRoomsUsingInstrumentsCapableofDetectingSingleSub-MicrometreandLargerParticlesASTMF328-98(2003),StandardPracticeforCalibrationofanAirbomeParicleCounterUsingMonodisperseSphericalParticlesASTMF649-01,StandardPracticeforSecondaryCalibrationofAirborneParticleCounterUsingComparisonProcedures附属書JBJISB9921:2010光散乱式気中粒子計数器一校正方法及び検