CN115439523B 一种半导体器件引脚尺寸检测方法、设备及存储介质 （华南理工大学）_第1页
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文档简介

本发明公开了一种半导体器件引脚尺寸检标图像预先设置的ROI区域内，根据目标边缘拟合得到基准直线；在每个引脚的ROI区域内根据2采用高斯滤波及自适应阈值分割法对目标图像进在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点，由引脚顶点到基准直在预先设置于半导体器件边缘的四个ROI区域内，由Sobel算子根据基准直线对目标图像进行角度校正，获取校正后的目标图像对引脚区域图像I0进行先腐蚀后膨胀的形态学处理后得到连获得引脚轮廓中每个子轮廓的质心，并以质心坐标替代引脚顶点坐获得引脚轮廓C中所有子轮廓的零阶矩M00以及一阶矩M01和M10使用ROI模版对目标图像进行切片得到图像I，确定半导体器件3运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1_5任一项所述的处理器执行时实现如权利要求1_5任一项所述的半导体器件引脚尺4[0010]在每个引脚的ROI区域内根据引脚边缘均值拟合得到引脚顶点，由引脚顶点到基[0011]根据基准直线对目标图像进行角度校正，获取校正后的[0014]使用ROI模版对目标图像进行切片得到图像I，确定半导5w2为类别2的比例。算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现所述权利要求1_8任一项所述的半导体[0038](1)本发明采用预设ROI(regionofinterest)与边缘提取相结合的方式来拟合6[0039](2)本发明选取了引脚轮廓的质心替代引脚顶点来作为检测引脚间距的关键特[0045]步骤一获取半导体器件的图像，依次采用高斯滤波及OTSU自适应阈值分割算法w2为类别2的比例；7[0061]步骤三根据基准直线对目标图像进行角度校正，获取校正后的目标图像的引脚[0067]S4.1由子轮廓的零阶矩M00以及8长度及引脚间距检测。本发明实施例的一种检测设备，处理器可以是中央处理单元(CentralProcessingUnit，CPU)，还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(DigitalSignalProcessor，DSP)、专用集成电路(ApplicationSpecificIn

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