特殊气体管路施工规范

特殊氣體管路暨高潔淨度管路

施工規範1.目錄

2.無

塵

室

作

業

安

全

規

範

1、一般清潔區工作條件(廠務機房)（1）進入工作區前，鞋子必須清理乾淨。（2）最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方。（3）有規則的存放材料。（4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。（5）所有工作區必須有垃圾筒，收集廢料等東西。（6）材料人員進出必須清潔一次。（7）所有人員及設備每週必須清潔一次。（8）產生污染的工作必須個隔離。(噴漆、磨砂輪機等)2、非常乾淨區工作條件(潔淨室地下回風區)（1）必須換穿專用的鞋子或鞋套。（2）使用真空吸塵器清除髒東西。（3）有規則的存放材料。3.（4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。（5）所有使用過的材料、殘餘剩料等必須每日清除。（6）所有工作區內必須有密封式垃圾筒，收集廢料等東西。（7）材料人員進出必須管制。（8）所有人員及設備每週必須清潔一次。（9）產生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機等)。（10）進出工作區內的全部材料必須清理乾淨，才可進入。（11）所有工作區必須換穿乾淨工作服。（12）工作區的管線設備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。3、絕對乾淨區工作條件(潔淨室生產區)（1）必須換穿無塵專用的鞋子或鞋套。（2）使用中央系統真空或特別過濾裝置的手提真空吸塵器清除作業時產生的

金屬等粉屑。（3）有規則的存放使用材料。（4）禁止於工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。（5）所有使用過的材料、殘餘剩料等必須每日清除。4.（6）所工作區內須有密封式垃圾筒，收集廢料東西。（7）材料人員進出必須管制。（8）所有工作人員及業主人員每日必須清潔乾淨。（9）產生污染的工作必須於進入無塵室前完成。（10）進入工作區內的全部材料和工具必須用水清洗乾淨，才可進入。（11）除入無塵室應換穿無塵依及尼龍手套外，餘均應穿著乾淨之工作服。（12）禁止木質或瓦愣紙材料所做的紙箱進入無塵室。（13）禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。（14）含有油品的工具禁止攜入。4、清淨室施工安全規則（1）指定專人辦理安全事宜。（2）勿雇用童工。（3）工作區域內禁止抽煙。（4）必須準備安全眼鏡。（5）在清潔室須戴安全帽，特別是有震動時。（6）任何時間內，均不得堵塞通道及出入口。5.（7）在工作區域工作，必須保持乾淨；如有產生垃圾，必須隨時準備垃圾

袋，於每日收工時攜出清淨室。（8）如有意外發生，須立刻告知監工。（9）特殊危險工作區，須有安全圍籬及警告標誌。（10）地板開口處，須有安全圍籬及警告標誌，以防止人員掉入。（11）須備有滅火器以防火災。（12）滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用乾粉滅火器。（13）工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須繫安全帶(索)。（14）鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。（15）在超出地面2M以上時，工具須放置工具袋(箱)內。（16）同時有兩組人員在不同高度工作時，須有良好之連繫。（17）在工作區域工作，必須保持乾淨；如有產生垃圾，必須隨時準備垃圾

袋，於每日收工時攜出清淨室。（18）如有意外發生，須立刻告知監工。（19）特殊危險工作區，須有安全圍籬及警告標誌。（20）地板開口處，須有安全圍籬及警告標誌，以防止人員掉入。6.（21）須備有滅火器以防火災。（22）滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用乾粉滅火器。（23）工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須繫安全帶(索)。（24）鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。（25）在超出地面2M以上時，工具須放置工具袋(箱)內。（26）同時有兩組人員在不同高度工作時，須有良好之連繫。（27）易燃物品如無人照料，不可置放於工作區域內。（28）化學物品如有洩漏，必須馬上處理。（29）易燃物品須放置於有蓋容器內。（30）任何閥、開關插座、電源插座，不可隨意開、關、拔除(機台管線)。（31）任何配管配線、材料，非經過監工人員同意，不可擅自任意更改。7.Pipinginstallation管路架設

