CN112289721B 微型设备转移装置及方法 （三星显示有限公司）

提供了微型设备转移装置和微型设备转移2所述掩模单元的所述开口部暴露紧固到所述载体基板紧固部的所述载体基板上设置所述掩模单元的所述阻挡部阻挡所述多个微型设备中除被所述开口部暴露的所述一单元移动模块配置成作为安装在所述机架框架上的第一移动模块将所述多个转移头单元4.根据权利要求1所述的微型设备转移装置，其中，所述掩模单元还包括掩模移动模将微型设备/载体基板层压板供应给所述转移头单元，所述微型设将包括开口部和阻挡部的掩模放置在所述微型设备/载体基板层压板上的第一位置处并发射第一有源光以将所述多个微型设备中的一些微型设备与所述载体基板分离的第一述掩模放置在不同于所述第一位置的第二位置处并发射第二有源光以将所述多个微型设述开口部发射至所述多个微型设备中的所述另一所述微型设备/载体基板层压板还包括设置在所述载体基板和所述多个微型设备之间3转移头单元从目标基板的第一区域沿所述机架框架移动至与所述第一区域不同的第二区4[0002]本申请要求于2019年7月22日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0088306号韩从载体基板转移到目标基板的微型设备转移[0004]随着信息时代的进步，对用于显示图像的显示设备的需求也已以各种形式增[0005]本公开的方面提供了能够选择性地和/或快速地将多个微型设备从载体基板转移[0006]本公开的方面还提供了能够有效地将设置在载体基板上的多个微型设备转移到转移头单元和第二转移头单元在机架框架上彼5口部和阻挡部的掩模放置在微型设备/载体基板层压板上的第一位置处并发射第一有源光置在不同于第一位置的第二位置处并发射第二有源光以将微型设备中的另一些微型设备[0016]在示例性实施方式中，微型设备/载体基板层压板还包括设置在载体基板和多个[0031]图10是示出在图8的S310中多个转移头单元和目标基板的相对放置的示例的布局[0032]图11是示出在图8的S320的步骤中转移头单元和微型设备/载体基板层压板的示6[0034]图13是示出在图8的S380的步骤中多个转移头单元和目标基板的相对放置的示例[0047]参考图1、图2和图3，根据实施方式的微型设备转移装置1000可以包括平台单元[0049]平台120提供待设置目标基板SUB的空间。目标基板SUB可(在第三方向D3上)安置二方向D2上布置的长边和在第一方向D1上布置[0051]平台移动部130用于将目标基板SUB供应给微型设备转移装置1000或者释放其上7[0052]支撑件310和320可包括设置在平台单元100的第一长边上的第一支撑件310和设和第二支撑件320可以在第一方向D1上彼此间隔开。平台120可设置在第一支撑件310和第部311和连接到第一水平支撑部311的两端并且在作为竖直方向的第三方向D3上延伸的第一竖直支撑部312。第一竖直支撑部312可具有放置在基础框架110上的一端。第一支撑件[0054]第二支撑件320可以包括在第二方向D2上延伸的第二水平支撑部321和连接到第二水平支撑部321的两端并且在作为竖直方向的第三方向D3上延伸的第二竖直支撑部322。第二竖直支撑部322可具有放置在基础框架110上的一端。第二支撑件320的剖面形状为矩[0055]以下将描述的机架框架410和420可移动地连接到第一支撑件310的第一水平支撑部311和第二支撑件320的第二水平支撑部321，并且第一支撑件310和第二支撑件320用于[0056]机架框架410和420设置在平台120上方。机架框架410和420可以设置在第一支撑件310的第一水平支撑部311和第二支撑件320的第二水可以连接到第一支撑件310的第一水平支撑部311和第二支撑件320的第二水平支撑部321。机架框架410和第二机架框架420在第三方向D3上到基础框架110的距离可以等于第一水平支撑部311和第二水平支撑部321在第三方向D3上到基础框架[0059]第一机架框架410可以具有在第一方向D1上延伸的矩形剖面形状。第二机架框架一机架框架410和第二机架框架420可以定位成在第一方向D1上彼此平行并且在第二方向8[0061]每个转移头单元HD用于将多个微型设备520(见图4)放置到目标基板SUB上。每个第一转移头单元HD1和第二转移头单元HD2可以在第一机架框架410上安装成彼此隔开。此的平面面积可以小于以下将描述的目标基板SU[0064]第一机架框架410和第二机架框架420可通过机架框架移动模块在水平方向上移[0065]第一机架框架移动模块331和第三机架框架移动模块341可以设置在第一机架框架410的两端处。第一机架框架移动模块331可以安装在第一支撑件310的第一水平支撑部311上，并且第三机架框架移动模块341可以安装在第二支撑件320的第二水平支撑部321上。第一机架框架移动模块331和第三机架框架移动模块341可以设置在第一机架框架410的两端处以在第二方向D2上移动第一机架[0066]第二机架框架移动模块332和第四机架框架移动模块342可以设置在第二机架框架420的两端处。