CN113571443B 显示装置的制造装置以及制造方法 （三星显示有限公司）

JP2009072691A,2009US2003090534A1,2003.05.15本发明为了能够在墨喷出工序中实时地确认喷出不良的显示装置的制造装置以及制造方法，提供一种显示装置的制造装置以及制造方述第一喷嘴部以及第二喷嘴部在所述头部的一第一喷嘴部以及所述第二喷嘴部对应的第一激一激光束以及所述第二激光束而测量所述第一2激光单元，发射至少包括分别与所述第一喷嘴部以及所述第二喷嘴部其中，所述多个激光束的路径通过所述第一喷嘴部的第一述第二喷出路径之间的第二区域以及位于所述第二喷出路径的一侧的第所述第一区域将所述第一喷出路径置于之间而位于所述第二区域的相反所述多个激光束还包括与所述第一区域、所述第二区域以及所述第所述激光单元的发射位置和所述传感器单元的受光位置布置于同一所述激光单元布置于所述台面上，并且朝放置所述部件的所述台所述多个激光束实现为沿所述第二方向延伸的线形沿第一方向排列的第一喷嘴部以及第二喷嘴部向所述3将所述基础激光束分割为分别与所述第一喷嘴部的第一喷出路径以及所述第二喷嘴域对应的第四激光束以及与位于所述第二喷出路径的一侧的第三区域对应的第五激光束所述第一激光束以及所述第二激光束分别与所述第一喷出路径以及所述第二喷出路基于所述第一激光束至所述第五激光束的强度来确定所述第一喷嘴部以及第二喷嘴若所述第一激光束以及所述第二激光束各自的强度为预定调节所述第一激光束至所述第五激光束的路径，以使所述束朝所述部件和所述第一喷嘴部以及所述第二喷分别调节所述第一激光束至所述第五激光束的发若所述第一激光束的强度为基准值以上，并且所述第三激光若所述第二激光束的强度为基准值以上，并且所述第四激光沿第一方向排列的第一喷嘴部以及第二喷嘴部向所述发射沿所述第一方向延伸且包括分别与所述第一喷嘴部4和所述第二喷出路径之间的第二区域以及位于所述第二喷出路径的一侧的第三区域对应接收与所述第一喷出路径及所述第二喷出路径和所述第一区域至所述第三区域对应基于所测量的所述激光束的强度来判断所述第一喷嘴部以及所述第二喷嘴部各自的测量所述激光束中的与所述第一喷出路径以及所述第二喷出路径对应的部分各自的测量所述激光束中的与所述第一区域至所述第三若所述第一强度、第三强度以及第四强度均为基准值以上，若所述第二强度、第四强度以及第五强度均为基准值以上，若所述第一强度为基准值以上，并且所述第三强度以及第四强度若所述第二强度为基准值以上，并且所述第四强度以及第五强度5一种在墨喷出工序中能够检查墨喷出不良的显示装置的制[0005]现有的显示装置的制造装置在结束墨喷出工序后在单独的检查工序中检查喷出及所述第二激光束而测量所述第一激光束以及所述第二激光束各自的强度；以及判断单别与所述第一喷嘴部的第一喷出路径以及所6以将所述第二喷出路径置于之间而位于第二区域与所述第一喷嘴部的第一喷出路径以及所述第二喷嘴部的第二喷出路径对应的第一激光7喷出路径之间的第二区域对应的第四激光束以及与位于所述第二喷出路径的一侧的第三区域对应的第五激光束；所述第三激光束至所述第五激光束分别通过第一区域至第三区喷出路径和所述第二喷出路径之间的第二区域以及位于所述第二喷出路径的一侧的第三8[0035]根据构成为如上的本发明的一实施例，可以在墨喷出工序中实时地确认喷出不[0039]图4是示意性地图示根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一部分的平面[0040]图5a以及图5b是示意性地图示根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一[0042]图7是示意性地示出根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视[0044]图9是示意性地图示根据本发明的实施例的显示装置的制造装置的一部分的剖视9[0074]在台面10的一面可以放置部件S。部件S可以是借由显示装置的制造装置1而执行[0080]传感器单元40可以布置为从部件S隔开。例如，传感器单元40可以布置为沿头部驱动部62可以以布置于部件S的两侧的激光单元30以及传感器单元40不与所述喷出单元20[0086]图2是示意性地图示根据本发明的另一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。