在無塵室或簡易潔淨室執行高潔淨度配管工作時，必須遵循下列的規定。1、現場工作規定

※攜入

材料必須置於特定的貯藏間，在工地現場或在材料間要提供暫時性的簡易潔淨室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑膠封套打開直到現埸要使用時方可打開，並且不要將材料直接放在地上。

※切管

切管時，使用的自動切割機或手動切管器必須是專門為半導體廠工作所設計的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當使用自動切割機時，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時的碎屑進入管內。

8.※倒角

原則上，在使用倒角機(TUBESIZE用)或銼刀(PIPESIZE用)時，小心地移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口鬆或管子彎曲等狀況發生時，這種管路是不合規定，必須重新切割及配置。當倒角時，在管的另一端必須用高潔淨度的氮氣沖吹(氮氣要經0.02um的過濾器過濾)。

※N2沖吹

將管內的微粒沖吹出來。

※工作後的清潔

檢視切割機的潔淨度，保持機具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的碎屑殘餘，按照下列的方法清潔之。用GN2沖吹使用的N2必須經-80℃或更低的露點，經0.02um的過濾器乾燥。

※預製工作(在簡易潔淨室cleanbooth)

在現場的焊接工作降至最低量是必需的。配管區必須在有潔淨氣的地方，在工作時維持風扇正常運轉，於早、中、晚用CO2檢視器檢查CO2的濃度。9.

◆點焊

點焊使用TIG焊接，點焊的點數按照下列規定。

(CAJON的焊機必需保証管子確實牢固，從完成的觀點來看，最好不要使用

手動的TIG焊接，因此點焊被省略)。

3/4”到15A到80A：3~4點。

◆沖吹氣體(Backsealgas)

使用氬氣，露點-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量

為零。◆沖吹用管套

連接沖吹氣體管路與架設管路，使用(Backsealjig)

如圖(一)所示圖(一)(參考用)10.◆架設程序(圖二)

將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥。圖(二)11.

◆裝封(在Cleanbooth內進行)

完成焊接之後，在管內充滿Ar氣，而且用無塵的塑膠紙在末端包裹兩層。

如果末端的閥已經連接好了，把閥也用塑膠紙裹起來。2、現場施工

現埸焊接的人員必須有受過高潔淨度配管技術檢定通過。

焊接工作12.Ⅰ原封至現埸。Ⅱ先拆卸一端封套，並連接Backsealgas。Ⅲ拆卸要焊接端封套，並沖吹乾淨。Ⅳ連接後將一端之Backsealgas拆掉使成出氣端，並開始焊接。

◆管路維持條件

即使焊接結束，也要維持小量的N2或Ar在管內沖吹以防止空氣流入管內。

無論如何也要想辦法把管內的空氣及微粒弄出來，如果無法繼續沖吹。

※焊機電源

供給電源的電壓的變動，對於管路焊接的品質影響甚巨。使用自動焊接機的電源必需使用特定的整流器。容許的電壓波動AC100V±10%，AC200V±10%，在焊接進行時電壓警報器一直監視著電壓，如果電壓超過可容許的範圍時，警報器就會發出聲音。3、其他注意事項

下述的工作是在架設高潔淨度的管路時必需要執行的。13.

