CN116648313B 树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件 （富士胶片株式会社）

2023.06.21PCT/JP2021/0471852021.12.21WO2022/138606JA2022.06.30基的氢原子中的1个可以被取代，作为上述含氮杂环的环元的氮原子中的至少1个与羰基、磺酰2所述含氮化合物将含氮杂环和氨基包含在同一化合物内，所述氨基与所作为所述含氮化合物中所包含的所述含氮杂环的环元的氮原子与所述氨基的氮原子作为所述含氮化合物中所包含的所述含氮杂环的环元的氮原子与11.一种固化物的制造方法，其包括将权利要求1至8中任一项所述的树脂组合物适用12.根据权利要求11所述的固化物的制造方法，其包括选择性地曝光所述膜的曝光工13.根据权利要求11所述的固化物的制造方法，其包括在50℃~450℃下对所述膜进行345含的上述含氮杂环的环元的氮原子与上述氨基的氮原子的连接链的连接链长度[0024]<6>根据<1>至<5>中任一项所述的树脂组合物，其中，上述含氮化合物为下述式[0031]<8>根据<1>至<7>中任一项所述的树脂组合物，其用于形成再配线层用层间绝缘[0036]<13>根据<11>或<12>所述的固化物的制造方法，其包括在50～450℃下对上述膜6重均分子量(Mw)及数均分子量(Mn)，例如能够通过使用HLC_8220GPC(TOSOHCORPORATION制)，并将保护管柱HZ_L、TSKgelSuperHZM_M、TSKgelSuperHZ4000、TSKgelSuperHZ3000及TSKgelSuperHZ2000(以上为TOSOHCORPORATION制)串联连接而用作管柱来求在溶解性低的情况等THP不适合作为洗脱液的情况下，也能够使用NMP(N_甲基_2_吡咯烷78[0069]此外，转移或分解前的特定含氮化合物容易以接近均匀的状态分散于组合物膜苯并噁唑前体、聚酰胺酰亚胺及聚酰胺酰亚胺前体中的至少1种树脂(特定树脂)作为特定9酸剂。由这样的本发明的树脂组合物例如形成作为化学增幅型的正型感光膜或负型感光[0088]本发明中所使用的聚酰亚胺前体的种类等并无特别规定，但是优选包含下述式2优选为包含碳原子数6～20的芳香族基团的二胺。上述直链或支链的脂肪族基团可以经链22中223)2或C(CH3)2。[0102]并且，也优选使用国际公开第2017/038598号的0032～0034段中记载的在主链中2或NHCO2[0109]作为R50～R57的1价的有机基团，可以举出碳原子数1～10(优选碳原22_中的2价的基[0125]并且，作为优选的例子还可举出国际公开第2017/038598号的0038段中记载的四[0127]式(2)中的R113及R114分别独立地表示氢原子或1价的有机基团。作为1价的有机基[0154]作为本发明中的聚酰亚胺前体的一实施方式，可以举出式(2)所表示的重复单元除了末端以外的聚酰亚胺前体中的所有重复单元也可以为式(2)所表[0155]聚酰亚胺前体的重均分子量(Mw)优选为5,000～100,000，更优选为10,000～50,[0166]氟原子例如优选包含在后述式(4)所表示的重复单元中的R132或后述式(4)所表示的重复单元中的R131中，更优选作为氟化烷基而包含在后述式(4)所表示的重复单元中的R132或后述式(4)所表示的重复单元中的[0167]氟原子的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为5质量％以上，并且优选为20质量%[0172]硅原子的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为1质量％以上，更优选为20质量％以[0175]聚酰亚胺可以在主链末端具有烯属不饱和键，也可以在侧链中具有烯属不饱和[0177]烯属不饱和键优选包含在后述式(4)所表示的重复单元中的R132或后述式(4)所表的重复单元中的R132或后述式(4)所表示的重复[0178]在这些之中，烯属不饱和键优选包含在后述式(4)所表示的重更优选作为具有烯属不饱和键的基团而包含在后述式(4)所表示的重复单元中的基的优选方式与上述R21中的碳原子数2～12的亚烷基或碳原子数2～30的(聚)亚烷氧基的[0193]式(R1)所表示的结构例如通过使具有酚性羟基等羟基的聚酰亚胺与具有异氰酸[0194]式(R2)所表示的结构例如通过使具有羧基的聚酰亚胺与具有羟基及烯属不饱和[0195]式(R3)所表示的结构例如通过使具有酚性羟基等羟基的聚酰亚胺与具有缩水甘[0198]除了具有烯属不饱和键的[0201]除了具有烯属不饱和键的基团以外的聚合性基团例如优选包含在后述式(4)所表[0202]除了具有烯属不饱和键的基团以外的聚合性基团的量相对于聚酰亚胺的总质量一步优选为5～20mgKOH/g。