CN114693626B 芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介质 （深圳市亿图视觉自动化技术有限公司）

道水径社区吉华路399号红门工业园据待处理图像确定的目标图像中边缘区域的裂2采用加权求平均值的方式根据所述第一清晰度和所述第二清晰度确定所述原始图像根据所述N个待处理图像确定目标图像，并基于所述目标图像检测所述待检测芯片的;获取镜头距离表面第一距离时拍摄到的第一原始图像；所述镜头获取镜头距离表面第二距离时拍摄到的第二原始图像；所述镜头获取镜头距离表面第三距离时拍摄到的第三原始图像；所述镜头对所述灰度值差分数据进行高斯拟合处理得到方差；所述方差与所述第二3所述处理模块，还用于采用加权求平均值的方式根据所述第一清晰度;获取镜头距离表面第一距离时拍摄到的第一原始图像；所述镜头获取镜头距离表面第二距离时拍摄到的第二原始图像；所述镜头获取镜头距离表面第三距离时拍摄到的第三原始图像；所述镜头6.一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在7.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储4[0003]现有技术一般是采用显微镜对芯片表面的缺陷进行人工[0005]本申请实施例提供了一种芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介域和原始图像均清晰。后续根据待处理图像确定的目标图像中边缘区域的裂痕也比较明[0014]获取显微镜成像装置的镜头在距离待检测芯片的表面不同距离时拍摄到的多个5[0017]获取镜头距离表面第一距离时拍摄到的第一原始图像；镜头距离表面第一距离[0018]获取镜头距离表面第二距离时拍摄到的第二原始图像；镜头距离表面第二距离[0019]获取镜头距离表面第三距离时拍摄到的第三原始图像；镜头距离表面第三距离6成像装置的镜头在距离待检测芯片的表面不同距离[0044]获取镜头距离表面第一距离时拍摄到的第一原始图像；镜头距离表面第一距离[0045]获取镜头距离表面第二距离时拍摄到的第二原始图像；镜头距离表面第二距离[0046]获取镜头距离表面第三距离时拍摄到的第三原始图像；镜头距离表面第三距离7[0064]本申请实施例提供了一种芯片表面缺陷的检测方法、装置及计算机可读存储介8[0082]图2为本申请实施例中芯片表面缺陷的检测方法的流程图。该流程可以由显微镜设置在显微镜成像装置外部并与显微镜成像装置连接，本申请实施例对此不做特别限定。[0084]在本申请实施例中，控制设备可以通过显微镜成像装置的镜头3上下运动并拍摄来确定原始图像的第一清晰度。第一清晰度评价函数/清晰度评价算法可以采用常见的算[0085]对原始图像的像素值进行快速傅里叶变换(FastFourierTransformation，[0086]可以理解的是，本申请实施例中镜头3的上下运动可以是指镜头3在竖直方向(镜9焦平面5重合前后的图像中出现，因此该实施例能够保证拍摄到的原始图像中包括裂痕最[0098]在本申请实施例中，控制设备可以通过边缘检测算法来确定原始图像的边缘区[0099]在本申请实施例中，控制设备可以通过第二清晰度评价函数/清晰度评价算法来[0105]在本申请实施例中，控制设备可以根据第三清晰度的大域和原始图像均清晰。后续根据待处理图像确定的目标图像中边缘区域的裂痕也比较明[0116]图8为本申请实施例提供的一种芯片表面缺陷的检测装置的示意图。该芯片表面[0118]处理模块802，用于执行或实现如前述图2对应的各个实施例中的步骤202、步骤[0126]获取镜头距离表面第一距离时拍摄到的第一原始图像；镜头距离表面第一距离[0127]获取镜头距离表面第二距离时拍摄到的第二原始图像；镜头距离表面第二距离[0128]获取镜头距离表面第三距离时拍摄到的第三原始图像；镜头距离表面第三距离理器901执行计算机程序903时实现如图2对应的各个实施有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现可实现上述各个方法实施例中的步[0146]所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用计算机存储器、只读存储器(ROM，Read-OnlyMemory)、随机存取存储器(RAM，Random