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文档简介
CN211366215U,2020.08.28KR20090018693A,2009.02.20本发明提供一种硅片插片机用分离装置及水孔喷出的水均朝向硅片移动方向的中间轴线2在所述喷射柱上设有竖直设置的两列所述喷水孔;所述喷水孔在喷射柱靠近硅片一侧的内角处设有一倾斜设置的壁面,该倾具有压力的水流经两侧斜角处的各个喷水孔正对应靠近硅34附机构将分离的所述硅片完全脱离其下方所处设有倒角,倒角角度为45°;硅片10所在圆的直径为270_300mm,硅片10的边长为190_5[0032]如图2所示,喷射机构30包括对称设置的喷射柱31、连接相邻喷射柱31的支撑板6[0035]进一步的,负压机构40包括水平设置的负压板41和置于负压板两侧的滚轮组件板41上设有吸附孔和连接管43,吸附孔与连接管43一端与外接的负压装置连接(图省略),7水孔33与硅片10形成的夹角为15°,喷水孔34与硅片10形成的夹角为20°,片10同时被置于上方的负压机构40吸附着,使最上方的硅片10彻底与下方的硅片10脱离,并通过设置在分离装置的外延的传输装置将被分离的硅片传输至脱离水面,并插入花篮8
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