[0211]并且，作为聚酰亚胺中所包含的酸基，从兼顾保存稳定[0218]酚性羟基例如优选包含在后述式(4)所表示的重复单元中的R132或后述式(4)所表[0219]酚性羟基的量相对于聚酰亚胺的总质量优选为0.1～30mol/g，更优选为1~R132表示4价的有机基团。[0232]R134及R135中的至少一者为聚合性基团，在不是聚合性基[0237]作为在一分子中合计包含2个以上的乙二醇链、丙二醇链中的任一者或两者的二[0239]例如，作为R115而例示的4价的有机基团的4个键合子与上述式(4)中的4个_C(=O)部分键合而形成稠环。[0252]聚酰亚胺例如能够利用如下方法来进行合成：在低温下使四羧酸二酐与二胺(将酐或单氯化物化合物或单活性酯化合物的封端剂)与二胺进行反应的方法；通过四羧酸二[0253]聚酰亚胺的重均分子量(Mw)优选为5,000～100,000，更优选为10,223)2及C(CH3)2中的2[0276]并且，R122优选源自双氨基苯酚衍生物的基团，作为源自双氨基苯酚衍生物的基3)222键合部位且2个#为与式(3)中的R122所键合的氮原子的键合部位，或者2个*为与式(3)中的R122所键合的氮原子的键合部位且2个#为与式(3)中的R122所键合的氧原子的键合部位，进一步优选2个*为与式(3)中的R122所键合的氧原子的键合部位且2个#为与式(3)中的R122所2_[0287](式(A_sc)中，*表示与上述式(A_s)所表示的双氨基苯酚衍生物的氨基苯酚基的[0288]上述式(A_s)中，认为在酚性羟基的邻位即在R3上也具有取代基会使酰胺键的羰持对i射线的高透明性和在低温下固化时为高环化率的效果一边能够获得对溶剂具有充分的溶解性的平衡优异的聚苯并噁唑前体的方面而言，更优选为_CH2_、_CH(CH3)_、_C[0291]作为上述式(A_s)所表示的双氨基苯酚衍生物的制造方法，例如能够参考日本特[0292]作为上述式(A_s)所表示的双氨基苯酚衍生物的结构的具体例，可以举出日本特[0293]聚苯并噁唑前体除了上述式(3)的重复单元以外，还可以包含其他种类的重复单[0294]在能够抑制伴随闭环而产生翘曲的方面而言，聚苯并噁唑前体优选包含下述式多种聚苯并噁唑前体作为1种树脂计算出的重均分子量、数均分子量及分散度分别在上述优选为下述式(X)所表示的化合物，更优选为由下述式(X)表示且具有聚合性基团的化合R134表示4价的有机基团。[0312]式(X_1)中，R135及R136中的至少一者为聚合性基团或酸分解性基团等极性转换基[0317]聚合性基团或酸分解性基团等极性转换基团与在上述聚酰亚胺前体所具有的聚[0318]R133表示2价的有机基团。作为2价的有机基团，可以举出脂肪族基团或芳香族基[0325]测定聚苯并噁唑的红外吸收光谱，求出作为源自前体的酰胺结构的吸收峰值的1650cm_1附近的峰值强度Q1。接着，以在1490cm_1附近发现的芳香环的吸收强度进行标准化。将该聚苯并噁唑在350℃下进行1小时的热处理之后，再次测定红外吸收光谱，求出[0328]关于聚苯并噁唑，例如通过使双氨基苯酚衍生物与包含R133的二羧酸或上述二羧酸的选自二羧酸二氯化物(dicarboxylicaciddichloride)及二羧酸衍生物等中的化合[0330]聚苯并噁唑的重均分子量(Mw)优选为5,000～70,000，更优选为8,~20的环状的脂肪族基团、碳原子数6～20的芳香族基团或者通过单键或连接基团将这些基团将碳原子数6～20的芳香族基团组合2个以上而获得的芳香族基团或者通过单键或连接基团将这些的组合2个以上而获得的基团的三羧酸化合的芳香族基团组合2个以上而获得的基团的三羧)22~20的环状的脂肪族基团、碳原子数6～20的芳香族基团或者通过单键或连接基团将这些基团将碳原子数6～20的芳香族基团组合2个以上而获得[0366]作为用于聚酰胺酰亚胺前体的制造中的可以被卤化的二羧酸化合物或二羧酸二[0367]这些二羧酸化合物或二羧酸二卤化物化合物可以仅使用1种，也可以使用2种以获得的基团的二羧酸化合物或二羧酸二卤化物化合物，更优选为包含碳原子数6～20的芳香族基团或者通过单键或连接基团将碳原子数6～20的芳香族基团组合2个以上而获得的单元的50摩尔％以上的方式。