第二机架框架移动模块332可以安装在第一支撑件310的第一水平支撑部311上，并且第四机架框架移动模块342可以安装在第二支撑件320的第二水平支撑部321上。第二机架框架移动模块332和第四机架框架移动模块342可以设置在第二机架框架420的两端处以在第二方向D2上移动第二机架9模块432可以安装在第一机架框架410上。第一转移头单元移动模块431可允许第一转移头单元HD1在第一方向D1上在第一机架框架410上移动。第二转移头单元移动模块432可允许第二转移头单元HD2在第一方向D1上在第一机架[0070]第三转移头单元移动模块441和第四转移头单元移动模块442可以安装在第二机架框架420上。第三转移头单元移动模块441可允许第三转移头单元HD3在第一方向D1上在第二机架框架420上移动。第四转移头单元移动模块442可允许第四转移头单元HD4在第一部451可以安装在第一转移头单元HD1和第一转移头单元移动模块431之间。第二竖直移动部452可以安装在第二转移头单元HD2和第二转移头单元移动模块432之间。第三竖直移动部461可以安装在第三转移头单元HD3和第三转移头单元移动模块441之间。第四竖直移动部462可以安装在第四转移头单元HD4和第四转移头单元移动模块442之间。竖直移动部邻来在目标基板SUB上执行安置多个微型设备5[0073]微型设备转移装置1000还可包括载体基板盒WM。这将参考图4和图5进行详细描[0074]图4是图1的载体基板盒的示意性正视图。图5是图4的微型设备/载体基板层压板个微型设备520。载体基板盒WM可用于存储包括待转移到目标基板SUB的多个微型设备520的微型设备/载体基板层压板500，并通过载体基板供应部(未示出)将微型设备/载体基板[0076]每个载体基板盒WM可外部地设置成与平台单元100的至少一侧相邻。在示例性实型设备/载体基板层压板500可以在第三方向D3上层叠在每个载体基板盒WM上。虽然未示层压板500可通过载体基板盒WM的驱动[0078]设置有多个微型设备520的载体基板510可包含对紫外(UV[0079]载体基板510可以是UV膜。UV膜可包括UV透明基础膜和形成在UV透明基础膜的一够透射紫外光的载体基板510，所述粘合剂的粘合强度在载体基板510暴露于紫外光时减[0080]多个微型设备520可以设置在载体基板510的一个表面上(即，面向第三方向D3上备520可以在第一方向D1和第二方向D2上彼此共面并彼此隔开预定距离。以下将详细描述[0084]图6是根据实施方式的第一转移头单元的剖视图。以下将详细描述根据实施方式[0087]侧表面713可在第三方向D3上从第一水平表面711的两端延伸，而第二水平表面性实施方式中，当从顶部观察时，第二水平表面712可具有在第三方向D3上暴露的中央区[0088]发光部730可以设置在第一转移头单元HD1的上部处。发光部730可用于发射有源光，使得有源光可将设置在载体基板510上的多个微型设备520与微型设备/载体基板层压[0090]发光部730可以设置在形成第一转移头单元HD1的上部的第一水平表面711的底侧部)的掩模751以及用于在水平方向上移动掩模751的掩模光部730发射的有源光传播到掩模751的阻挡部时，阻挡部可导致有源光无法到达微型设口部751H，掩模751用于选择性地将布置在载体基板510上的多个微型设备520中的仅一些[0094]掩模移动模块753可以设置在掩模751的侧表面上。掩模移动模块753可以设置在753可用于在每个分离步骤期间调节待与载体基板510分离的微型设备520相对于开口部[0095]载体基板紧固部770可设置在第一转移头单元HD1的下部处。载体基板紧固部770可设置在第二水平表面712的顶侧上。载体基板紧固部770可以在第一转移头单元HD1中紧[0097]以下将描述使用根据上述实施方式的微型设备转移装置1000转移微型设备520的[0099]参考图7，根据实施方式的微型设备转移方法可以包括在微型设备转移装置1000设备/载体基板层压板500的步骤(S20)以及在目标基板SUB上布置多个微型设备520的步骤成与第三载体基板盒WM3相邻，并且第四转移头单元HD4可定位成与第四载体基板盒WM4相[0103]目标基板SUB可以设置在微型设备转移装置1000的平台120的中央处。目标基板120的短边，并且目标基板SUB的长边可设置成平行于平台120的长边。在示例性实施方式中，目标基板SUB可以是具有矩形形状的大型基板，所述矩形形状包括具有约2000mm至2500mm长度的长边和具有约1800mm[0105]随后，将包括多个微型设备520的一个微型设备/载体基板层压板500供应给每个压板500提供给转移头单元HD。第一转移头单元HD1可以从与第一转移头单元HD1相邻的第转移头单元HD3可以从与第三转移头单元HD3相邻的第三载体基板盒WM3接收一个微型设载体基板盒WM4接收一个微型设备/载体基板层压板500。