将省略针对与之前参照图1而说明的显示装置的制造装置的构成相同的构成的说明，并且路径的至少一部分位于喷出单元20和部件S之间的镜子m。镜子m可以以预定的角度反射入激光单元30以及传感器单元40等的布置而[0088]从激光单元30发射的激光束L可以朝第一镜子m1行进，并且可以在第一镜子m1的一面反射而朝第二镜子m2行进。入射至第二镜子m2的激光束L可以再次在第二镜子m2的一可以在第三镜子m3的一面反射而朝第四镜子m4行进。入射至第四镜子m4的激光束L可以在接于第三动力要素63d。第三驱动部63可以与之前所述的第一驱动部61以及第二驱动部62[0091]图3是示意性地图示根据本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的剖视图。将省略针对与之前参照图2而说明的显示装置的制造装置的构成相同的构成的说明，并且1可以配备有调整激光束L的路径而使激光束L的路径的至少一部分位于喷出单元20和部件[0095]图4是示意性地图示根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的平[0098]激光分割部32可以将借由激光生成部31而生成的基础激光束Lb分割而形成n个以沿与分割的多个激光束L1～Ln的激光行进方向垂直的方向相邻的激光束L1～Ln之间的距[0100]发射角调节部34可以调节激光束L1～Ln的发射角θ,以使多个激光束L1～Ln的路[0102]图5a以及图5b是示意性地图示根据本发明的一实施例的显示装置的制造装置的[0103]参照图5a，喷出单元20的头部20H的朝向台面10的一侧可以排列有至少两个喷嘴[0106]在借由激光单元30而持续地发射激光束L的状态下，借由喷嘴部20N可以喷出6a以及图6b图示以一部分喷嘴部为中心而放大的分别与第一喷嘴部20N1的第一喷出路径P1以及第二喷嘴部20N2的第二喷出路径P2对应的[0110]传感器单元40可以接收通过第一喷出路径P1的第一激光束L1而测量该第一激光部20N1喷出的墨的液滴，则第一激光束L1的强度可以更小于从激光单元30发射之后的强[0117]图7是示意性地示出根据本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的一部分的分别与第一喷嘴部20N1的第一喷出路径P1以及第二喷嘴部20N2的第二喷出路径P2对应的可以将第二喷出路径P2置于之间而位于第二区第三区域A3可以对应于布置于头部20H(图1)的最外侧的每个喷嘴部20N的外[0124]第一激光束L1的路径的至少一部分可以与第一喷嘴部20N1的第一喷出路径P1交[0125]如图8a所示，在从第一喷嘴部20N1以及第二喷嘴部20N2第一激光束L1以及第二激光束L2可以分别通过经第一喷出路径P1以及第二喷出路径P2而激光束L2的强度可以在通过第二喷出路径P2前后五激光束L5的强度可以在通过第二区域A2以及第三区域A3前后L2的强度和第二激光束L2两侧的第四激光束L4以及第五激光束L5的强度均为基准值以上，[0130]虽然，图8b图示了仅第二喷嘴部20N2存在由于未喷出而若第一激光束L1的强度和第一激光束L1两侧的第三激光束L3以及第四激光束L4的强度均光束L1的强度在通过第一喷出路径P1之后相比于通过第一喷出路径P1之前，可以分别减束L2的强度可以在通过第二喷出路径P2前度不良而使墨的液滴经过第二区域A2的情形[0135]第三激光束L3以及第五激光束L5分别可以通过第一区域A1以及第三区域A3而不[0138]图9是示意性地图示根据本发明的又一实施例的显示装置的制造装置的一部分的[0140]借由激光单元30而发射的线形态的激光束L可以同时与至少并且可以同时与喷嘴部20N之间的区域对应。线形态的激光束L的路径的至少一部分可以[0141]图10是示意性地图示图9的显示装置的制造装置的一部分的剖视图，并且可以与[0143]由激光单元30(图1)发射的线形态的激光束L可以同时与第一喷嘴部20N1的第一[0144]线形态的激光束L的路径的至少一部分可以同时通过第一喷出路径P1、第二喷出第一喷出路径P1以及第二喷出路径P2对应的部分的各自的第一强度以及第二强度。并且，强度以及第五强度中的任意一个小于基准值，则可以确定第二喷嘴部20N2的喷出角度不