上述合计含量更优选为70摩尔％以上，进一步优选为90摩[0376]聚酰胺酰亚胺前体的重均分子量(Mw)优选为2,000～500,000，更优选为5,000~[0385]氟原子的量相对于聚酰胺酰亚胺的总质量优选为5质量％以上，并且优选为20质[0391]具有烯属不饱和键的基团的优选方式与上述聚酰亚胺中的具有烯属不饱和键的酰亚胺中的除了烯属不饱和键以外的聚合性基团相同[0397]除了烯属不饱和键以外的聚合性基团的量相对于聚酰胺酰亚胺的总质量优选为亚胺的酸值优选为30mgKOH/g以上，更优选为50mgKOH/g以上，进一步优选为70mgKOH/g以后述“溶剂显影”)的情况下，聚酰胺酰亚胺的酸值优选为2～35mgKOH/g，更优选为3~[0410]酚性羟基的量相对于聚酰胺酰亚胺的总质量优选为0.1～[0421]聚酰胺酰亚胺可以全部都含有包含1种R111或R117的上述式(PAI_3)所表示的重复单元，也可以含有包含2个以上的不同种类的R131或R132的上述式(PAI_3)所表示的重复单[0423]聚酰胺酰亚胺的重均分子量(Mw)优选为5,000～70,000，更优选为8,000～50,液等的不良溶剂投入所获得的聚合物成分，使聚合物成分析出以作为固体析出并使其干[0442]本发明的树脂组合物中的特定树脂的含量相对于树脂组合物的总固体成分优选[0445]具体而言，本发明的树脂组合物可以合计包含2种以上的特定树脂和后述其他树[0446]在本发明的树脂组合物包含2种以上的特定树脂的情况下，例如优选包含为聚酰[0448]本发明的树脂组合物可以包含上述特定树脂和与特定树脂不同的其他树脂(以[0464]特定含氮化合物在结构内可以具有2个以上的含氮杂环，但是特定含氮化合物仅中的[0476]作为含氮化合物中所包含的上述含氮杂环的环元的氮原子与上述氨基的氮原子[0484]特定含氮化合物可以具有2个以上的与作为含氮杂环的环元的氮原子直接键合的磺酰基或硫羰基的方式也为本发明的优选方[0485]在特定含氮化合物具有2个以上的与作为含氮杂环的环元的氮原子直接键合的羰2及NRN中的至少1种结构的组合表示的基团，2及NRN中的至少1种结构的组合[0497]式(R_2)中，Lr1及Lr2分别独立地优选为亚烷基，更优选碳原子数为2～10的亚烷和与作为上述含氮杂环的环元的氮原子相反的一侧键合的基团所说明的基团中的优选方杂环化合物和羧酸基或磺酸基等具有酸基的化合物与酸进行缩合的[0519]特定含氮化合物的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.01选包含具有2个烯属不饱和键的化合物和具有3个以上的上述烯属不饱和键的烷基(sulfanylgroup)等亲核性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能异氰具有异氰酸酯基或环氧基等亲电子性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能[0534]并且，自由基交联剂也优选为在常压下具有100℃以上的沸点的化合物。作为其本特公昭52_030490号各公报中所记载的聚酯丙烯使(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等具有环状醚基及烯属不饱和键的化合物与多官能羧酸进行[0535]并且，作为除了上述以外的优选的自由基交联剂物，也能够使用日本特开2010_有芴环且具有2个以上的含有烯属不饱和键的基团的化合物或卡多(c[0536]此外，作为其他例，也可以举出日本特公昭46_043946号公报、日本特公平01_02_025493号公报中所记载的乙烯基膦酸系化合物等。并且，也能够使用日本特开昭61_[0537]除了上述以外，也能够优选地使用日本特开2015_034964号公报的0048～0051段[0539]此外，也能够使用日本特开2015_187211号公报的0104～0131段中所记载的化合(NipponKayakuCo.，Ltd.