※控制氬氣沖吹◆用壓力計或液位計察看尚餘有多少氬氣。

◆看流量計的刻度檢查沖吹氣體的容量。◆使用採樣品閥從鋼瓶或氣體來源收集氬氣，測量氬氣純度確定露點是在

-80℃以下，殘餘氧氣低於0.1ppm，微粒含量為0(0.1um以上的微粒)。

◆在工作處測量架設管路末端的氬氣純度，確定露點在-70℃以下殘餘氧氣

低於2ppm，測量地點必須在監工及焊接都同意的地方。

◆前4項規定的工作前在每天開始工作由監工或工作人員執行以控制品質符

合要求。

◆若氣體容量未達標準，通知監工，暫停工作，但是沖吹必須持續進行，

或使用預留的LN2，當要使用預留LN2時，必定要做分析供給氣體純度的

工作。

※簡易潔淨室(Cleanbooth)的潔淨度的控制

◆在Cleanbooth內測量焊接處的微粒數量(0.1um以上)不能超過100個/c.f，

class10000是用作貯藏用，class1000是組裝用。

◆在正常使用中測量微粒的工作一天至少進行1次。14.※潔淨衣物的管制◆在Cleanbooth內使用的潔淨衣、潔淨鞋、潔淨手套及其他設備必需在使

用前檢查其潔淨度。◆使用的潔淨衣物等，必需一個星期清洗一次，不論有否弄髒。

※潔淨室

依據潔淨室人員管制規定的管制細則，所有的工作人員皆需致力於工作在一個高潔淨空氣環境中。

※焊接狀況的檢查(由個人或監工)

當自動焊接機的工作條件改變時，必須確定焊接數據與工作條件一致。

※鎢棒的保養及管制◆要時時注意鎢棒是否變形。◆磨鎢棒的工作必須是由監工認可之專業人員使用特定的設備來執行。※樣品製作及焊接條件的檢查(焊接者或監工)◆每日早上在上工前要製作數個同樣大小的樣品。◆監工切開樣品，檢查管內部焊接情況，用目視確定焊接的地方沒有不規

則的孔、裂縫、氣孔或沒有完全焊透等缺點存在。15.◆若有焊接缺陷發現時，檢查焊接條件、更換鎢棒、檢查沖吹氣體純度、

品質及沖吹的方法，直到結果令人滿意，方可進行配管工作。◆樣品及焊接數據必須同時保存。4、要求

※機器攜入及架設◆從側邊帶入機器要在事先申請同意路線，並且使用的拖車放在特定的地

方。◆在水泥地板上使用鐵錨類之固定機器。◆經縱、橫的方向確定無誤後，固定機器。◆機器必須在地板的防塵油漆塗上之前裝上。※管路標記◆至少每5M要有標簽貼在管路上，標明氣體名稱流向號碼

※開/關顯示

除了球閥外，所有的閥都要有開/關的標示。16.彎管

作

業

規

範1、說明

本項說明GasSystem作成時，如何使用手工具PIPEBENDER來進行彎曲作業。主要對象

SUS316BA管，外徑1/4”

(6.53φ)使用工具R1NO.394LEVER型TUBEBENDER。2、.配管圖看法與管長之決定

配管圖尺寸是表示配管中心之尺寸或中心配管末端之長之謂。17.通常在配管分岐點實施熔接很多，茲以下圖表示之。至中心點之長度約+3mm(1/4”OD)(則3.15mm-------3mm)約+5mm(3/8”OD)18.

使用TUBEBENDER來加以彎曲之中心點大約彎曲15R與直角彎曲比較，配管全長變短，亦即圖面上所配尺寸相加長度比實際配管長度長。19.180度彎曲(R彎曲),每一彎曲，其SETBACK為14.6mm其計算如下：管長=(50+30+90+120)-14.6-6.4=269mm[1/4”OD]又3/8”時R彎曲SetBack為23.6mm依上圖原理可得(50+30+90+120)-23.6-10.5=255.9mm[3/8”OD]20.0~75度範圍角度彎苗，其SetBack為0例如:其管長=(50+53.94+40)-6.4=137.5其長度差即所謂SetBack，在1/4”OD配管，每一彎曲可短小6.4mm(6.35mm)下面有1/4”、3/8”各種埸合之SetBack之表。彎曲次數SetBack1/4”3/8”1/8”16.4mm10.5mm6.0mm212.721.012319.131.518425.442.024531.863.030638.163.036744.573.542850.884.04821.例:必要管長=(50+70+80)-12.7=187.33mm2次彎曲SetBack

