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文档简介

XXXXXX新能源科技有限公司20GW高效电池生产制造项目(一期)安全预评价报告(报备稿)XXXXX安全技术有限公司资质证书编号:XXXXXXX二O二四年一月

XXXXXX新能源科技有限公司20GW高效电池生产制造项目(一期)项目安全预评价报告(报备稿)法定代表人:XXXXX技术负责人:XXXXX项目负责人:XXXXX二O二四年一月

前言XXXXXX新能源科技有限公司位于安徽省XXXXX市经济技术开发区XXX路8号,20GW高效电池生产制造项目(一期)项目已取得XXX市经济技术开发区行政审批局项目备案表,项目代码:xxxx-xxxx-04-01-xxxxxx(项目备案见附件)。xxxxxxx新能源科技有限公司拟投资1000000万元在安徽省xxxxxx市经济技术开发区xxxx路8号建设20GW高效电池生产制造项目,项目建成后预计年产20GW高效晶硅太阳能电池。项目分为三个阶段,第一阶段建设6GW高效晶硅太阳能电池项目;第二阶段建设6GW高效晶硅太阳能电池项目,第一阶段项目与第二阶段项目基建同步建设,机电设备和生产性设备分阶段进场;第三阶段建设8GW高效晶硅太阳能电池项目。本次评价对象为一期项目(包含第一阶段和第二阶段),一期建成后可年产12GW高效晶硅太阳能电池。为贯彻落实“安全第一、预防为主、综合治理”的安全生产方针,确保中环(桐城)新能源科技有限公司20GW高效电池生产制造项目(一期)(以下简称“拟建项目”)的安全设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入生产和使用,根据《中华人民共和国安全生产法》(国家主席令第88号令修订)、《建设项目安全设施三同时”监督管理办法》(原安监总局令第36号,第77号令修改)以及《关于规范工贸行业(不含金属冶炼)建设项目安全设施“三同时”工作的通知》(皖应急〔2021〕145号)等有关法律法规的要求,xxxxxxx新能源科技有限公司委托xxxxx安全技术有限公司(以下简称“我公司”)对其拟建项目进行安全预评价。受xxxxxxx新能源科技有限公司委托,我公司承担拟建项目安全预评价报告的编制工作。合同签订后,我公司立即成立了项目评价组,开展了前期准备工作。经评价组对项目危险性分析,辨识出存在的危险有害因素,通过选用合适的安全评价方法对划分的安全评价单元进行定性、定量分析、计算,并在此基础上提出了有针对性安全对策措施与建议,对其安全条件是否符合国家相关法律、法规、技术标准做出了明确的结论。评价组最后将上述所有工作情况汇总,现已编制完成了《中环(桐城)新能源科技有限公司20GW高效电池生产制造项目(一期)安全预评价报告》。项目评价组在评价过程中得到了有关领导的关心和支持,得到了专家的指导帮助,得到了建设单位的密切配合,在此表示衷心的感谢!xxxxx安全技术有限公司2024年1月

目录TOC\o"1-2"\h\z\u21232第一章安全评价工作经过 第一章安全评价工作经过1.1前期准备xxxxxx新能源科技有限公司的委托,我公司对xxxxxx新能源科技有限公司20GW高效电池生产制造项目(一期)项目进行安全预评价。根据评价项目的特点,我公司成立评价组,确定评价负责人和评价组成员,研究具体评价方案,收集整理建设项目初步设计资料及有关国家现行的法律、法规、部门规章及技术标准等安全评价依据,并到现场了解相关情况,编制评价大纲。具体如下:1、接受委托,对项目选址及周边环境情况进行调研;2、项目风险评估,签订安全评价合同;3、组成评价组,并进行内部分工;4、与建设单位进行技术交流,收集项目立项批复、相关图纸、地质水文等资料,进一步对建设地周边环境现场勘查;5、评价组收集、整理评价依据和事故案例,并进入评价程序。1.2评价目的1、贯彻“安全第一、预防为主、综合治理”的方针,为拟建项目安全设施设计提供科学依据,识别分析拟建项目投产运行后可能存在的主要危险、有害因素,以利于提高建设项目本质安全程度。2、为建设单位工程项目投产后的安全管理实现系统化、标准化和科学化提供依据。3、本预评价报告中涉及危险、有害因素辨识与分析、安全对策措施和建议以及安全预评价结论可为应急管理部门对拟建项目日常安全监管提供技术支撑。1.3评价对象、范围本次评价的对象:xxxxxx新能源科技有限公司20GW高效电池生产制造项目(一期)。评价范围如下:表1-1拟建评价范围一览表名称拟建项目工程建设内容规模备注主体工程电池车间主要布置TOPCon电池生产线24条,主要生产设备包括单晶制绒机、硼扩+推进氧化退火自动化、硼扩主机台、SE激光、推进氧化退火主机、扩散上下料机、碱抛清洗设备及自动化、RCA清洗设备及自动化、LPCVD多晶硅沉积设备及自动化、ALD、PECVD膜、丝网等设备。1F,建筑面积106970.44m2,年产12GW高效晶硅太阳能电池新建辅助工程综合楼日常办公4F,建筑面积8353.31m2新建1#倒班楼员工住宿6F,建筑面积9997.16m2新建2#倒班楼员工住宿6F,建筑面积9997.16m2新建储运工程仓库储存硅片等普通原料及产品/新建硅烷站共设置2个硅烷站,每个设2台鱼雷车储存硅烷,一次最大储存量约为12t1F,单个建筑面积352m2新建氨气笑气站设3台槽罐车储存氨气,2台槽罐车储存笑气,一次最大储存量约为33.6t、17.2t。1F,建筑面积1400m2新建储罐区设3个100m³/液氮储罐,1个50m³/液氧储罐1F,建筑面积3555m2新建CDS间主要储存氢氟酸、盐酸、双氧水、氢氧化钠,供应站设2个60m3氢氟酸储罐,2个50m3氢氧化钠储罐,1个60m3盐酸储罐,2个60m3双氧水储罐,一次最大存储量为氢氟酸138t、盐酸71.3t、双氧水133.2t、氢氧化钠148t。1F,建筑面积200m2新建化学品库共设置2个化学品库(化学品库1和化学品库2),用于储存制绒添加剂、碱抛添加剂、双氧水添加剂等试剂及酒精等1F,化学品库1建筑面积1560m2,化学品库2建筑面积729m2新建一般固废库用于贮存一般固废1F,建筑面积1440m2新建危废库用于贮存危险废物1F,建筑面积648m2新建生活垃圾房用于贮存生活垃圾1F,建筑面积276m2新建公用工程变电站1座110KV变电站1F,建筑面积4042.5m2新建动力站设置纯水制备系统、中央空调机组及冷却塔。纯水制备系统设计能力为14000t/d,采用RO+EDI纯水制备技术1F,建筑面积11345.4m2新建空分站采用FLOXALAPSA现场氮气发生器,流量:51.3Nm³/min。1F,建筑面积3555m2新建供热项目生产车间冬季供暖采用市政供暖与生产线余热供暖/新建供水由市政供水管网供给年用水量6933723m3新建排水采用雨、污分流,雨水排入市政雨水管。拟建项目产生的清净下水与处理达标后的生产废水一并排入桐城经济技术开发区工业污水处理厂。年排水量6469488m3新建1.4评价工作经过本次安全评价依据本公司《安全评价过程控制作业指导书》及相应过程控制文件规定,进行风险分析、签订合同、组成安全评价组,按安全评价过程控制基本程序进行评价过程质量控制;严格以《安全评价通则》(AQ8001-2007)、《安全预评价导则》(AQ8002-2007)来规范评价报告内容。根据项目可行性研究报告以及建设单位提供的相关基础资料,依据国家现行的有关法令、法规、标准、规范的要求,在分析和辨识项目中存在的危险、有害因素的基础上,针对工程项目的具体情况和特点,选用“安全检查表法”、“预先危险性分析法”定性评价了建设项目的安全条件及其潜在的固有危险、危害程度。依据评价结果和目前国家对建设项目安全生产条件的相关要求,提出了相应的安全对策措施及建议。

