T-CSEA 36-2025 真空等离子喷涂设备 技术规范

TechnicalspecificationsofvacuumplasmasprayequipmentI 2 3 3 3 5 5 6本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件主要起草人：何箐、葛超、王亚军、王锦江、房师阁、崔亮、杨明超、王秋童、1真空等离子喷涂设备技术规范本文件规定了真空等离子喷涂设备的技术要求、检查及验收、质量保证和检查及验收报33.1真空等离子喷涂设备vacuumplasmaspraye注：也可称为低压等离子喷涂设备（lowpressurepla4技术要求单元（机械手、转台等）、辅助单元（冷水机、除尘器等232-气体控制柜；33-应用软件；41-机械手；42-转台；51-冷水机；4.2技术条件4.2.1功能要求a)设备应具有PLC集成控制功能，人机交互宜采用工业PC，也b)设备应具有工艺配方管理功能，包括存储、读取、调用、修改、删除等功能。c)设备应具备半自动/自动运行模式，半自动运行时依靠人工操作修改、确认参数及确定工步状e)设备应具有真空过滤器除尘功能，应具有压差控制的反吹功f)设备在环境保护、操作人员职业健康防护措施方面满足设备安装地要求。4.2.2性能要求序号项目指标要求1极限真空真空等离子喷涂设备在洁净真空容器的极限真空宜低于5Pa2系统漏率真空等离子喷涂设备在洁净真空容器环境下，真空漏率不高于1×10-2Pa•m3/s针对不同容积的真空等离子喷涂系统，真空泵组抽速应和真空容器匹配，洁净真空容器抽至5Pa时间不应高于15min；非洁净真空容器抽至5Pa时间不应高于20min。3真空抽速4等离子电源类型及功率等离子电源应为逆变电源或高频斩波电源，为单电源或多电源并联，电源额定功率应为等离子喷枪最大使用功率的2倍以上。3序号项目指标要求5真空容器压力控制精度100Pa~500Pa范围内，真空容器压力控制精度为±20Pa；500Pa~90kPa范围内，真空容器压力控制精度为±50Pa6工作气体流量控制精度±1%7送粉精度±1%序号项目类型备注1功能要求检查2性能要求极限真空验收系统漏率验收真空抽速验收等离子电源类型及功率检查真空容器压力控制精度验收工作气体流量控制精度验收采信第三方报告时为检查送粉精度验收5.3性能检查或验收b）无明显漏点后，应按GB/T32218中静态压升法测试要求，将抽至极限真空的真空系统，关闭真），4d）找出压力随时间变化曲线的线性段，并在线性段上取两点A（t1，p1Q0——系统漏率值，单位为帕立方米每秒（PV——被检件容积，单位为立方米（m³);p2——B点压力值，单位为帕（Pap1——A点压力值，单位为帕（Pa）。a)仅真空系统工作状态下真空容器压力60kPa、80kPa真空容器压力，每个压力条b)等离子喷枪工作状态下真空容器压力5a)选取真空等离子喷涂使用典型粉末材料，在100℃±b)根据送粉器特点，随机选择三个不同的送粉参数，包括送粉盘转速（Pv）和载气流量（F），6.2检验结果判定，合格性判定应根据本标准或用户与设备制造商双方签订的技术协议。6123行时依靠人工操作修改、确认参数及确定工步状态切换，自动运行模式时按照调用工艺45设备应具有真空过滤器除尘功能，应具有压6设备在环境保护、操作人员职业健康防护措1真空等离子喷涂设备在洁净真空23洁净真空容器抽至5Pa时间不高4等离子电源应为逆变电源或高频斩波电源，为单电源或多电源并5仅真空系统工作状态下真空压力控制精度7等离子喷枪工作状态下真空压力控制精度6±1%7±1%