因此準備187.3mm長度配管就可進入作業。3、配管切割

配管切割使用TubeCutter(PipeCutter)工具RIDGIDNO.105，配管開始切割時，必須前後旋轉3~4次半周，使配管軸部方向不致造成直角，溝才開始進行。配管之切斷處，事先用紅筆做記號。切割深度一次切割過深會使切口未能成立真圓，慢慢進行，而把手旋轉角度保持約30度就可。切割完畢，管內面產生突屑會致使內徑縮小，須用銑面Cutter清除。最後用銑面Cutter將突屑、粉屑清除。4、配管彎曲作業應注意之原則

配管開始彎曲作業應注意原則※比較圖面上兩端、由短方面先開始彎曲，將較短尺寸配管上作記號、此部

份應放在Bender左側Set之。※時時檢查Bender之狀態是否會造成管子受傷或變形。※兩端一方彎曲180度(R彎曲)時，必須從180度彎曲方向作業。這個時候R彎

曲尺寸在配管上做記號，而將此處置在Bender左側予以Set之。22.5、尺寸固定(劃線器劃線方法)※從配管量尺寸用普通量尺就可，再用紅鉛筆作記號。※已施於彎曲一次的配管，則使用T型特別量尺，由配管中心劃線。※實施90度以內彎曲後再做第二次彎曲劃尺寸，依下列方法實行。6、熔接部份注意事項※使用ArgonArc分岐部份，使用專用冶具，並使用Bord板開孔。※開孔後配管內部產生突起屑，粉屑用Reamer工具清除。※施行多數彎曲作業其中有熔接分岐時，彎曲作業中途須要有開孔或清除

粉屑的作業，因為等到彎曲作業完成後已經沒有方法通進開孔或清除粉

屑作業之工具。23.熔接規範

24.

熔接產生Gap時，用GapGauge來修正。4、同心圓之確認（1）確認pipe規格及材料，然後參考Data表設定之。（2）Set直管接住熔接機頭用Vis調整。（3）Set短管用同心圓打圓圈確認之。（4）不是同心圓時，先考慮是否熔接機頭之焊接頭有歪曲就要更換Head。5、熔接條件確認（1）使用BackSealedGas，Purge30分程度，清除之流量為5l/min。（2）使用Date表確認ArcGasSealedGas流量，並記入Data表。25.26.8、氧化膜除去作業基準（1）氧化膜除去，使用StainlessBrushScotchBrush。（2）使用StainBright除去作業後，充分用純水洗淨。（3）水洗後，用氮氣清除再用IPA洗淨。（4）進行除去作業時，配管末端用盲Cap套住。（5）除去作業完成後，其外部用氮氣清除塵埃。（6）收尾工程，配管內部用氮氣清除。清除用氮氣，通過0.05um以上，具有除去性能之Ceramic或StainlessFilter，並在8kg/cm2的氮氣壓力下將管內清除。27.測試規範

今依據各項執行順序可分為七大部份：第一部份外觀之檢驗。第二部份為管路的氣密試驗。第三部份為管路流程的檢查。第四部份為HE測試。第五部份為微粒子測試、PARTICLE。第六部份為露點測試。第七部份含氧量測試。28.29.