1.5评价工作程序安全预评价工作程序见图1-1。辨识与分析危险、有害因素选择评价方法辨识与分析危险、有害因素选择评价方法定性、定量评价提出安全对策措施整理、归纳安全评价结论划分评价单元编制安全预评价报告前期准备1.6评价依据1.6.1法律、法规《中华人民共和国职业病防治法》(国家主席令第24号令修订2018年12月29日施行)《中华人民共和国水污染防治法》(国家主席令第70号,2017年6月27日第十二届全国人民代表大会常务委员会第二十八次会议修订)《危险化学品安全管理条例》(国务院令第645号修订2013年12月7日施行)《中华人民共和国特种设备安全法》(国家主席令第4号令2014年1月1日施行)《特种设备安全监察条例》(国务院令第549号修订2009年5月1日实施)《使用有毒物品作业场所劳动保护条例》(国务院令第352号2002年5月12日施行)《公路安全保护条例》(中华人民共和国国务院令第593号2011年7月1日实施)《生产安全事故应急条例》(中华人民共和国国务院令第708号2019年4月1日实施)1.6.2地方性法规及文件安徽省经济委员会《安徽省工业产业结构调整指导目录(2007年)》《安徽省消防条例》(安徽省第十一届人民代表大会常务委员会第二十次会议通过)《安徽省劳动保护条例》(安徽省人民代表大会常务委员会公告第38号)1.6.3部门规章及规范性文件《应急管理部办公厅关于印发<危险化学品重大危险源企业专项检查督导工作方案>的通知》(应急厅〔2020〕23号)《应急管理部办公厅关于建立危险化学品重大危险源企业联合监管机制(试行)的通知》(应急厅〔2020〕37号)《应急管理部办公厅关于印发危险化学品企业重大危险源安全包保责任制办法(试行)的通知》(应急厅〔2021〕12号)国务院安全生产委员会关于印发《全国安全生产专项整治三年行动计划》的通知(安委〔2020〕3号)国务院安全生产委员会关于印发《全国危险化学品安全风险集中治理方案》的通知(安委〔2021〕12号)1.6.4主要技术标准及规范《工业企业总平面设计规范》(GB50187-2012)《生产过程安全卫生要求总则》(GB/T12801-2008)《生产设备安全卫生设计总则》(GB5083-1999)《工业企业卫生设计标准》(GBZ1-2010)《安全标志及其使用导则》(GB2894-2008)

第二章拟建项目概况2.1建设单位基本情况xxxxx新能源科技有限公司成立于2023年6月20日,注册资本陆亿万元整万元,位于安徽省xxxxx市经济技术开发区xxxx路8号。公司的主要经营范围为:经营范围包括一般项目:太阳能发电技术服务;货物进出口;技术进出口;进出口代理;新兴能源技术研发;能量回收系统研发;光伏设备及元器件制造;电池制造;光伏设备及元器件销售;光伏发电设备租赁;电池销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;半导体器件专用设备销售;工程管理服务;太阳能热发电产品销售;太阳能热发电装备销售;太阳能热利用产品销售;太阳能热利用装备销售;国内贸易代理(除许可业务外,可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目)许可项目:发电业务、输电业务、供(配)电业务;输电、供电、受电电力设施的安装、维修和试验(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)。2.2拟建项目基本情况表2-1项目基本情况表序号项目内容1项目名称xxxxxx新能源科技有限公司20GW高效电池生产制造项目(一期)项目2项目性质新建工程3建设内容A1电池车间、U1动力站、W1污水处理站、W2废水中转池、G1特气站、G2空分站、G3氨气笑气站、G4硅烷站1、G5硅烷站2、G6化学品库、G7化学品库2、G8固废库、G9危废库、G10生产垃圾房、G11生活垃圾房、F1消防水池、B1综合楼、B2倒班楼1、B3倒班楼2、G1门卫1、G2门卫2、E1110KV变电站等配套的工艺及设备设施,公辅设施等。4建设地点安徽省xxxxxx市经济技术开发区xxxxx路8号5项目占地面积417.27亩6拟劳动定员1640人7备案该拟建项目已取得桐城经济技术开发区行政审批局项目备案表,项目代码:xxxxxx-xxxxxx-xx-xx-xxxxx(项目备案见附件)2.3项目的产业政策符合性对照原国家安监总局《淘汰落后安全技术装备目录(2015年第一批)》(原安监总厅科技〔2015〕43号)、《推广先进与淘汰落后安全技术装备目录(第二批)》(国家安全生产监督管理总局中华人民共和国科学技术部中华人民共和国工业和信息化部公告2017年第19号)、《关于印发淘汰落后安全技术工艺、设备目录(2016年)的通知》(原安监总科技〔2016〕137号)和安徽省经济委员会《安徽省工业产业结构调整指导目录(2007年)》,拟建项目工艺、设备及产品不在以上几个目录之内,符合国家产业政策。2.4项目选址及周边情况拟建项目选址位于安徽省xxxxx市经济技术开发区xxxxx路8号,周边500m范围内无居民区和重要的军事设施;东侧为稳定同位素化学园区及配套污水处理厂,南侧东郊小区,西侧为安徽高路合纵高速预制标铜厂分厂,北侧为童庄。所以,周边环境对拟建工程暂无影响因素。2.5总体布置拟建项目厂区地块位于安徽省xxx市。拟建项目周围2公里范围内无学校、医院等特殊敏感保护目标。距该建项目所在地500m内无风景名胜区、自然保护区、国家重点文物保护区和历史文化保护地,不处在自然疫源地、地方病区;拟建项目根据工程生产的特点,工艺流程的要求,厂区物流的情况,人流的方向,结合用地的实际的情况,以及外部环境特点,将建设项目用地分成主要的五大功能区:办公生活区、生产区、仓储区、生产辅助区和停车区。拟建项目生产区主要由电池车间组成,设计中考虑配套设施服务半径、管线短捷、提高效率、减少能耗、就近就地等原则,故将特气站、废水站、动力站、消防水池等布置在电池车间的周边。整个产业园内部道路主要采用沥青混凝土路面,局部采用人行道地砖铺砌。道路宽度结合交通运输的需要分为三种:生产动力区内主要的货运物流通道宽10m,双车道;辅助区内道路宽9m,其他支路宽9m。双车道道路转弯半径不小于9m,单车道为6m。主要物流干道与园区两个物流出入口相连,有利于园区物流的迅速有序地输入输出。各个生产厂房周围的道路均为环行通道,以满足运输和防火规范等要求。总平面规划详见附图。2.6项目工艺规模及主要原辅材料2.6.1主要原辅材料拟建项目涉及的主要原辅材料名称、数量和储存情况见表2-2。表2-2主要原辅材料一览表序号类别物料名称形态规格年用量最大储存量单位存储周包装规格储存位置生产工序1硅片硅片N型、Si≥99.9999%,182×182/24714673212228万片30盒装仓库原料2网版RE1背面主栅RE1_NM1016BV02/430-13-15-3.5-22.5°7482624块30盒装仓库丝网3RE2背面细栅RE2_NM1016BV02/520-11-13-3.5-18-0°8314693块30盒装仓库丝网4FR1正面主栅FR1_NM1016BV02/430-13-15-3.5-22.5°7482624块30盒装仓库丝网5FR2正面细栅FR2_NM1016BV02/500-9-13-5-16-0°8314693块30盒装仓库丝网6刮板182刮板215mm70A748196235根30盒装仓库丝网7浆料主栅银浆液体聚和CSP-m³M26.56t25kg/桶仓库丝网8背面细栅银浆液体聚和CSP-N3TR79.633.325t25kg/桶仓库丝网9正面细栅银浆液体聚和CSP-N3TF66.362.775t25kg/桶仓库丝网化学品制绒添加剂液体TS55V55_吨桶60225m³1m³/桶化学品库制绒背抛添加剂液体PS35V33/_吨桶91238m³1m³/桶背面碱抛RCA添加剂液体EP10V06/_吨桶95340m³1m³/桶RCA清洗氢氟酸液体49%,EL级9919240m³7100m³/储罐*3化学品库酸洗盐酸液体37%,EL级384164m³640m³/储罐*2酸洗双氧水液体31%,EL级23048240m³4100m³/储罐*3清洗氢氧化钠液体45%,EL级23815m³2120m³/储罐*2清洗、碱抛、碱制绒酒精液体99.70%2000L(约t3020L/桶化学品库丝网三氯化硼液体6.651t500kg/钢瓶间辅房硼扩散三氯氧磷液体1t245L/石英管磷扩散20三甲基铝液体6.040.6t300