CN114188243B 基板处理系统和基板处理装置的管理方法 （东京毅力科创株式会社）

201710141991.92017.03.10JP2008244328A,2008.10.09TW201434542A,2014.09.16提供一种基板处理系统和基板处理装置的摄部对基于基板处理制程被处理后的基板的周去除宽度的测定值以及得到所述测定结果的时2所述测定处理装置具备控制部，该控制部基于由所述摄像装置得到的所述信息处理装置具备控制部，该控制部制作将包含所述膜的去除宽理制程信息与包含测定出的所述膜的去除宽度的测定值以及得到测定结果的时刻信息的所述管理列表包含所述基板相对于所述旋转保持部的所述信息处理装置的控制部分析基板处理的状态并基于管理列表来制作表示测定结测定处理工序，基于通过由所述拍摄部对基于所述基制作工序，制作将所述膜的去除宽度的设定在所述分析工序中判断所述管理列表的偏心量是否基于在所述制作工序中制作出的管理列表来制作表示测定结果的经时变3[0006]然而，在专利文献1的技术中，只是公开了判断一次的维护作业中的膜去除的方[0009]为了解决上述问题，本发明的基板处理装置的管理方法过由所述拍摄部对基于所述基板处理制程被处理后的基板的周缘部进行拍摄所得到的拍述测定处理工序测定出的膜的去除宽度的测定值以及得到测定结果的时刻信息相关联的4处理制程信息与包含测定出的所述膜的去除宽度的测定值以及得到测定结果的时刻信息[0020]图7是表示在第一实施方式中由基板处理系统和测定处理系统执行的基板处理和[0022]图9是说明本实施方式的药液处理中的晶圆W上的液体状态与拍摄装置的配置之5[0043]图30是说明拍摄区域中的拍摄装置、处理单元及晶圆W的配置关系以及药液或清[0051]输入输出站2具备承载件载置部11和输送部12。在承载件载置部11上载置有多个在水平方向和铅垂方向上移动并以铅垂轴为中心进行旋转，使用晶圆保持机构在承载件C[0054]输送部15在内部具备基板输送装置17。基板输送装置17具备保持晶圆W的晶圆保6和存储部19。在存储部19中保存有用于对在基板处理系统1中执行的各种处理进行控制的理站3的基板输送装置17将被载置于交接部14的晶圆W从交接部14取出并输入到处理单元[0059]在通过处理单元16对被输入到处理单元16中的晶圆W进行处理之后，通过基板输载置于交接部14的处理完毕的晶圆W返回到承载件载置部11的承个侧壁上设置有通过开闭器263而被开闭的输入输出口264。设置在外壳260的外部的未图示的晶圆输送机构的输送臂能够以保持着晶圆W的状态通过输入输出口264。晶圆保持部[0063]如图2所示，杯体220是以包围晶圆保持部210的外周的方式设置的有底圆环形状的构件。杯体220具有以下作用：承接并回收被供给到晶圆W之后向晶圆W的外侧飞散的药[0064]在由晶圆保持部210所保持的晶圆W的下表面同与该晶圆W的下表面相向的杯体220的内周侧部分211的上表面212之间形成小的(例如高度为2mm～3mm左右的)间隙。在与同心的大径的圆周和小径的圆周分别连续地延伸，向径向外侧且斜上方地朝向晶圆W的下7[0065]在杯体220的外周侧连接有排液路216和排气路217。环状的导向板218从杯体220[0066]罩构件230是被配置为在执行处理时与被晶圆保持部210保持的晶圆W的上表面周的下表面232与晶圆W的上表面之间形成有铅垂方向的间隙。罩构件230的外周缘位于比晶[0068]在作为俯视图的图3中示出晶圆W被晶圆保持部210保持并且罩构件230位于处理[0069]如图2和图3所示，使罩构件230升降的升降机构240具有安装在支承罩构件230的支承体233上的多个(本例中为四个)滑块241以及贯穿各滑块241而沿铅垂方向延伸的引导够进行图1所示的基板输送装置17与晶圆保持部210之间的晶圆W给部250A具有喷出氨、过氧化氢及纯水的混合溶液即SC-1液的药液喷嘴251以及喷出清洗(在本例中为N2气体)的气体喷嘴253[0071]处理液供给部250A与本发明的第一处理液供给部对应，从药液喷嘴251和清洗喷理液供给部对应，从药液喷嘴254和清洗喷嘴255喷出的液体与本发明的第二处理液对应。