CN110625833B 一种用于晶硅的上下料单元及上下料方法 （青岛高测科技股份有限公司）

(19)国家知识产权局(12)发明专利孙承政陈俊儒有限公司11624专利代理师郭智本发明涉及一种用于晶硅的上下料单元及2所述输送机构(4)通过支撑框架(6)与底座(1)连接，其包括竖直所述输送组件(8)包括输送部(801)和驱动部，所述输送部(801)包括沿着晶硅轴向设置的两条输送滑轨(8011)和与输送滑轨(8011)相配合的输送滑块(8012),所述支撑板(9)沿竖直方向设置，其一侧与输送滑轨(8011)垂直固连，其另一侧平行的设置两条滑轨槽(901),驱动部包括输送电机和齿条(8013),所述输送电机的输出端与齿轮固连，通过齿轮内侧沿着输送滑轨(8011)的长度方向固设齿条固定块(8014),所述齿条(8013)固定在所述齿条固定块(8014)上，齿条固定块(8014)远离升降组件(7)的一端设置有推拉固定块所述输送滑块(8012)的外侧间隔设置有与所述晶托(5)相配合的搭接齿(8016),所述所述晶托(5)包括沿着晶硅轴向设置的固定台(501),所述固定台(501)的上表面间隔设置有两个把手(502)与推拉固定块(8015)相配合以将晶托(5)推进和拉出晶硅切片装置，两个把手(502)之间固设有固定槽(503),所述固定槽(503)与固定台(501)成一体结构且其沿着固定台(501)的方向设置，在所述固定槽(503)的两侧对称的固设有至少两根固定杆(504),所述固定杆(504)与所述搭接齿(8016)配合使用以抬升晶托(5),且所述固定杆所述固定台(501)的两端向外延伸形成凸台(505),所述凸台(505)搭接在固定托块2.根据权利要求1所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，L形直角的两端固3.根据权利要求2所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，所述升降组件(7)4.根据权利要求3所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，所述上料组件(2)包括上料固定台(201),所述上料固定台(201)通过上料支撑柱(202)与底座(1)固定连接，所述上料固定台(201)上设置有与晶硅相配合的凹槽(203)和上5.根据权利要求4所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，所述下料组件(3)包括两个平行设置的下料固定板(301)和下料托盘(302),下料托盘(302)与底座(1)固连，处固设有固定托块(304),所述固定托块(304)横跨所述固定口的两侧，且其沿着水平方向36.根据权利要求5所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，所述输送滑轨(8011)的上方设置有滑轨护罩(10)用于保护所述输送组件(8),与所述滑轨(702)相对应的支撑框架(6)的两侧分别设置感应装置(11)。7.根据权利要求6所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，所述底座(1)固定8.一种如权利要求7所述的用于晶硅的上下料单元的上下料方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1:AGV小车(12)运行至放置待切割晶硅的工作台处，上料检测装置(204)检测工作台上有无待切割晶硅，若工作台上无待切割晶硅，则AGV小车(12)执行步骤2,若工作台上有待切割晶硅，人工或者机械手将固定有待切割晶硅的晶托(5)放置到上料组件(2)上；步骤2:AGV小车(12)运行至切片设备处，推拉固定块(8015)将位于切片设备内已经切割完毕的晶硅连同晶托(5)拉出，并通过升降组件(7)放置到下料组件(3)内；步骤3:升降组件(7)沿水平方向滑动至上料组件(2)处，搭接齿(8016)与晶托(5)相搭接，升降组件(7)沿竖直方向上升，输送滑块(8012)向靠近晶硅切片装置的方向滑动，将晶托(5)输送至晶硅切片装置内进行切片操作；步骤4:AGV小车(12)运行至切片存放区，将已切割完毕的晶硅移出下料组件(3)并重复4技术领域[0001]本发明属于晶硅加工设备技术领域，具体地说涉及一种用于晶硅的上下料单元及上下料方法。背景技术[0002]晶硅在切割成晶硅片之前，需要将已经切棱磨倒后的晶硅通过晶硅输送装置输送至晶硅切片装置上，以往都是由单独的运输装置将晶硅运送至晶硅切片装置处，再由另外一个下料装置盛接已经切片完毕的晶硅。这种上下料方式费时费力，因此，怎样能够快速便捷的将晶硅输送至晶硅切片装置上是我们需要解决的问题。发明内容[0003]针对现有技术的种种不足，现提出一种能够将待切割的晶硅快速便捷的输送至晶硅切片装置，并能够与晶硅切片装置无缝衔接实现上料和下料的装置。