CN115061114B 激光雷达发射系统、扫描方法及晶圆级封装的器件 （深圳迈塔兰斯科技有限公司）

道上合社区33区大宝路83号美生慧谷本申请实施例提供了一种激光雷达发射系光阵列被设置于第一超透镜阵列的物方焦平面一光束经第一超透镜阵列转换为第二光束并从列和第一超透镜阵列在垂直于光轴的方向上的2第一超透镜阵列(10)，包括至少一个阵列排布的第一超透镜(101)，所述第一超透镜一光束为主光线与所述第一超透镜阵列(10)的光轴平行的发散其中，所述发光阵列(20)和所述第一超透镜阵列(10)在垂直于所其中，Δd为所述第一超透镜阵列(10)与所述发光阵列(20)在垂直于所述光轴的方向超透镜阵列(10)与所述发光阵列(20)在垂直于所述光轴的方向上产生相对位移后所述第二光束的转角。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述会聚装置阵列(40)包括至少一个阵列排布的子会聚装置(401)；所述会聚装置阵列(40)被系统被配置为调节所述发光阵列和/或所述第一超透镜阵列(10)沿垂直于所述光轴方向的7.根据权利要求5所述的系统，其特征在前调控器(50)被设置在所述会聚装置阵列所述波前调控器(50)用于调节所述会聚装置阵列(40)3所述超结构单元为可密堆积图形；所述可密堆积图形的中心位置和/或顶点位置设置c为所述系统的工作波段的中心波长。c为所述系统的工作波段的中心波长。18.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述纳米结构的形状包括偏振不敏感结所述增透膜设置于所述基底和所述纳米结构层与空气相20.如权利要求11所述的系统，其特征在于，所述第一4第一间隔层，设置于所述会聚装置阵列(40)和所述光源阵列所述第一超透镜阵列(10)，设置于所述会聚装置阵列(40)远离所述光源阵列的一侧；且所述第一超透镜阵列(10)的物方焦平面与所述会聚装置阵列(40)的所述发光阵列(20)和所述第一超透镜阵列(5MechanicalSystem)反射镜改变激光线束的出射角度以实现激光线束对远场探测目标的[0006]为了解决现有技术中激光雷达发射系统的扫描范围受MEMS反射振镜所限制的问[0014]其中，Δd为所述第一超透镜阵列与所述发光阵列在垂直于所述光轴的方向上的6所述发光阵列在垂直于所述光轴的方向上产生相对位移后所述第二光束的转[0029]所述超结构单元为可密堆积图形；所述可密堆积图形的中心位置和/或顶点位置7[0050]将所述发光阵列、所述第一超透镜阵列和所述光阑阵列沿激光出射方向依次排8述第一超透镜阵列的物方焦平面与所述会聚装置阵列的撑光阑阵列；[0066]本申请实施例提供的激光雷达发射系统通过第一超透镜阵列与光阑阵列组成物[0083]图16示出了本申请实施例所提供的一种可选的纳米结构的透过率与相位调制关9[0087]图20示出了本申请实施例所提供的晶圆级封装的器件的又一种可选的结构示意想化的或者过于正式的意义上将这些术语解释为具有被解释为限于如本文示出的区域的具体形状，而是应包括因例如制造导致的形状的偏差。出区域的精确形状并且并非旨在限制权利要求的节发光阵列20与第一超透镜阵列10在垂直于光轴方向上的相对位移，使第二光束产生偏在垂直于光轴的方向上产生相对位移后第二光会聚装置401。会聚装置阵列40用于将激光光源产生的平行或近似平行的激光会聚到焦点[0110]根据本申请的实施方式，如图4所示，会聚装置阵列40包括阵列排布的第二超透镜。任一第二超透镜能够将入射平行光无球差地聚焦到对应的第一超透镜101的物方焦平第一超透镜阵列10沿垂直于光轴方向的位移。示例性地，微机电系统包括MEMS挠性悬架。[0113]可选地，波前调控器50包括阵列排布的空间光调制器(SLM，SpatialLight[0118]根据本申请的实施方式，可选施方式，填充物的材料的折射率与纳米结构的折射率之间的差值的绝对值应大于或等于[0126]根据本申请的实施方式，纳米结构的材质为对工作波段消光系数小于0.01的材[0130]根据本申请的实施方式，第一超透镜阵列10中的每一个第一超透镜101的相位至[0138]超透镜的相位可以用高次多项式表达，高次多项式包括奇次多项式和偶次多项够在竖直方向上覆盖θV的一维阵列。通过控制于类似的原理，使第二光束在水平方向上覆[0149]上述任一方法均可以通过一维/或二维的MEMS驱动器或位移驱动器等电控器件达列包括垂直腔面发射激光器(VCSEL，VerticalCavitySurfaceEmittingLaser)和边缘[0153]第一组合体和/或第二组合体被设置于位移平台上，通过位移平台实现第一组合20与第一超透镜阵列10的相对位移与对应的第二光束的出射角度以及第二光束的平行度[0160]实施例2提供了一种1x31的一维列扫描的激光雷达发射系统，工作波段位于列组成物方远心系统，凭借发光阵列与第一超透镜阵列在垂直于光轴方向上的相对位移，