供给部与第二处理液供给部的位置关系也可理液供给部250A具有未图示的驱动机构，各喷嘴(251～253)能够在箭头B的方向上进退来8[0073]图2所示的控制装置4对处理单元16的所有的功能部件(例如未图示的旋转驱动机[0074]拍摄装置270与本发明的拍摄部对应，用于进行后述的关于晶圆W的测定处理[0075]使用图5所示的截面图来说明本实施方式中的拍摄装置270的结构。拍摄装置270引导部502用于将照明光引导至晶圆W的表面并且将晶圆W的对于照明光的反射光(以下称作光学像)引导至拍摄功能部501。光引导部502借助安装面AA安装在罩构件230的侧面上。罩构件230具有图2所示的截面形状，但圆周方向的与光引导部502的安装面AA相当于的区[0076]拍摄功能部501具备拍摄传感器503。在本实施方式中，拍摄传感器503是具备由与亮度信号对应的信号。在拍摄传感器503的表面前方具备至少具有焦点调整的功能的拍[0077]在拍摄光学机构504的光轴方向的前方设置有镜506。拍摄装置270中设置有朝向晶圆W的铅垂上方(Z轴方向)的开口，因此作为拍摄对象物的晶圆W的表面的光学像朝向铅[0079]玻璃窗511在上端具有与开口510相同的截面形状，将从开口510射入的照射光引置处从外侧侧面513的上方进一步凹陷。因此，玻璃窗511形成为在截面观察时整体呈L字通过拍摄装置270的开口510的下方区域。玻璃窗511具有为了防止这样的气氛进入拍摄装9想要从罩构件230向杯体220通过的气流由于拍摄装置270的形[0082]在拍摄功能部501中，拍摄控制部515进行拍摄装置270的拍摄动作的控制和对于[0084]如使用图5所说明的那样，拍摄装置270具有拍摄传感器503、拍摄光学机构504、由线缆516从测定处理装置601接收到的控制信号来变更拍[0085]测定处理装置601是对由拍摄装置270得到的拍摄图像进行处理来测定后述的切[0086]控制部603对测定处理装置601的各块进行控制并且对拍摄装置270的动作进行控存储从拍摄装置270经由线缆516接收到的拍摄图像，并存储由控制部603计算出的测定结[0088]控制装置4如图1所示那样对基板处理系统1的整体进行控制，还能够与测定处理对作为测定处理的对象的晶圆W实施的处理的晶圆处[0090]接着，使用图7来说明由本实施方式的基板处理系统1和测定处理系统600执行的230位于退避位置(比图2中的位置靠上方的位置)，并且通过杯升降机构的升降机243使杯进入到外壳260内，使空的输送臂位于被晶圆保持部210保持的晶圆W的下方之后使输送臂[0095]接着，使用图8的流程图来具体地说明在本实施方式中的步骤S102中进行的晶圆液供给部250A的药液喷嘴251将药液(SC1)供给到晶圆W的上表面(装置形成面)的周缘部，周缘部来进行清洗处理。通过该清洗处理来冲掉残存在晶圆W的上下表面的药液和反应生理液供给部250B的药液喷嘴254将药液(HF)供给到晶圆W的上表面(装置形成面)的周缘部，液，从处理液供给部250B的清洗喷嘴255将清洗液(DIW)供给到晶圆W的周缘部来进行清洗体喷嘴256将干燥用气体(N2气体)供给到晶圆W的周缘[0103]如图9的(a)所示，使晶圆W向第一旋转方向R1旋转。