kg/钢瓶ALD21特种气体液氮气体5N64781750m³3100m³+650m³/储罐储罐区硼扩散、磷扩散、LPCVD22液氧气体5N320m³5650m³/储罐储罐区23笑气气体5.5N253.1925.8t槽罐车氨气笑气站PECVD24硅烷液体6N245.05t64吨/鱼雷车硅烷站25氨气气体5.5N718.4733.6t4槽罐车氨气笑气站26包装材料纸箱纸质材料-502mm×396mm×273mm83131670000个30盒装仓库汽运27纸箱纸质材料-502mm×396mm×273mm(带logo)83131670000个30盒装仓库汽运28珍珠棉材质-495mm×390mm×260mm83131670000个30盒装仓库汽运29珍珠棉盖子珍珠棉材质-495mm×390mm×20mm83131670000个30盒装仓库汽运30中空盒PP材质210mm×210mm×47mm1068.84万个30盒装仓库汽运31垫片XPE材质-182*182*4.7mm2137.67万个30盒装仓库汽运32中空板PP材质-182mm×182mm×3mm2137.67万个30盒装仓库汽运33木托盘木质-1060mm×1260mm×120mm278002317个30盒装仓库汽运34防滑垫珍珠棉材质-1060mm×1260,mm×15mm278002317个30盒装仓库汽运35污水站原料石灰工业级4964t7100m³储存罐污水站汽运36CaCl2(30%溶液体工业级5000t189m³储存池污水站汽运37硫酸液体工业级67050t750m³储存罐污水站汽运38NaOH液体工业级270t715m³储存罐污水站汽运39溶液)液体工业级2190t7126m³储存罐污水站汽运40工业级244t725kg/袋污水站汽运41复合碳源(30%,碳源)工业级4259t780m³储存池污水站汽运2.7项目工艺流程图2-1生产工艺流程图工艺流程说明:(1)检验对原材料硅片进行检验,主要检验硅片外观、厚度、少子寿命、方块电阻等。(2)制绒单晶硅片是由单晶拉晶经多线切割而成,其表面存在3-5μm厚度的损伤层,表面损伤层存在大量的缺陷及复合中心,如果不加以去除,会降低太阳能电池的开路电压和短路电流。清洗制绒工序的主要作用是在去损伤层的同时,同时通过各向异性腐蚀,在硅片表面形成微米级金字塔结构的绒面,从而降低入射光的反射率。清洗制绒工艺是在密闭的制绒清洗一体机中完成,单晶硅片依次完成预清洗、水洗1、制绒、水洗2、后清洗、水洗3、酸洗、水洗4、慢提拉,然后硅片进行电烘干。制绒清洗工艺完成后,硅片表面的反射率可以控制在10%以内。具体过程情况为:1)预清洗:将NaOH、双氧水和纯水按照体积比进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的化学反应方程式为:2H2O2=2H2O+O2↑Si+O2=SiO22NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑(弱反应)双氧水水解后会释放氧气,温水条件下氧气会和硅片形成薄氧化硅。此时碱液对硅的腐蚀能力较弱,这一层薄氧化层可以对硅片存在保护作用,阻挡碱液对硅片的腐蚀;碱液可以微弱地改善硅片表面微结构的同时,进一步清洗表面。2)水洗1:对完成预清洗的硅片使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。3)制绒:将NaOH、制绒添加剂和纯水按照一定比例进行溶液配置,在设备里进行化学反应。此过程的化学反应方程式为:2NaOH+Si+H2O=Na22SiO3+2H2↑使用NaOH对单晶硅腐蚀的各向异性特性,让〈111〉晶面缓慢腐蚀,其他晶面快速腐蚀,达到金字塔的形貌,从而减少太阳光在电池片表面的反射率,增加太阳能电池片对光的吸收。制绒过程中投加制绒添加剂,改善表面活性,增强对硅片表面的腐蚀速率和腐蚀均匀性。4)水洗2:对完成制绒的硅片使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。5)后清洗:将NAOH、制绒添加剂和纯水按照一定体积比进行溶液配置,对硅片进行后清洗。此过程的主要化学反应方程式为:2H2O2=2H2O+O2↑Si+O2=SiO22NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑(弱反应)6)水洗3:对完成后清洗的硅片使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。7)酸洗:将HCl、HF和纯水按照一定体积比进行溶液配置,在槽内进行化学反应。此过程的主要化学反应方程式为:NaOH+HCl=NaCl+H2OSiO2+6HF=H2SiF6+2H2O主要是为了去除金属离子,同时让硅片表面呈现脱水性。8)水洗4:对完成酸洗的硅片使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。9)慢提拉:通过热水浸泡硅片后缓慢提出,达到硅片表面脱水的状态。同时此过程有水洗的作用。10)烘干:使用电加热烘干方式,烘干温度在85度左右,在槽式设备里面进行干燥,使得电池片表面达成干燥状态,烘干过程会有水分损耗。(3)硼扩散该步骤是采用BCl3气态源扩散法进行硼扩散,在硅片的表面层掺入硼杂质,使这一表面层呈现P型,形成太阳能电池的核心PN结。操作过程如下:将硅片装在石英舟上,将石英舟放置在高温扩散炉内的石英架上,启动程序,高温扩散炉自动运行,将装有硅片的石英舟送入高温扩散炉。硼扩散前先通过大量氮气吹尽腔内空气、抽真空,再通入BCl3和O2。温度控制在800~1050℃,采用电加热。主要化学反应为:4BCl3+3O2=2B2O3+6Cl2↑2B2O3+5Si=5SiO2+4BBCl3在高温和氧气的参与下,可充分分解为B2O3和氯气。分解产生的B2O3淀积在硅片表面,B2O3与硅反应生成SiO2和B原子,并在硅片表面形成一层二氧化硅,然后B原子再向硅中进行扩散。(4)激光SE该步骤是通过激光局部处理(脉冲式激光光斑逐点扫描硅片表面,形成线型激光处理区,相邻线型激光处理区的间距约1.4mm左右)硅片正面PN结,使PN结局部形成深结。(5)氧化推进使用高温氧化退火炉处理硅片(温度800-1050度),工艺过程中通入氧气和氮气,使正面掺入的硼原子重新分布。多余的氧气和氮气经过酸雾塔,再排入空气中。主要反应过程为:Si+O2=SiO2(6)去背面BSG此工序包含背面去BSG和背面碱抛光两个过程。在扩散时,硅片的正面形成一层很薄的硼硅玻璃层(简称BSG)。由于采用背靠背的硼扩散过程中,硅片的边缘将不可避免地扩散上硼。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有硼的区域流到PN结的背面,而造成短路,此短路通道等效于降低并联电阻。因此,为使电池表面颜色均匀一致,正反电极与电池形成良好的欧姆接触,在室温下条件下,使用HF溶液对扩散后的硅片进行两次刻蚀,去除硅片边缘及背面BSG。硼硅玻璃层是含有硼的二氧化硅层,去除硼硅玻璃层实际就是使用氢氟酸溶解二氧化硅。此过程为硅片在一个链式酸洗设备中进行连续作业,依次完成酸洗1,酸洗2,水洗和电烘干,合计4个步骤,具体过程情况为:1)酸洗1、酸洗2:将HF和纯水按照一定比例溶液配置,在链式酸洗设备里进行化学反应。此过程的主要化学反应方程式为:SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O主要是为了去除硅片背表面的二氧化硅,使其变成脱水性。2)水洗:对完成酸洗后的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。3)电烘干:使用电加热烘干方式,在槽式设备里面进行干燥,使得电池片表面达成干燥状态,烘干过程会有水分损耗。其次是碱抛工艺,使用碱溶液和添加剂对硅片背表面进行硅片腐蚀,使其形成抛光的表面结构,后用盐酸和氢氟酸进行清洗。