[0004]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0005]一种用于晶硅的上下料单元，与晶硅切片装置配合使用，其包括底座以及位于底座上的晶硅存储机构，所述晶硅存储机构沿着晶硅的轴向分为两级，其分为上料组件和下料组件，输送机构位于所述晶硅存储机构的上方；[0006]位于上料组件和下料组件上的晶硅均通过晶托相固定；[0007]所述输送机构通过支撑框架与底座连接，其包括竖直设置的升降组件和水平设置的输送组件，升降组件与支撑框架固连，输送组件通过支撑板与升降组件产生相对运动。[0008]进一步，所述输送组件包括输送部和驱动部，所述输送部包括沿着晶硅轴向设置的两条输送滑轨和与输送滑轨相配合的输送滑块，所述支撑板沿竖直方向设置，其一侧与输送滑轨垂直固连，其另一侧平行的设置两条滑轨槽，驱动部包括输送电机和齿条，所述输送电机的输出端与齿轮固连，通过齿轮与齿条配合驱动输送滑块沿着输送滑轨滑动，所述输送滑块的内侧沿着输送滑轨的长度方向固设齿条固定块，所述齿条固定在所述齿条固定块上，齿条固定块远离升降组件的一端设置有推拉固定块；[0009]所述输送滑块的外侧间隔设置有与所述晶托相配合的搭接齿，所述搭接齿的纵截[0010]进一步，L形直角的两端固设有防止晶托滑脱的挡板。[0011]进一步，所述升降组件包括升降板和升降驱动组件，所述升降板位于支撑框架内，其一侧与升降驱动组件固连，其另一侧平行的设置两条水平向的滑轨与所述滑轨槽相配[0012]进一步，所述上料组件包括上料固定台，所述上料固定台通过上料支撑柱与底座固定连接，所述上料固定台上设置有与晶硅相配合的凹槽和上料检测装置。[0013]进一步，所述下料组件包括两个平行设置的下料固定板和下料托盘，下料托盘与底座固连，下料固定板沿着晶硅的轴向平行设置，且其与下料托盘固连，两个下料固定板的5两侧设置有多根下料护栏，其上部开设有容纳晶托的固定口，所述固定口处固设有固定托块，所述固定托块横跨所述固定口的两侧，且其沿着水平方向设置并与晶硅的轴向相垂直。[0014]进一步，所述晶托包括沿着晶硅轴向设置的固定台，所述固定台的上表面间隔设置有两个把手与推拉固定块相配合以将晶托推进和拉出晶硅切片装置，两个把手之间固设有固定槽，所述固定槽与固定台成一体结构且其沿着固定台的方向设置，在所述固定槽的两侧对称的固设有至少两根固定杆，所述固定杆与所述搭接齿配合使用以抬升晶托，且所述固定杆与固定托块相平行设置；[0015]所述固定台的两端向外延伸形成凸台，所述凸台搭接在固定托块上用于支撑晶托以及固定在其下方的晶硅。[0016]进一步，所述输送滑轨的上方设置有滑轨护罩用于保护所述输送组件，与所述滑轨相对应的支撑框架的两侧分别设置感应装置。[0019]步骤1:AGV小车运行至放置待切割晶硅的工作台处，上料检测装置检测工作台上有无待切割晶硅，若工作台上无待切割晶硅，则AGV小车执行步骤2;若工作台上有待切割晶硅，人工或者机械手将固定有待切割晶硅的晶托放置到上料组件上。[0020]步骤2:AGV小车运行至切片设备处，推拉固定块将位于切片设备内已经切割完毕的晶硅连同晶托拉出，并通过升降组件放置到下料组件内。[0021]步骤3:升降组件沿水平方向滑动至上料组件处，搭接齿与晶托相搭接，升降组件沿竖直方向上升，输送滑块向靠近晶硅切片装置的方向滑动，将晶托输送至晶硅切片装置内进行切片操作。[0022]步骤4:AGV小车运行至切片存放区，将已切割完毕的晶硅移出下料组件并重复以[0023]本发明的有益效果是：[0024]1、电机正转驱动输送滑块沿着滑轨运动，将晶托输送至晶硅切片装置内；齿条固定块的一端设置有推拉固定块，同时，在固定台的两端设置有把手，推拉固定块与把手相卡合，电机反转，再将切片完毕的晶硅输送回输送机构中，实现晶硅切割前后输送过程的自动[0025]2、底座上设置有上料组件和下料组件，且在上料组件和下料组件的上方设置有输[0026]3、晶托的两端设置有凸台，与下料组件中的固定托块有效的搭接配合，实现了切割完毕的晶硅下料时的有效固定，解决了已切割晶硅的固定问题，同时，晶硅通过晶托得以固定，为输送机构的自动化上下料提供了技术支持。[0027]4、整个上下料单元固定在AGV小车上，AGV小车通过指定程序按照指定线路行驶，附图说明[0028]图1是本发明的整体结构示意图；[0029]图2是输送机构的结构示意图；6[0030]图3是图2中A处的局部结构示意图[0031]图4是输送部和晶托的结构示意图；[0032]图5是输送部(除去一侧输送滑块)和晶托的结构示意图；[0033]图6是上料组件的结构示意图；[0034]图7是下料组件的结构示意图；[0035]图8是晶托的结构示意图。