但是有一點必須注意是當壓力計上有明顯變化時其漏氣已達1*10-4atmcc/sec的標準以上,故使用snoop查漏是相當可靠。當然能有更精密儀器測是最好的方式；但是精密測漏儀器使用較為不便,若對寬廣空間當然沒有問題，但對狹窄及較高地點便不能安裝,所以目前為止查漏必須有系統規劃執行,否再有精密儀器也找不出漏氣處,就以GN2管路查漏為例,就可證明確實是如此。3、壓力及氣密之檢驗方法（1）使用0.01um過濾器過濾的氮氣或廠內PN2系統做壓力測試。（2）壓力測試時所需壓力大小及加壓時間,設計值如附表所示。測試項目規定氣體測試壓力測試時間氣體測試N210kg/cm2(或依業主規定)30分鐘（3）管路充入規定的壓力氣體後,檢查所有被聯接和焊接的部份,並用試漏

液做探漏,維持管內充有壓力並做記錄。（4）記錄任何被發現的異常點。（5）記錄使用中的壓力錶讀得有關資料。（6）從完成壓力測試開始做氣密測試,設計值、時間如附表30.測試項目規定氣體測試壓力測試時間氣體測試N28kg/cm2(或依業主規定)24小時（7）做次測試時,首先計值充入管線中以10分鐘或更久些,然後才開始做記錄,

以避免產生誤差。（8）做氣密記錄測試時,必須使用讀出型壓力計做資料記錄。在規定的壓力

和規定的保持時間後,管線上的壓力沒有顯示下降,亦即從試壓開始測試

的壓力和完成測試時的室溫亦不同時,無論如,必須使下列式子做溫度係

數的校正,來決定測試完成時,壓力錶所獲得之數值能保持在開始時所記

錄的98%以上,則此測試值被認可為通過測試。（9）未接受試壓部份,如安全閥、控制閥、壓力計等,均應接受氣密試驗。氣密試驗的壓力以不超過該組件的最大許可操作壓為限。31.4、氣體管路流程檢查

此項目之測試依下列步驟為之:（1）將所有氣體管路的末端閥打開。（2）列出(各種特殊氣體管路應到遠的末端閥的歸納表)關閉所試特殊氣體

管路的末端閥。（3）由所欲測特殊氣體以N2充壓該管路至一定壓力,並觀察五分鐘,視壓力

計是否有下降現象。（4）若壓力計無下降,即代表管路無錯接現象。若無下降現象打開欲測特

氣體管路末端閥,判斷壓力計是否會下降至零,若降至零代表壓力計無

問題。5、測漏檢驗（1）特殊氣體配管,管做完上述測試後將管路抽真空,以HE氣做測漏率的測

試。（2）本公司使用為BALZERHLT160HELIUMLEAKDETECTOR設備。（3）本公司設備測漏率可達到-1*10-11atm.cc/sec。32.（4）測試標準1*10-8mBarL/S<2*10-9atm.cc/secInboard或業主規定（5）本公司有支援設備相同機型的提供廠商—漢疆股份有限公司。操作說明及注意事項：（1）在開機前,應先平穩放置不得傾斜。（2）開機後,不得隨意移動。（3）關機後,必須聽到VENT氣聲或3-5分鐘後,方可移動或重新開機。（4）在開機前,須確定電壓是否正確(110V/220V)（5）電壓頻率選擇於60HZ。（6）本機係屬於精密電子儀器,故必須使用有接地的插頭。33.6、微氧分析

測試程序注意事項選用氣體測試設備熱機清淨管路測試結束YESNOa、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經過純化器濾過氮氣

或同等純度之氣體。

a、微氧分析儀開機後,必須熱機20分鐘才可銜接管路測試。a、將測試管路或盤面進氣孔接上氣源。b、將測試管路盤面上,所有閥件全部打開。c、使用設計壓力之氣源來Purge所要測試之管路。d、此Purge程序需維持30分鐘以上。a、氣體於接上設備前必須將銜接測試管路Purge5分鐘。b、經過Purge的銜接測試管路,銜接上微氧分析測試儀後,打

開微氧分析儀後,打開微氧分析儀電源進行測試。c、測試時依微氧分析儀測試數值的狀況,同時進行測試與

Purge直到測試值達到標準數值(50PPB)以下,才合格。a、需測試姞果記錄於微氧分析測試記錄表,以作日後追

溯與識別用的。34.7、水份分析測試程序注意事項選用氣體清淨管路測試結束YESNOa、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經過純化器濾過