此过程为硅片在槽式湿化学设备中进行连续作业,依次完成预清洗,水洗1,碱抛,清洗,水洗2,微制绒,水洗3,后清洗,水洗4,酸洗,水洗5,慢提拉,烘干合计13个步骤,具体过程情况为:1、预清洗:将NaOH、双氧水和纯水按照一定比例进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的化学反应方程式为:2H2O2=2H2O+O2↑Si+O2=SiO22NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑(弱反应)双氧水水解后会释放氧气,温水条件下氧气会和硅片形成薄氧化硅。此时碱液对硅的腐蚀能力较弱,这一层薄氧化层可以对硅片存在保护作用,阻挡碱液对硅片的腐蚀;碱液可以微弱地改善硅片表面微结构的同时,进一步清洗表面。2、水洗1:对完成碱抛的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。3、碱抛:将NaOH、碱抛添加剂和纯水按照一定比例进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。利用添加剂对正面氧化层保护,采用碱溶液对单晶面进行腐蚀,在硅表面形成抛光面。2NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑4、清洗:碱抛后清洗工序的双氧水和纯水比例是1:56,作用增加清洁功能。5、水洗2:对完成清洗片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。6、微制绒:将NaOH、制绒添加剂和纯水按照一定比例进行溶液配置,在设备里进行化学反应。此过程的化学反应方程式为:2NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑使用NaOH对单晶硅腐蚀的各向异性特性,让〈111〉晶面缓慢腐蚀,其他晶面快速腐蚀,达到金字塔的形貌,从而减少太阳光在电池片表面的反射率,增加太阳能电池片对光的吸收。制绒过程中投加制绒添加剂,改善表面活性,增强对硅片表面腐蚀速率和腐蚀均匀性。7、水洗3:对完成后清洗的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。8、后清洗:将NaOH、双氧水和纯水按照一定比例进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的化学反应方程式为:2H2O2=2H2O+O2↑Si+O2=SiO22NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑(弱反应)9、水洗3:对完成后清洗的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。10、酸洗:将HF、HCl和纯水按照一定的比例进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的主要化学反应方程式为:NaOH+HCl=NaCl+H2OSiO2+6HF=H2SiF6+2H2O主要是为了去除金属离子。11、水洗4:对完成酸洗的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。12、慢提拉:通过热水浸泡硅片后缓慢提出,达到硅片表面脱水的状态。同时此过程有水洗的作用。13、电烘干:使用电加热烘干方式,在槽式设备里面进行干燥,使得电池片表面达成干燥状态,烘干过程会有水分损耗。(7)poly沉积在电池背面采用LPCVD制备一层超薄氧化硅和一层高掺杂的多晶硅薄层,二者共同形成了钝化接触结构,超薄氧化层可以使多子电子通过同时阻挡少子空穴复合,有效降低表面复合和金属接触复合,提升了电池的开路电压和短路电流,主反应:二氧化硅:Si+O2→SiO2多晶硅的制备是由硅烷在570-650℃热分解产生的;硅烷在575℃分解产生非晶硅,在595℃以上分解产生SiH4→Si+2H2(8)磷扩在N型衬底上扩散P型杂质形成PN结。达到合适的掺杂浓度ρ/方块电阻R□。即获得适合太阳能电池PN结需要的结深和扩散层方块电阻。此过程的主要化学反应方程式为:4PCl5+5O2过量O2喻2P2O5+10Cl2个2P2O5+5Si=5SiO2+4P专(9)RCA清洗此工艺分为去边缘PSG和RCA清洗两个过程,分别在链式机和槽式机完成。去边缘PSG:此过程为硅片在一个链式化学设备中进行连续作业,依次完成去PSG,水洗,电烘干,合计3个步骤,具体过程情况为:1)酸洗:将HF和纯水按照一定比例进行溶液配置,在链式设备里进行化学反应。此过程的主要化学反应方程式为:SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O主要是为了去除硅片表面的二氧化硅。2)水洗:对完成去PSG的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。3)吹干:使用电加热烘干方式,在槽式设备里面进行干燥,使得电池片表面达成干燥状态,烘干过程会有水分损耗。RAC清洗:RCA又称湿式化学洗净技术,通过多道清洗去除硅片表面的颗粒物和金属离子。此过程为硅片在槽式湿化学设备中进行连续作业,依次完成去绕度,水洗1,碱洗,水洗2,酸洗1,水洗3,酸洗2,水洗4,慢提拉,烘干合计10个步骤,具体过程情况为:①去绕度:将NaOH、去绕度添加剂和纯水按照一定的体积比进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的化学反应方程式为:2NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑(弱反应)②水洗1:对完成去绕度的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。③碱洗:将NaOH、双氧水和纯水按照一定的比例进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的化学反应方程式为:2H2O2=2H2O+O2↑Si+O2=SiO22NaOH+Si+H2O=Na2SiO3+2H2↑(弱反应)利用双氧水的氧化性,结合NaOH的碱性,可以有效去除添加剂。碱液在继续改善背面多晶硅的表面微结构的同时,进一步清洗表面。④水洗2:对完成后碱洗的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。⑤酸洗1:将HF和纯水按照一定比例进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的主要化学反应方程式为:SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O主要是为了去除硅片表面的掺硼二氧化硅。⑥水洗3:对完成后酸洗1的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。⑦酸洗2:将HF和纯水按照一定比例进行溶液配置,在槽式设备里进行化学反应。此过程的主要化学反应方程式为:SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O主要是为了去除硅片表面残留的二氧化硅,使其变成脱水性⑧水洗4:对完成酸洗2后的片子使用纯水水洗,稀释硅片表面的残留废液和调整pH值。⑨慢提拉:通过的热水浸泡硅片后缓慢提出,达到硅片表面脱水的状态。同时此过程有水洗的作用。⑩电烘干:使用电加热烘干方式,在槽式设备里面进行干燥,使得电池片表面达成干燥状态,烘干过程会有水分损耗。(10)ALD镀膜(正镀膜-氧化铝)将上述清洗后的硅片送入原子层沉积设备后,抽真空,然后交替通入三甲基铝和水气,利用三甲基铝和水气反应,在硅片的正面沉积形成一层氧化铝膜,反应温度为190-250度。此过程的主要化学反应方程式为:2Al(CH3)3+3H2O=Al2O3+6CH4(11)PECVD镀膜(正、背镀膜-氮化硅)在硅片正反表面沉积SiNx膜,其中在正面镀SiNx膜的主要目的是形成减反射膜,并对AlOx钝化膜起到保护的作用,背面镀SiNx的作用是钝化。