转速例如为2000rpm~旋转的晶圆W的周缘部的到达区域902的第一药液通过基于旋转的离心力而向晶圆W的外侧外周壁219的内周面而从排液路216被排[0104]在晶圆W上第一药液全部从晶圆W被甩出的位置903依赖于从药液喷嘴251喷出的第一药液的速度、晶圆W的旋转速度以及从上述的第一药液到达区域902到晶圆W的侧端部是，来自清洗喷嘴252的清洗液的到达区域虽为与第一药液的到达区域902大致相同的位被喷出而到达晶圆W上的清洗处理液也与清洗喷嘴2[0108]如以上那样，通过在步骤S201及S202和步骤S203及S204中使晶圆W向相反方向旋从晶圆W上被甩出的处理液在杯体220的内部相互混杂而发生反应所产生[0109]另外，使开口510位于比晶圆W上的第一药液和清洗液的到达区域902靠第一旋转方向R1上的上游侧的位置，使开口510位于比晶圆W上的第二药液和清洗液的到达区域905[0111]测定处理装置601为了测定切除宽度和偏心量，使用从拍摄视角1001的整体的拍[0113]在恰当地设置了拍摄装置270的情况下，拍摄装置270的纵(X轴)方向的拍摄视角的内端(上端)位于晶圆W的处理膜上，外端(下端)位于图2所示的内周侧部分211的上表面理膜被去除了的区域中的、不包括晶圆W的周端上所形成的倒角的平面的区域。倒角区域除面区域1102和倒角区域1103形成的、不存在处理膜的区域(处理膜被去除了或者最初就的切除宽度和偏心量的测定动作。测定处理装置601的控制部603执行存储部604中所存储送到测定处理装置601。被传送到测定处理装置601的拍摄图像被存储在存储部604中。在[0119]在进行基于第一拍摄条件的拍摄之后，在第二拍摄条件下继续进行晶圆W的拍摄在步骤S302和步骤S303中进行了拍摄的位置每次旋转1度地进行360次拍摄，因此只有在[0129]·切除面区域1102的宽度[mm]＝(切除面边界1110的位置[像素]-处理膜边界[0130]·倒角区域1103的宽度[mm]＝(晶圆周缘端1111的位置[像素]-切除面边界1110[0135]本实施方式的晶圆W和处理单元16的各区域1101～1104具有其材质特有的反射特例如根据材质的不同而切除面区域1102的反射光水平为比处理膜区域1101的反射光水平[0137]因而，结果是由拍摄传感器503接收到的光的光学像中的照度水平按切除面区域具有恰当的亮度水平的拍摄图像无法计算出正确的亮度边缘，在确定三个边界位置(a)~的亮度水平的变化即亮度边缘的检测变得容易，能够准确地确定出(b)处理膜边界1109的光度来进行调整，或将CCD的受光时间设定为比第二拍摄条件的受光时间长的时间来进行值进行平均后得到的值确定为根据拍摄视角1001求出的最终的[0150]在图15中示出图像1000a～1000e的裁切区域与晶圆W的位置关系。在基板输送装置17刚刚将晶圆W偏移地置于晶圆保持部210之后，晶圆W的中心位置WO位于圆环1501上的[0151]在像本实施方式那样一边使存在这样的偏心的晶圆W旋转一边使拍摄装置270以[0154]该例为在使晶圆W保持偏心的状态下进行图7的步骤S102的晶圆处理的情况下的变动而言处理膜边界1109的变动小到能够忽略的程度的情况下，在切除宽度的变动量中晶[0156]信息处理装置602基于从测定处理装置601接收到的测定结果信息来生成在连接[0157]图17是表示显示画面1700的一例的图，该显示画面1700示出显示装置609中显示的测定结果信息。制程信息窗口1701表示应该对要被进行测定处理的晶圆W实施的药液处[0159]第一图像窗口1703和第二图像窗口1704能够分别显示根据第一拍摄条件而得到[0160]曲线图窗口1705例如用于将图16所示的与角度相应的切除宽度的变化等各种测[0161]在本实施方式中所得到的切除宽度例如能够用作用于对处理单元16的处理液供给部250进行调整的信息。系统的使用者能够基于预先设定的切除宽度与通过实际的测定以能够在保持着晶圆W的状态下拍摄晶圆W的周缘部的方式配置于罩构件230，也能够不产者一边实时地通过拍摄图像来确认对晶圆W对焦到了什么程度一边进行操作，这样能够使由使用者进行的焦点调节作业迅速地进行。