氮氣或同等純度之氣體。a、將測試管路或盤面進氣孔接上氣源,將測試管路或盤面

所有,所有閥件全部打開。b、使用設計壓力氣源來Purge測試之盤面管路。c、此Purge程序需維持30分鐘以上。a、氣體管路於銜接水份分析儀SENSOR前,必須將銜接測試

管路Purge5分鐘,讓銜接測試管路內之水份隨Purge氣體流

出。b、並聯氣體管路之出氣口至水份分析儀SENSOR樣品取樣

進氣口。(注意:氣體管路之出氣口銜接水份分析儀

SENSOR時,Purge氣體必須在流通的狀況下,且水份分析

儀必須在開機的狀況下)c、測試時依水份分析儀測試數值的狀況,同時進行測試與

Purge直到水份分析儀測試值達到標準數值(10PPB)以下。a、需將測試結果記錄於水份分析測試記錄表上，以作

日後追溯與識別用。35.工安規範

一般守則a、請於施工前五天向工安部申請施工許可。b、不可將逃指示燈及緊急照明燈取下使用。c、工作中不可穿拖鞋、高跟鞋及赤腳。d、遇停電時，不得亂跑或喧嚷，應先立於原地不動；再依規定方法離開現埸。e、地上濺有油漬應立即除去。f、電器開關、消防設施附近不可擺放物品。g、攀爬過程中禁止踐踏管線以免管線破裂。h、工作時要配戴個人必須之安全防護具，並選擇最安全之工作方法。i、各項作業應依循標準作業程序，不可擅自更改作業程序。j、對於施工環境認知不足或工作執行有困難、疑問時應先請示工程監督單位。k、施工許可/動火許可單應留置工作現場隨時備查。l、進入廠區工作應配戴工作證m、進入無塵室內應依工程監督單位穿戴潔淨服，在FAB一樓應穿鞋套。36.1、吊裝作業注意事項a、工作區域應標示禁止人員通過，並有專人在現場指揮作業。b、吊掛作業人員應具法定合格執照。c、作業前應對吊索、吊鍊、吊環、吊鉤等進行檢查，確定正常方可開始作業。d、起吊物不得越過人員上方。e、起吊物不可超過負載。f、吊鉤應盡量移掛於起重物重心之上。g、不可以單索吊等不穩定方法起吊。h、起吊長形物或不安定物料時，應使用導引索，並以安全的方法操作。2、高空作業注意事項a、高處作業應使用安全帶、安全索、安全鞋、安全帽及其它必需之安全防護具。b、高處作業應防止工具、材料落下傷人。c、不可將兩架梯連接當長梯使用。d、上下梯子應面向梯子，以雙手扶梯。e、梯子應避免置於入口，否則門應加鎖。f、金屬梯不可靠近電氣設施以防止漏電。37.g、使用架空板、鷹架及梯子應先檢查確定安全後方可使用。h、遇有大雨等惡劣天候應停止工作。i、施工區域應作標示，並注意地面行人安全。3、動火作業注意事項a、需於施工前三天向工安部申請動火許可。b、應於施工現場備妥滅火器方可正式動火。c、搬運電焊機應切斷電源。d、在高處電焊時應設置防制他人從下方通過。e、不得在易燃易爆物附進近從事電焊作業。f、在潮濕地點從事電焊作業時，應穿著絕緣良好之安全鞋。g、應穿著防護衣、手套及護目鏡。h、搬運氣體鋼瓶應將瓶閥關閉，並用鐵鍊條繫牢，嚴禁棄置地面。i、按照正常程操作，防止回火現象。j、所有動火作須已具廠商動火作業令核可後始可施工。k、電焊機應接地，但不得搭接在機械設備、欄杆或鐵梯上。l、嚴禁在高壓氣體容器上打火。m、電焊作業應遠離高壓設備。38.監工人員工地監工準則