正面与背面的SiNx膜是在PECVD炉管中完成。将待镀膜的硅片放入全自动PECVD沉积炉中,并通入硅烷和氨气,利用高频微波将硅烷(SiH4)和氨气(NH3)激发为等离子体状态,Si原子与N原子以一定的比例沉积到硅片表面形成一层氮化硅(SiNx)薄膜,起到减反射和钝化的作用。化学反应方程式如下:SiH4+2NH3=SiNx+5H2↑SiH4+2NH3+N2O=SiONy+5H2↑(12)丝网印刷针对客户的需求,选用不同规格的背面银浆、正面银浆和适合细栅线印刷的副栅浆料和适合主电极印刷的主栅浆料在丝网印刷设备中进行印刷。利用烘干炉烘干,烘干过程的温度均在200-400℃左右,主要目的是完成电池的初步干燥。使用快速高温炉,进行高温烧结,使硅和金属共烧形成合金,其中铝和硅形成合金的温度为500-600度,银和硅形成合金的温度为650-800度。印刷好的电池片传输进入烧结炉内,在高温作用下,使浆料中的有机溶剂完全挥发,让浆料与硅片形成良好的欧姆接触。(13)光注入使用光注入设备,钝化电池片体缺陷,减少光衰,提高电池效率。光注入炉是链式设备,电池片经循环运行的网带送入炉体内,炉体内依次有红外加热区、高强度光照区、风冷降温区,红外加热区把电池片温度升高到200~500度之间,光照区用LED灯发射高强度可见光照射电池片,风冷区把电池片温度降低到室温。(14)测试及效率分选电池片依次完成外观测试(包括光电转换效率、开路电压、短路电流、填充因子、串联电阻、并联电阻),测试后将不同效率的电池分等级进行分级包装。(15)包装入库每1小包电池片(一般为120片1包)用热缩机进行热缩包装后放入箱中,待放满整箱后进行打包作业,后转到仓库。2.8项目主要设备设施表2-3主要设备设施一览表序号设备类别设备名称数量(台/套)设施运行参数片/h机台最大设计产能万片/年拟建项目设计产能万片/aGW/a1制绒设备单晶制绒机161200016588814673212工业热水机24//制绒上料机1612000165888制绒下料机16120001658882硼扩设备硼扩+推进氧化退火自动化554000190080硼扩215000181440SE激光287000169344抽尘机28//推进氧化退火主机台3460001762563去BSG-碱抛设备去BSG上料209500164160单面去BSG20950016416012道去BSG下料机转碱抛上料自动化209500164160机械手209500164160碱抛209500164160工业热水机20//碱抛下料机2095001641604磷扩设备LP扩散上下料机219000163296普乐(6管1200)219000163296真空泵126//SE激光277200167961.6抽尘机27//磷扩主机台365800180403.2自动化(一拖二)18110001710725去PSG-RCA设备去PSG上料209500164160单面去PSG20950016416010道去PSG下料机转RCA上料209500164160RCA209500164160工业热水机20//RCA下料机2095001641606ALD设备背钝化(微导ALD)+先导自动化1512500162000真空泵(配微导ALD)60//臭氧机(配微导ALD)15//冷水机(配微导ALD)15//Localscrubber12//7镀膜设备离子体淀积炉(正膜6管)32+2台镀舟机355500166320真空泵210//离子体淀积炉(背膜6管)29+2台镀舟机316400171417.6真空泵186//PE自动化6235001874888膜后SE设备SE激光267200161740.8抽尘机26//9丝网印刷设备上料机(单轨)484200174182.4背极印刷机(单轨)484200174182.4一道缓存机(单轨)484200174182.4背极印刷机(单轨)484200174182.4二道缓翻转存机(单轨)484200174182.4正极印刷机(单轨)484200174182.4三道缓存机(单轨)484200174182.4正极印刷机(单轨)484200174182.4一道烘干炉(单轨)484200174182.4二道烘干炉(单轨)484200174182.4三道烘干炉(单轨)484200174182.4烘干段(单轨)484200174182.4烧结段(单轨)484200174182.4退火+LED段部分(单轨)484200174182.4炉后一体机(单轨)484200174182.4IV+EL测试仪484200174182.4分选机(120bin)(单轨)484200174182.4移栽机(单轨)484200174182.4银浆灌装机12//悬挂式银浆机96//行星搅拌机6//10印刷后设备SE激光247500155520抽尘机24//11测试包装设备数片机630000155520离线检测一体机1215500160704IV+EL测试仪247500155520分选机(150bin)1215500160704移栽机1215500160704离线EL1215500160704热缩膜机824000165888自动包装线A/P区(分选EL检测+人工包装)290000155520自动包装线B区(分档缓存区)290000155520自动包装线S区(装箱码垛区)29000015552012返工片清洗设备返工片清洗机4////返工机工业热水机4////返工机上料导片机4////返工机下料4////导片机2////13清洗设备石墨舟烘干炉18////石墨舟清洗机6////自动石墨卡点安装4////超声波清洗机2////石英舟清洗机(硼扩)2////石英舟清洗机(LP)2////石英管清洗机2////花篮擦拭机2////14测试仪器全光谱椭偏仪2////方阻测试仪(4D)2////sinton少子寿命测试(WCT120MX、SunsVocMX)2////ECV测试仪器2////3D显微镜(基恩士)2////太阳能电池量子效率测试仪(QE)2////多功能太阳电池栅线接触电阻测试仪(TLM)2////PL-R3(离线PL)2////万能试验机(脆度测试仪)2////激光切片机2////PCT老化测试箱2////烘箱2////双85实验箱2////SEM/EDS2////氮气柜4////通风橱2////2.9项目建构筑物表2-4主要建构筑物一览表名称层数(F)占地面积/m2建筑面积/m2火灾危险性类别耐火等级结构形式电池车间1106595.76106970.44丙一动力站111345.411345.4丁二污水处理站1146302926丁二废水中转池115304530戊二特气站1360360甲一空分制氮站135553555乙二氮气笑气站114001400乙二硅烷站11352352甲一硅烷站21352352甲一化学品库1115601560乙二化学品库21729729甲一固废库114401440丙二危废库1648648甲二生产垃圾房1567567丙二生活垃圾房1276276丙二消防水池1/-14003600戊二综合楼42093.358353.31民用二倒班楼161649.369997.16民用二倒班楼261649.369997.16民用二门卫11291.655.09民用二门卫216060民用二2.10配套和辅助工程名称、能力(或负荷)、介质(或物料)来源2.10.1供配电项目厂区供电电源接自市政供电管网,项目将另行新建一座110kV变电站,能够满足日常用电需求。拟建项目主要用电负荷为太阳能电池生产用电、工艺生产支持设备用电、生命安全及通讯设备用电、办公仓库及技术支持用电、生产辅助用电等。应急电源:拟建项目备用电源由配电室内专用回路供电,末端双电源柜供电,以保证应急电源需求。消防用电设备的配电设备应有明显消防标志。对于突然断电比过负荷造成的损失更大的线路,该线路的过负荷保护应作用于信号而不应切断电路。厂区电缆通过管廊接入电池车间、动力站配电室,然后通过桥架或穿管至车间各用电设备。车间配电采用干线式配电与放射式配电相结合的方式,分支线路敷设采用桥架或金属管道吊顶内明敷或沿墙、埋地敷设。