[0036]附图中：[0037]1-底座、[0038]2-上料组件、201-上料固定台、202-上料支撑柱、203-凹槽、204-上料检测装置；[0039]3-下料组件、301-下料固定板、302-下料托盘、303-下料护栏、304-固定托块；[0040]4-输送机构；[0041]5-晶托、501-固定台、502-把手、503-固定槽、504-固定杆、505-凸台；[0042]6-支撑框架；[0043]7-升降组件、701-升降板、702-滑轨、703-链条；[0044]8-输送组件、801-输送部、8011-输送滑轨、8012-输送滑块、8013-齿条、8014-齿条固定块、8015-推拉固定块、8016-搭接齿、8017-挡板；[0045]9-支撑板、901-滑轨槽；具体实施方式[0047]为了使本领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合本发明的附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此，使用的方向用词是用来说明而非限制本发明创造。[0048]下面结合附图和较佳的实施例对本发明作进一步说明。[0049]实施例一[0050]参考图1,一种用于晶硅的上下料单元，包括底座1以及位于底座1上的晶硅存储机构，所述晶硅存储机构沿着晶硅的轴向分为两级，其具体分为上料组件2和下料组件3,输送机构4位于晶硅存储机构的上方。位于上料组件2和下料组件3上的晶硅与晶托5相固定。所述输送机构4通过支撑框架6与底座1相连接，其包括竖直设置的升降组件7和水平设置的输送组件8,所述升降组件7与所述支撑框架6固定连接，所述输送组件8通过支撑板9与升降组件7产生相对运动。输送组件8将位于上料组件2上的晶硅夹紧并通过升降组件7提升至所需高度，再将晶硅输送至晶硅切片装置后，完成晶硅的上料操作，切割完毕的晶硅再由输送组件8固定后经过升降组件7下降，放置到下料组件3上。[0051]实施例二[0052]参考图2-图5,所述输送组件8包括输送部801和驱动部，所述输送部801包括沿着晶硅的轴向设置的两条输送滑轨8011和与输送滑轨8011相配合的输送滑块8012,具体地，所述支撑板9沿竖直方向设置，其一侧与输送滑轨8011的一端垂直固连，其另一侧平行的设7置两条滑轨槽901;所述驱动部包括输送电机和齿条8013,所述输送电机的输出端与齿轮固连，通过齿轮与齿条8013配合驱动输送滑块8012沿着输送滑轨8011滑动，同时，在输送滑块8012的内侧沿着输送滑轨8011的长度方向固定设置有齿条固定块8014,且所述齿条8013固定在齿条固定块8014上。同时，在齿条固定块8014远离升降组件7的一端设置有推拉固定块[0053]所述输送滑块8012的外侧间隔的设置有搭接齿8016,所述搭接齿8016与晶托5相配合使用，具体的，所述搭接齿8016的纵截面呈L形，其一端与所述输送滑块8012固定连接，L形直角的两端固设有挡板8017,有效防止晶托滑脱。作为优选，两个输送滑块8012上各设置两个搭接齿8016。[0054]实施例三[0055]参考图1、图2,所述升降组件7包括升降板701和升降驱动组件，所述升降板701位于支撑框架6内，所述升降板701的一侧与升降驱动组件固定连接，其另一侧平行的设置有两条水平向的滑轨702,所述滑轨702与滑轨槽901配合使用。所述升降驱动组件包括升降电条703与升降板701固定连接，通过升降组件7控制输送组件8的升降以将晶硅抬升和放置。[0056]实施例四[0057]参考图6,所述上料组件2包括上料固定台201,所述上料固定台201通过上料支撑柱202与底座1固定连接，同时，为了便于盛放晶硅，防止其发生位移，在置有与晶硅相配合的凹槽203。此外，在晶硅上料工作台201上设置有上料检测装置204,所述上料检测装置204通过检测支架与上料工作台201固连，为不妨碍晶硅的上料和下料，所述上料检测装置204设置在远离下料组件3的一侧。[0058]实施例五[0059]参考图1、图7和图8,所述下料组件3包括两个平行设置的下料固定板301和下料托盘302,下料托盘302通过下料支撑柱与底座1固连，两个下料固定板301沿着晶硅的轴向间隔设置并固定于下料托盘302上，同时，在两个下料固定板301的两侧设置有多根下料护栏303,所述下料固定板301的上部开设有容纳晶托5的固定口，在所述固定口处设置固定托块304,具体的，所述固定托块304横跨固定口的两侧，且其沿着水平方向设置并且与晶硅的轴[0060]实施例六[0061]参考图1、图5、图7和图8,所述晶托5包括固定台501,所述固定台501沿着晶硅的轴向设置，所述固定台501的上表面间隔设置有两个把手502,把手502与推拉固定块8015相卡合以将晶托5推进和拉出晶硅切片装置，且在两个把手502之间固定设置有固定槽503,所述固定槽503与固定台501成一体结构，且其沿着固定台501的方向设置，在固定槽503的两侧固定有至少两根固定杆504,固定杆504与所述搭接齿8016配合使用以提升晶托5,两侧的固定杆504对称设置，且所述固定杆504与所述固定托块304相平行，本实施例中，每一侧的固定杆504和搭接齿8016均设置2个。[0062]所述固定台501的两端向外延伸形成凸台505,所述凸台505搭接在固定托块304上，用于支撑晶托5以及固定在其下方的晶硅。[0063]所述输送滑轨8011的上方设置有滑轨护罩10,用于保护所述输送组件8。在与所述8滑轨702相对