在本实施方式中，使显示装置609显示拍摄图处理装置601对所接收到的连续的图像进行加工以使得该图像能够在显示装置609中显示，[0168]作为第二例，说明拍摄装置270构成为具备自动对焦功能使得该焦点调整能够非在步骤S102的晶圆处理中的第一清洗处理(步骤S202)与第二药液处理(步骤S203)之间追构例如能够设置在图2中所示的处理单元16的外壳260的内部且图3的处理液供给部250A、的表面具备三个用于与晶圆W的背面直接接触的突起构件1804。手部1801并不限于圆弧形置(在图18的(a)中由点划线所示的状态)和退避位置(在图18的(a)中由实线所示的状态)[0185]图18的(b)为从横向观察保持位置调整机构1801的侧视图。通过使突起部1804上先设定的拍摄次数重复进行晶圆W的第一拍摄条件下的拍摄(步骤S402)、拍摄次数的判定了基于第二拍摄条件的拍摄(步骤S303)以外的处理为相同的处理，因此省略详细的说明。心量WD的图像解析处理的详情已经在第一实施方式中使用图15进行了叙述，因此在此省[0191]首先，进行使晶圆W的偏心的相位对齐的动作(S407)。如果从步骤S403中结束了360次的拍摄时起没有进行保持部210的旋转动作，则保持部210处于步骤S401时的旋转的持位置调整机构1800只通过使晶圆W沿X轴方向平行移动偏心量WD这种简单的控制动作就位于退避位置(比图2中的位置靠上方的位置)，并且通过杯升降机构的升降机243使杯体[0194]然后，基于在步骤S406中确定出的偏心量WD来进行晶圆W的位置调整(S411)。在230下降，并且通过杯升降机构的升降机243使杯体220向上方移动而返回到图2所示的位下表面进行支承并且调整晶圆W的保持位置，该保持位置调整机构1800根据基于由拍摄装置270拍摄到的图像而确定的晶圆W的偏心量来调整晶圆W相对于保持部210的中心的保持向夹持晶圆W来进行位置调整的以往的方法，能够削减将保持位置调整机构设置在外壳内转来确定偏心的朝向，在使晶圆W进行旋转以使得该朝向与臂部1802的直线移动的方向(X[0206]图22的(a)为表示膜种类与图像处理制程的对应关系的测定用设定的表2201。与[0208]图22的(b)表示本实施方式的图像处理制程的列表，该图像处理制程的列表2205[0209]图像处理制程A是与以宽度3mm去除水溶性膜晶圆的周缘[0210]在以宽度2mm去除水溶性膜晶圆的周缘部的处理中，为了检测狭窄的切除宽度而[0211]本实施方式的处理能够应用在如图12所示的流程图的步骤S301中进行的拍摄设[0214]控制部605从存储部606中存储的图22的(a)的选择表中检索在步骤S502中确定出的膜种类和切除宽度。此次具有该膜种类和切除宽度的组，因此选择所对应的制程A先存储在存储部607中的多个测定用设定之中选择与所获取到的膜的种类对应的测定用设[0219]在本实施方式中，说明对信息处理装置601中蓄积的测定处理结果的信息进行分[0221]该管理列表2400的信息包括处理制程信息2401以及在通过测定处理装置601进行[0222]作为处理制程信息2401，具有作为晶圆W的识别信息的批次ID2403、晶圆ID[0224]信息处理装置601在存储部607中设置有用于按一张晶圆的测定处理来记录拍摄图像的文件夹以及用于记录该拍摄时所使用的拍摄装置270的焦点调整信息等拍摄设定的[0229]通过该曲线图能够获知偏心量的经时变化，在图25的(a)的经时变化2501的例子所说明的图17的显示画面1700的曲线图窗口17多个值是否具有增加的趋势追加为提醒注意的绝对值是否具有增加的趋势来作为提醒注意的判[0239]接着，将步骤S601中所获取到的信息存储到存储部607中来制作图24所示的管理偏心量是否超过了预先决定的第一阈值(S进行药液处理之前或进行了处理之后进行测设置于在晶圆W的旋转方向R1上比处理液供给部250A靠前的位置，能够拍摄正在供给处理的由于对拍摄装置的液体附着而对拍摄产生的影响小的拍摄条件为对于第一药液处理所用的药液和第一清洗处理所用的清洗液而言最佳的拍像实时发送到控制装置4，控制装置4在显示画面1700的第二图像窗口1704中显示