采用TN-S系统,三相五线制供电。低压供电的各建筑的电缆进线处均做可靠的重复接地;各用电设备不带电的金属外壳均可靠接地;插座回路设专用接地线及漏电保护设施;照明灯具均设置PE线,与相线、零线同管敷设。拟建项目根据《建筑设计防火规范》GB50016-2014(2018版)第10.1条规定、《民用建筑电气设计标准》GB51348-2019第3.2条规定、《宿舍、旅馆建筑项目规范》GB55025-2022第2.0.11条规定,普通负荷用电性质分为二、三级。1)二级负荷:部分重要动力设备、消防设备、疏散照明、特气站内照明动力等负荷。2)三级负荷:工艺设备,除二级负荷外的其他动力设备、照明插座负荷为三级负荷。2.10.2给排水(1)给水工程拟建项目新鲜水主要为生产和生活用水,均以有效工作时间360整天计,新鲜水用量为19260.3m3/d(6933723m3/a),由市政自来水管网供给,供水能力能满足拟建项目用水要求。拟建项目生产用水均使用纯水,纯水用量为12926.7m3/d,企业设置4套超纯水系统最大处理能力14000m3/d,可满足拟建项目工艺需求。①纯水制备用水根据物料平衡统计数据,项目生产线和辅材清洗需纯水量为12926.7m3/d(4653596m3/a)。纯水制备效率按75%计,则制备纯水用水量为17235.5m3/d(6204795m3/a),纯水制备浓水量为4308.8m3/d。②废气处理设施补充用水拟建项目共设10套双塔碱喷淋(二级氢氧化钠)和3套水喷淋塔塔,单套喷淋塔循环水量约25m³/h。蒸发损耗按循环水量的1%计算,年工作8640h,损耗水量约为28080m³/a。按每10d置换排放一次计,置换排放量约120000m³/a,合计需用水148080m³/a,此项用水采用循环冷却水排水补给61200m³/a,采用新鲜水补给86880m³/a。③冷却塔补充用水拟建项目生产线均需对设备进行间接冷却,冷却系统为间接冷却循环式,循环量合计为2500m3/h,蒸发损耗量按循环水量的2.5%计算,损耗量约为1500m3/d(510000m3/a),少量冷却水定期排放,置换排放比例按0.3%计,则排放冷却水约180m3/d(61200m3/a)。则冷却塔补充用水量为1680m3/d(571200m3/a)。④生活用水拟建项目劳动定员1640人,项目设有食堂,根据《安徽省行业用水定额》(DB34/T679-2019),职工生活用水按120L/人·d计,则用水量为196.8m3/d(70848m3/a)。(2)排水实行雨污分流制,污水主要为工艺废水、公用工程排水和生活污水,经厂区污水处理站预处理后纳入市政污水管网,进入桐城经济技术开发区工业污水处理厂进一步处理后最终排入龙眠河。废水排放量为17970.8m3/d(6469488m3/a),拟建项目进入厂内污水站水量为17970.8m3/d,拟新建1套处理能力为20000m3/d的废水处理装置,可满足拟建项目要求。2.10.3空调、净化根据生产工艺的要求,厂房洁净度应达到千/万级,环境温度为18℃~28℃,因此需要采取空气净化和空气调节措施。空气净化:根据工艺设备布置及建筑面积,需配置附有空气净化设备的组合式空调机组。含风机段及初效和中效过滤段、混合段,通过风道向操作区送风,在风道出口处再安装普通型过滤器。经净化处理后的空气可以满足生产工艺对洁净厂房的要求。2.10.4消防拟建项目厂区消防系统参数如下:①室内外消防系统室内外消火栓系统采用临时高压消火栓系统。本次室内外消火栓用水量:室内消火栓设计流量应为25L/s;室外消火栓设计流量45L/s,火灾持续时间为3小时;本系统由消防水池,消火栓泵,消防水箱、稳压装置、消火栓管网和室内外消火栓组成。消防水箱位于电池车间楼梯间屋顶,消防泵,稳压泵等消防设备,均设于消防水泵房内。②自动喷水灭火系统电池车间设置预作用喷水灭火系统,辅房区域(动力区、仓库区域、办公区、成品打包区)设置湿式喷水灭火系统。③灭火器辅助系统分区配置灭火器。2.10.5供热拟建项目生产过程用热均采用电加热。2.10.6防雷、接地根据《建筑物防雷设计规范》(GB50057-2010)的规定,拟建项目硅烷站、特气站、甲类库、笑气站等按二类防雷建筑设计,其余建(构)筑物均按三类防雷建筑设计。利用金属屋顶(双层彩钢板,钢板厚度大于0.5mm)作为接闪网,利用钢立柱作为防雷引下线,利用基础钢筋作联合接地体。设等电位端子箱,所有金属装置作等电位联结。低压配电系统的接地型式采用TN-C系统,厂房内所有的金属管道、金属设备外壳和电气设备在正常情况下均按上述系统做接零保护。2.11拟建项目所在地理位置及自然条件1、地理位置拟建项目拟建地点位于安徽省xxxxx市经济技术开发区xxxx路8号,桐城市位于xxx市北部,东邻xx、xx两县,西连xx市,北接xxx县,南抵xxx县和安庆市区。地势西北高东南低,山地、丘陵、平原呈阶梯分布。206国道、合九铁路、沪蓉高速等三大交通动脉纵贯全境,水路菜子湖通达长江。下辖1个国家级经济开发区、1个省级经济开发区,12个镇和3个街道,总面积1571平方公里。2、地质、地貌xxxx市地势西北高、东南低。西北为山区,东南为湖泊,中部是丘陵。按全国地貌分类标准划分,丘陵占45%,圩畈占28%,山区占27%。境内主要山脉有xx山、xx山、xx尖、xx尖等,均为大别山余脉。主要河流是xx河、xx河、xx河、xx河等。湖泊有xxx湖、xx湖、xx湖等。塘堰棋布、水网纵横。境内最高点在城区正北大徽尖主峰,海拔为1057m,最低点在东南嬉子湖,海拔为8m。3、气象气候根据xxx市气象站近二十年的气象资料统计,分析本地区污染气象。桐城气象台站(站点编号:58319)地理坐标为东经116.95°,北纬31.07°,海拔高度85.4m。气候特征区域气候特征属北亚热带湿润季风气候区,气候温和,雨量适中,光照充足,无霜期长,春季(3~5月)气温回暖迅速,雨水明显增多,时晴时雨,时冷时暖,常有寒流入侵,有时有低温连阴雨,倒春寒,晚霜冻。夏季(6~8月)日照强,温度高,水分蒸发快,降雨集中,多雷暴雨,间有台风,龙卷风、冰雹,有些年份被副热带高压控制,酷热少雨,造成干旱。秋季(9~11月)多晴天,降温快,雨量骤减,常有秋旱,有时也有阴雨连绵。冬季(12~2月)北方冷空气入侵频繁,雨雪偏少,多干冷。(2)气温从年平均气温月变化资料可以看出:桐城市7月份平均气温最高(28.6℃),1月份平均气温最低(3.0℃)。(3)风速区域平均风速为2.80m/s,从年平均风速月变化可知3、4月份平均风速最高(3.1m/s),10月份平均风速最低(2.4m/s)。4、生态环境(1)土地资源市区土地总面积9156.53公顷,约占全市土地总面积的5.57%,其中农用地7039.74公顷,占市区土地总面积的76.88%;建设用地1759.03公顷,占市区土地总面积的19.21%;未利用地357.76公顷,占市区土地总面积的3.91%。市区土地利用程度:土地垦殖率36.31%,土地利用率96.09%,耕地复种指数215%,森林覆盖率28.35%,农业用地率76.88%,建设用地率19.21%。(2)水资源全市水面积约164平方公里(不含河流),其中天然湖泊水面积约97平方公里,已控制湖沟水面积约18平方公里,塘堰水面积约32平方公里,水库水面积约17平方公里。总蓄水量3.38亿立方米(不含天然湖泊蓄水量),水资源较为丰富。(3)农产品资源桐城市农业区是以林粮经济特产为主的综合农业区。名特优农林产品主要有茶叶、油桐、水芹菜等,名贵药材有留兰香、山楂、桔梗等。(4)矿产资源境内已探明的金属矿产有铜、铁、钛铁、铝、金等;非金属矿产有石墨、花岗石、开采价值最高,开采量最大。(5)动植物资源野生动植物种类繁多,主要分布在西北山区,其中被列为国家保护的珍稀动物有金钱豹、穿山甲、大鲵、小灵猫;珍稀植物有银杏、金钱松、杜仲等7种。林业资源有用材林、经济林、防护林、薪炭林、特种林、竹林等,树种主要有松、杉、毛竹等。2000年,全市有林面积1.6万公顷,森林覆盖率为34%,林木总生产量4.2万立方米,消耗量2.5万立方米,森林活力木蓄积量104万立方米。