可以向相应的转移头单元HD提供设置在每个载体基板盒WM中的多个微型设备/载体基板层压板500之中的设置在最上层上[0107]已接收微型设备/载体基板层压板500的每个转移头单元HD可将载体基板510紧固置成使得微型设备520向下定向，并且载体基板510的上表面面对掩模751的阻挡部的下表HD上的微型设备/载体基板层压板500[0110]图8是详细示出图7的S20和S30的示例的流程图。图10是示出在图8的S310中多个转移头单元和目标基板的相对放置的示例的布局图。图11是示出在图8的S320中转移头单基板层压板的相对放置的布局图。图13是示出在图8的S380中多个转移头单元和目标基板将多个微型设备520转移到转移区域“a”LAa(其包括例如区域“a11”LAa11、区域“a12”HD4中的每个可以移动到待执行第一分离操作的第一转移目标区域。第一转移目标区域可[0116]在下文中，可以用第一转移头单元HD1的驱动代替每个转移头单元HD的执行转移[0118]详细地，通过改变相对于紧固到载体基板紧固部770的载体基板510的相对位置，520a将以组为基础设置在目标基板SUB上时，开口部751H可以形成为具有不同的宽度以便SUB的第一转移目标区域相邻。可以通过驱动第一竖直移动部451来使第一转移头单元HD1过驱动第四竖直移动部462来使第四转移头单元HD4降低成与目标基板SUB的区域“d11”头单元HD1设置成与目标基板SUB相邻，可以防止在随后的操作中当微型设备520与载体基板510分离时第一转移头单元HD1转移到与转移目标位上的一些第一微型设备520a可与载体基板510分离并附接到目标基板SUB的区域“a11”设备520b的位置相对于掩模751(图8中的S380)的多个开口部75[0136]详细地，通过改变相对于紧固到载体基板紧固部770的载体在第一分离步骤中，设置在载体基板510中的多个微型设备520b和520c之中的设置在第二备520b之间的间隔可以与设置在目标基板SUB上的第一微型设备520a之间的分隔距离相[0138]通过适当调整设置在目标基板SUB上的两个相邻第一微型设备520a之间的距离DP设置在载体基板510上的多个第一微型设备520a中的全部转移到目标基板[0139]参考图19，设置在目标基板SUB上的两个相邻第一微型设备520a之间的距离DP可以定义为从设置在目标基板SUB的相同转移目标区域中的第一微型设备520a的一个侧表面到与所述第一微型设备520a的所述一个侧表面相邻的另一第一微型设备520a的一个侧表从设置在载体基板510中的微型设备520的一个侧表面到与所述微型设备520的所述一个侧[0140]通过将设置在载体基板510上的两个相邻微型设备520之间的距离DL调整为设置将设置在目标基板SUB上的两个相邻第一微型设备520a之间的距离DP调整为设置在载体基板510上的两个相邻微型设备520之间的距离DL的自然数倍大，可以使用相同的掩模751在一个微型设备/载体基板层压板500上执行多移动模块753在水平方向上移动的移动距离DM可以与设置在载体基板510上的两个相邻微水平方向上移动的移动距离DM调整为与设置在载体基板510上的两个相邻微型设备520之间的距离DL相同，可以有效地将设置在载体基板510上的多个第二微型设备520b中的全部保持在载体基板510上的微型设备520的数量与设置在每个单元转移区域中的微型设备520上的现有载体基板510返回，并且每个转移头单元HD可以从载体基板盒WM接收新的微型设SUB上的微型设备520的数量与应转移到目标基板SUB上的微型设备520的预定数量相互进[0145]当转移到目标基板SUB上的微型设备520的数量等于应转移到目标基板SUB上的微台120移动到外部。当转移到目标基板SUB上的微型设备520的数量不等于应转移到目标基准(图8中的S380)，并且然后将每个转移头单元HD移动到随后的转移目标位置(图8中的[0147]图20和图21中所示的实施方式与图9中所示的实施方式不同之处在于：还包括第[0149]详细地，第三支撑件370可以设置在平台单元100的基础框架110上。第三支撑件370可以设置在第一支撑件310和第二支撑件320之间。第三支撑件370可以与第一支撑件[0150]第三支撑件370可包括在水平方向上延伸的第三水平支撑部和连接到第三水平支[0151]第五转移头单元HD5可安装在第三支撑件370上。第五转移头单元HD5可通过第五转移头单元移动模块390在水平方向上移动。第五转移头单元HD5可在第三支撑件370的延转移头单元HD3和第四转移头单元HD4的移动路径不同，第五转移头单元HD5可仅在第二方SUB和载体基板510之间的均匀平面面积比或者目标基板SUB的设置微型设备520的均匀区[0154]图22和图23中所示的实施方式与图9中所示的实施方式的不同之处在于：在微型可以将目标基板SUB的转移区域LA竖直地划分，并且然后每个转移头单元HD可以转移多个被压力部代替。将描述图24中所示的实施方式，重点是与图6中所示的实施方式的不同之[0158]参考图24，微型设备/载体基板层压板500的提供给转移头单元HD1_2的载体基板的第一微型设备520a上以将压力施加到载体基板510的设置有待分离到第一转移目标区域的第一微型设备520a的区域时，所述第一微型设备520a可以从载体基板510分离到第一转