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文档简介
本发明提供了一种偏压感应耦合等离子体时体区二维流体模型中体区电子能量方程的边到极板不同位置处的离子能量分布和离子角度而提高优化偏压感应耦合等离子体源放电特性2根据所述感应沉积功率密度确定体区二维流体模型，得到体区流体参数，根据鞘层边界处的等离子体密度和电子温度确定多个一维鞘层述一维鞘层模型和偏压感应耦合等离子体源中的鞘层若所述判断结果为否，则根据鞘层参数确定鞘层对体区的随机基于所述时空变化鞘层电场确定离子蒙特卡洛碰撞模型，得到极板根据极板不同位置处的离子能量分布和离子角度分布，优化偏压感p0p3ie为电子密度，Te为电子温度，Qe为电子能流通量，Senergy为电子的能量源项，通过鞘层离子连续性方程和鞘层离子动量方程确定鞘层离4j)为离子角度分布函数，N(θj)为角度位于之间的离子的数二维流体模型确定模块，用于根据所述感应沉积功率密鞘层参数确定模块，用于根据鞘层边界处的等离子体密度和电子温次迭代时体区二维流体模型中体区电子能量方程的边界条件并调用所述电场和感应沉积离子能量分布和离子角度分布确定模块，用于基于所9.一种电子设备，其特征在于，包括存储器5[0003]数值模拟方法常常被用来研究偏压感应耦合等离子体中的离子能量分布和离子[0004]本发明的目的是提供一种偏压感应耦合等离子体源优化6机加热通量作为下一次迭代时体区二维流体模型中体区电子能量方程的边界条件返回步p0p7)为能量位于之间的离子8[0055]二维流体模型确定模块，用于根据所述感应沉积功率密度确定体区二维流体模下一次迭代时体区二维流体模型中体区电子能量方程的边界条件并调用所述电场和感应器运行所述计算机程序以使所述电子设备执行上述的一种偏压感应耦合等离子体源优化9[0070]本发明的目的是提供一种偏压感应耦合等离子体源优化p0p0[0117]利用体区计算出的鞘层边界处的等离子体密度ne和电子温度z为离子速度的三个分量。[0151]二维流体模型确定模块，用于根据所述感应沉积功率密度确定体区二维流体模下一次迭代时体区二维流体模型中体区电子能量方程的边界条件并调用所述电场和感应序，处理器运行计算机程序以使电子设备执行根据实施
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