新建项目区域以人类生活为主,不涉及珍稀保护动植物。5、地震烈度拟建项目该区域地震烈度为7度,设计基本地震加速度值为0.10g,设计地震分组为第一组。场地未发现活动断裂及其他影响工程稳定性的地质构造。2.12组织结构及劳动定员(1)劳动定员本次项目建成后劳动定员1640人,两班制,每班工作12小时,年工作360天。(2)职工的来源及培训1)职工来源项目建设的主要管理和技术人员由投资方选派,不足部分拟通过面向社会公开招聘。2)培训后持证上岗为适应项目产品生产需要,企业应制定切实可行的培训计划,严格按先培训后上岗的原则执行。依据项目特点与建设单位的实际情况,拟定员工培训计划,经培训考核合格后,持证上岗。3)相关要求培训人员培训时间的安排应与项目的建设进度相衔接。如设备操作人员应在设备安装调试前完成培训工作,以便这些人员在参加设备安装、调试过程中熟悉设备性能,掌握处理事故的技能等。管理人员必须具备与项目所从事的生产经营活动中相应岗位的综合性知识和管理能力。企业从业人员是生产经营活动的具体承担者,必须具备所从事岗位的生产经营基本知识,熟练掌握本岗位的安全操作技能。第三章危险有害因素辨识与分析危险、有害因素是指可对人造成伤亡、影响人的身体健康甚至导致疾病的因素。危险、有害因素所产生的后果主要是由于危险、有害物质能量的存在和危险、有害物质能量失去控制两方面的综合作用。危险、有害物质能量的失控主要体现在人的不安全行为、物的不安全状态和管理缺陷等三个方面。本报告中事故分类将依据《企业职工伤亡事故分类》(GB6441-1986)、《生产过程危险和有害因素分类与代码》(GB/T13861-2022)的规定进行分类;危险化学品依据《化学品分类和危险性公示通则》(GB13690-2009)和《危险化学品目录(2022调整版)》进行分类;重大危险源辨识依据《危险化学品重大危险源辨识》(GB18218-2018)。3.1原料、中间产品或者储存的危险化学品理化性能指标、危险性和危险类别及数据来源拟建项目涉及的原料主要有:硅片、氢氧化钠NaOH、氢氟酸HF、盐酸HCl、双氧水H2O2、制绒添加剂、背抛添加剂、BCl3、硅烷SiH4、液氨NH3、笑气N2O、液氮N2、液氧O2、三氯氧磷、TMA(三甲基铝)、背栅银浆、电极银浆、正栅银铝浆、背极网版、正栅网版、液碱、硫酸、氢氧化钙、聚合氯化铝、阴离子PAM、复合碳源、氯化钙等。在生产过程中会产生氢气、氯气、氨气等。依据《危险化学品目录(2022调整版)》,拟建项目涉及的原料中氢氧化钠NaOH、氢氟酸HF、盐酸HCl、双氧水H2O2、三氯化硼BCl3、氢气H2、硅烷SiH4、液氨NH3、笑气N2O、液氮N2、液氧O2、、TMA(三甲基铝)、硫酸、三氯氧磷属于危险化学品,拟建项目在生产过程中产生的废气氢气、氨气以及氯气也属于危险化学品。依据《危险化学品目录(2022调整版)》,拟建项目生产过程中产生的氯气属于剧毒危险化学品。依据《易制毒化学品管理条例》(国务院令第703号修正版),上述物质涉及的盐酸、硫酸属于易制毒危险化学品。依据《易制爆危险化学品名录(2017年版)》,上述物质中涉及的双氧水、三氯氧磷属于易制爆危险化学品。依据《国家安全监管总局关于公布首批重点监管的危险化学品名录的通知》(原安监总管三〔2011〕95号)和《国家安全监管总局关于公布第二批重点监管的危险化学品名录的通知》(原安监总管三〔2013〕12号),上述物质中涉及的氢氟酸、氢气、液氨以及氯气属于重点监管的危险化学品。依据《特别管控危险化学品目录(第一版)》(应急管理部工业和信息化部公安部交通运输部公告2020年第1号),上述物质中涉及的液氨、氯气属于特别管控的危险化学品。涉及《危险化学品目录》(2022年调整版)上有的危险、有害物质主要危险特性汇总于表3-1,可能含有的危险物质主要危险特性汇总于附件。表3-1主要化学品危险、有害物质主要特性汇总表序号化学品名称序号化学品理化性能和毒性指标是否剧毒、易制毒、重点监管、易制爆化学品火灾危险性危险类别状态闪点℃爆炸极限%(V)毒性液碱(45%)1669液体//40mg/kg(小鼠腹腔)/戊类皮肤腐蚀/刺激,类别1A严重眼损伤/眼刺激,类别1氢氟酸(49%)1650液态//1276ppm,1小时(大鼠吸入)重点监管戊类急性毒性-经口,类别2*急性毒性-经皮,类别1急性毒性-吸入,类别2*皮肤腐蚀/刺激,类别1A严重眼损伤/眼刺激,类别1盐酸(37%)2507液态//LD50:900mg/kg(兔经口);LC50:3124ppm,1小时(大鼠吸入)易制毒戊类皮肤腐蚀/刺激,类别1B严重眼损伤/眼刺激,类别1特异性靶器官毒性一次接触,类别3(呼吸道刺激)危害水生环境-急性危害,类别2双氧水903液态//大鼠经口LD50(mg/kg):376;大鼠经皮LD50(mg/kg):4060;小鼠经口LD50(mg/kg):2000易制爆甲类氧化性液体,类别2皮肤腐蚀/刺激,类别1A严重眼损伤/眼刺激,类别1特异性靶器官毒性一次接触,类别3(呼吸道刺激)三氯化硼1844气//LC50:2541ppm1小时(大鼠吸入)/戊类加压气体急性毒性-经口,类别2*急性毒性-吸入,类别2*皮肤腐蚀/刺激,类别1B严重眼损伤/眼刺激,类别1氢气1648气体/4.1-74.1/重点监管甲类易燃气体,类别1加压气体硅烷1030气体//LC50:9600ppm4小时(大鼠吸入)/甲类易燃气体,类别1加压气体皮肤腐蚀/刺激,类别2严重眼损伤/眼刺激,类别2A特异性靶器官毒性一次接触,类别3(呼吸道刺激)特异性靶器官毒性-反复接触,类别2液氨2气体/15.7-27.4LD50:350mg/kg(大鼠经口);LC50:1390mg/m3,4小时,(大鼠吸入)重点监管乙类易燃气体,类别2加压气体急性毒性-吸入,类别3*皮肤腐蚀/刺激,类别1B严重眼损伤/眼刺激,类别1危害水生环境-急性危害,类别1笑气2561气体//LD50:1068mg/m3,4小时(大鼠吸入)/乙类氧化性气体,类别1加压气体生殖毒性,类别1A特异性靶器官毒性一次接触,类别3(麻醉效应)特异性靶器官毒性-反复接触,类别1液氮172气体////戊类加压气体液氧2528气体////乙类氧化性气体,类别1加压气体三甲基铝1808液态-18///甲类自燃液体,类别1遇水放出易燃气体的物质和混合物,类别1硫酸(50%、98%)1302液态//LD50:2140mg/kg(大鼠经口)LC50:510mg/m3(大鼠吸入);320mg/m3

,2小时(小鼠吸入)易制毒戊类皮肤腐蚀/刺激,类别1A严重眼损伤/眼刺激,类别1氯气1381气体//850mg/m3(大鼠吸入,1h)剧毒乙类加压气体急性毒性-吸入,类别2皮肤腐蚀/刺激,类别2严重眼损伤/眼刺激,类别2特异性靶器官毒性一次接触,类别3(呼吸道刺激)危害水生环境-急性危害,类别1三氯氧磷10025-87-3液体///易制爆乙类急性毒性-吸入,类别2*皮肤腐蚀/刺激,类别1A严重眼损伤/眼刺激,类别1特异性靶器官毒性-反复接触,类别3.2生产、储存过程中危险、有害因素分析3.2.1火灾、爆炸火灾是在时间和空间上失去控制的燃烧所造成的灾害,火灾发生的必要条件:同时具备氧化剂、可燃物、点火源;爆炸是物质系统的一种极为迅速的物理的或化学的能量释放或转化过程,是系统蕴藏的或瞬间形成的大量能量的体积和极短的时间内,骤然释放或转化的现象。拟建项目氨气、硅烷、氢气、均为易燃气体,双氧水、为氧化性液体;氧气、笑气为氧化性气体,可助燃;拟建项目涉及的三甲基铝属于自燃物质,在空气中自燃。其蒸气与空气混合能形成爆炸性混合物,遇明火、高热易燃烧或爆炸。在高温火场中,受热的容器或储罐有破裂和爆炸的危险。遇水剧烈反应;拟建项目涉及的三氯化硼化学反应活性很高,遇水发生爆炸性分解。与铜及其合金有可能生成具有爆炸性的氯乙炔。遇潮气时对大多数金属有强腐蚀性,也能腐蚀玻璃。在潮湿的空气中可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾。遇水发生剧烈反应,放出具有刺激性的氯化氢气体;以上物料在生产、储存、使用和输送过程中,均有发生火灾、爆炸的危险性。生产过程产生废气氨气、氢气为易燃气体,氯气为助燃气体,散发在空气中与空气可形成爆炸性混合物;遇明火、高热能引起燃烧爆炸。生产过程中产生含有液氨、双氧水等废液,废液挥发出的可燃气体遇热源、明火、氧化剂有燃烧爆炸的危险。拟建项目生产工艺过程涉及加热,高温设备可使电气线路绝缘损坏造成短路,引起电气或其它火灾。制绒、硼扩散、PE-poly、等过程会产生的氨气、氢气、甲烷、氯气等气体,具有易燃易爆等特性。作业场所通风不良,易燃气体积聚,达到一定浓度,遇火源或其它热源,可引起火灾爆炸。制绒、蚀刻过程涉及使用的双氧水具有强氧化性,使用过程受强热或与强酸接触时即发生爆炸。与还原剂、有机物、易燃物如硫、磷或金属粉末等混合可形成爆炸性混合物。急剧加热时可发生爆炸。烘干过程涉及加热,高温设备可使电气线路绝缘损坏,造成短路,引起电气或其它火灾。退火等热处理高温辐射可引燃周边可燃性物质及过程使用的油脂,引发火灾。拟建项目硼扩散工序温度800~1050°C、氧化退火工序温度1050°C、正面氧化铝钝化工序温度190-250°C、丝网印刷工序200-400°C等加热工序,若设备防护不良、人员操作不当可造成人员灼烫伤害,加热设备周围温度较高若安全防护不到位,可引燃周边易燃、可燃物,引起火灾等事故。污水处理过程涉及使用的双氧水等具有强氧化性、易燃、可燃等特性,泄漏、使用不当,遇火源或其它热源,可引起火灾爆炸。在设备检修时,检修的设备如果没有与系统彻底断开、隔离,并对被检修的设备进行置换、清洗,进行可燃物质浓度检测,违章进行动火、烧焊作业,存在发生火灾、爆炸的危险。汽车进入厂内,排气管未装防火罩、忘记熄火,或人员带入火种、使用铁质器具产生火花等,遇到泄漏的可燃物质可能引发火灾爆炸危险。拟建项目供配电系统存在着电气火灾爆炸的危险。拟建项目为生产配套的配电系统,如低压配电装置、电力输送线等当存在设备、材质质量差或安装施工质量不良等情况时,可能发生短路与漏电,或由于用电负荷过载,导致电气设备过度发热,引发电气火灾事故。(1)电缆运行中温度较高,电缆芯正常工作温度为50℃~80℃,若电缆存在制造隐患、电缆运行中经常过负荷、过热等原因,使电缆绝缘老化、绝缘过热和干枯、绝缘强度降低,引起电缆相间或相对地击穿短路、过电压等,电缆有发生击穿短路起火危险。(2)拟建项目各种设备设施的动力及照明线路如果设计安装不合理,会加速电绝缘老化,引发短路事故;若断路器、漏电保护器等保护装置失效,线路接触不良,用电设备散热不良,电缆绝缘为非阻燃型等,存在电气火灾的危险。(3)电源插头插座存在引发电气火灾危险。据火灾事故统计资料表明,由于电气原因而引发的火灾事故中,有相当一部分火灾是由于通常使用的电源插头及插座不符合规定和要求、制造质量不良、接线极性错位、拔插操作失误等原因引发电气火灾。电阻增大的原因就是接触不良,在接触不良的地方也会产生高温,引发火灾。对于这种故障,一般保护措施较难保护得到。雷击、地线与火线接触、变压器绕组故障等也是引起变压器火灾的重要原因。在上述可能发生火灾爆炸事故的作业场所,若灭火器失效或者随意移除,或未设置消火栓,发生着火事故时不能及时灭火,也易造成火灾蔓延的危险。生产过程中安全管理、监督不到位或管理不当,对生产过程中发现的安全隐患问题不及时处理,因违章指挥、违章作业、违反操作规程而引发火灾爆炸事故。作业人员素质低或未经培训即上岗作业,不遵守操作规程,对生产过程中出现的异常现象不能及时发现、正确处理,可能因贻误处理时机或处理不当而引发火灾、爆炸事故。企业没有根据项目实际情况编制事故应急预案,或预案没有针对性、实用性,没有定期组织培训演练,出现突发事故不能、不会处理,火灾爆炸后事故有进一步扩大的可能。3.4.2噪声和振动危害作业人员长时间处在强烈的噪声环境中,对人的身心健康都有损害,噪声造成的掩蔽效应,使作业人员听不到信号或事故的前兆声响,会导致事故危险性增加。噪声不仅对人体的听力、心理、生理产生影响,长时间在噪声作用下,听觉器官的敏感性下降,由听觉适应到听觉疲劳,最后导致职业性耳聋,而且对生产活动也产生不利影响。在高噪声环境中作业,人的心情易烦躁,容易疲劳,反应迟钝,工作效率低,可诱发事故。同时,噪声对神经系统、心血管系统及全身其他器官功能也有不同程度的损害。振动对人体健康的影响包括生理和心理上的,其影响范围涉及人的血液循环系统、呼吸系统、消化系统、神经系统以及听觉、视觉、人体平衡等许多方面。当振动比较强烈时,会造成骨骼、肌肉、关节及韧带的严重损伤;当振动频率和人体内脏器官的固有频率接近时,还会由于引起共振而造成内脏器官损伤,导致呼吸加快、血压改变、心跳加快、心肌输出血量减少等。拟建项目生产区域的噪声与振动源主要有:机泵、风机等机械设备以及空气动力噪声等。作业人员若长时间处在强噪声环境状态,会分散注意力,容易产生疲劳,反应迟钝,影响工作效率,干扰和影响人们的信息交流,听不清谈话和信号,增加误操作的发生,引发其它伤害事故。3.2.3机械伤害机械性伤害主要指机械设备运动(静止)部件、工具、加工件直接与人体接触引起的夹击、碰撞、剪切、卷入、绞、碾、割、刺等形式的伤害。各类转动机械的外露传动部分(如齿轮、轴、履带等)和往复运动部分都有可能对人体造成机械伤害。拟建项目生产过程中使用了较多的下料机、印刷机、离心机、风机和泵等机械设备,一且与作业人员发生误接触,极易造成机械伤害事故;另设备外露凸出部件、尖角、棱边以及电池车间内制绒工序、背刻蚀工序使用的机械臂也易对作业人员产生划伤和碰伤。造成机械伤害的主要原因大致如下:(1)设备存在制造缺陷或材质缺陷:如刀具等断裂致伤,或设备自身传动、挤压部位较多,且未设计安全防护装置。(2)机械设备未进行必要的维护、保养和检修:如联锁限位装置、急停装置因长期使用或未用)而导致磨损失效。(3)机械传动部位未加设防护装置或防护装置不符合要求。(4)检修完毕时,没有做好确认,盲目启动。(5)岗位人员操作技能差。(6)作业人员不按照安全操作规程作业,未穿戴劳动防护用品。3.2.4灼烫拟建项目生产过程中涉及的氢氧化钠溶液、盐酸、液氨、双氧水、氢氟酸等属于腐蚀品,具有强烈的腐蚀性、强刺激性,可致人体灼伤,误服可引起消化道灼伤、溃疡形成,有可能引起胃穿孔、腹膜炎等。由于腐蚀品对金属材质的设备、管道具有较强的腐蚀性,能使各类密封材料和设备、管道迅速老化、龟裂、穿孔、破损,容易造成生产现场的设备、管道或储罐危险化学品泄漏,导致火灾爆炸和人员受到化学灼伤。若生产操作中未按要求佩戴劳动保护用品,意外接触硫酸、氢氧化钠溶液等腐蚀品会造成化学灼伤。拟建项目硼扩散工序温度800~1050°C、氧化退火工序温度1050°C、正面氧化铝钝化工序温度190-250°C、丝网印刷工序200-400°C等加热工序,均属高温工段,人体接触高温设备或介质可引起灼烫伤害。硼退火、制绒热烘干等热处理过程涉及高温介质及高温设备,这些场所的设备和管道外壁温度过高,如果保温及隔热措施不当或个体劳动防护用品佩戴不规范等,均会引起人员的高温烫伤事故。若发生泄漏、洒落、喷溅,人体接触后会造成皮肤灼伤或眼灼伤。若设备检修时置换清洗不彻底或未完全与系统隔绝(如加盲板),未办理进入设备作业许可手续而进入设备内作业,接触腐蚀性物质,有引起检修人员灼伤的危险。3.4.5触电当人体触及带电体,或者带电体与人体之间闪击放电,或者电弧波及人体时电流通过人体进入大地或其他导体,形成导电回路,即为触电。拟建项目的电动设备(如机泵电机、照明设施等)在使用、维修、保养过程中,存在着触电的危险,工作环境潮湿、腐蚀严重、电缆受机械损坏等,使绝缘层破损,会增加触电危险的程度。发生触电事故的原因主要有以下几点:1、未按规定安装漏电保护器或漏电保护器安装不符合技术要求,容易发生触电事故。2、接地、接零装置不合格,电气设备或电气线路绝缘老化漏电,可引起触电事故。3、安全防护措施不完善,如未按规定对电气设备及线路采用护栏护网防护装置等。4、移动式电动设备因经常需要移动,工作条件差,设备和电源线都容易发生故障或损坏,特别是电源线的老化和破损,存在触电危险性。5、如安全电压系统不健全,可能导致用电设备漏电时发生人员触电事

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