制))、二季戊四醇四丙烯酸酯(作为市售品为KAYAR[0542]作为自由基交联剂，也优选如日本特公昭48_041708号公报、日本特开昭51_非芳香族羧酸酐与脂肪族多羟基化合物的未反应的羟基进行反应而具有酸基的自由基交[0544]具有酸基的自由基交联剂的优选的酸值为0.1～300mgKOH/g，尤其优选为1~[0545]从图案的分辨率和膜的伸缩性的观点考虑，树脂组合物优选使用2官能的甲基丙[0547]另外，例如PEG200二丙烯酸酯是指聚乙二醇二丙烯酸酯且聚乙二醇链的式量为子内具有多个通过上述光产酸剂或光产碱剂的感光而促进在与组合物中的其他化合物或碱的作用而促进在与组合物中的其他化合物或其反应产物之间形成共价键的反应的基团[0558]将作为上述含有氨基的化合物而使用了三聚氰胺的交联剂称为三聚氰胺系交联[0560]作为含有本发明中的烷氧基甲基及酰氧基甲基中的至少1个的化合物，能够举出烷氧基甲基或酰氧基甲基直接在芳香族基团或下述脲结构的氮原子上或三嗪上取代的化通过酸的作用进行脱离的基团、_C(R4)4)2COOR5所表示的基团中的R5，例如能够举出_C(R36)(R37)(R38)、_C(R36)(R37)等。[0585]作为通过酸的作用进行分解而产生碱溶性基的基团或通过酸的作用进行脱离的[0591]关于含有烷氧基甲基及酰氧基甲基中的至少1个的化合物，可以使用市售的化合[0602]作为其他交联剂，也可以使用市售品，作为优选的市售品，可以举出46DMOC、[0605]作为环氧化合物，优选为在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物。环氧基在[0612]氧杂环丁烷化合物(具有氧杂环丁烷基的化合物)一[0613]作为氧杂环丁烷化合物，能够举出在一分子中具有2个以上的氧杂环丁烷环的化[0614]苯并噁嗪化合物(具有苯并噁唑基的化合物)一[0615]关于苯并噁嗪化合物，由于由开环加成反应引起交联反应而在固化时不产生脱[0617]其他交联剂的含量相对于本发明的树脂组合物的总固体成分优选为0.1～30质量更优选为0.1～20质量进一步优选为0.5～15质量尤其优选为1.0～10质量％。[0619]本发明的树脂组合物优选包含能够通过光和/或热而引发聚合的聚合引发剂。尤[0621]光自由基聚合引发剂优选含有至少1种在波长约240～800nm(优选为330～500nm)这些的详细内容，能够参考日本特开2016_027357号公报的0165～0182段、国际公开第特开2014_130173号公报的0065～0111段、日本专利第6301489号公报中所记载的化合物、聚合引发剂、日本特开2019_043864号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019_044030号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019_167313号公报中所记载的过氧化[0623]作为酮化合物，例如可以例示日本特开2015_087611号公报的0087段中所记载的化合物，并将该内容编入本说明书中。在市售品中，也可以优选地使用KAYACUREDETX_S291969号公报中所记载的氨基苯乙酮系引发剂、日本专利第4225898号中所记载的酰基氧Omnirad127(以上为IGMResinsB.V.公司制)、IRGACURE184(IRGACURE为注册商标)、Omnirad379EG(以上为IGMResinsB.V.公司制)、IRGACURE907、IRGACURE369及KeycureVIS813(KingBrotherChem[0631]作为肟化合物的具体例，可以举出日本特开2001_233842号公报中所记载的化合II(1979年，pp.156_162)中所记载的化合物、JournalofPhotopolymerScieneeand报中所记载的化合物、日本专利第6065596号公报中所记载的化合物、国际公开第2015/152153号中所记载的化合物、国际公开第2017/051680号中所记载的化合物、日本特开载的化合物、国际公开第2013/167515号中所记载的化合物等，并将该内容编入本说明书[0632]作为优选的肟化合物，例如可以举出下述结构的化合物、3_(苯甲酰氧基(亚氨氧基(亚氨基))_1_苯基丙烷_1_酮等。在本发明的OXE03、IRGACUREOXE04(以上为BASF公司制)、ADEKAOPTOMERN_1919(ADEKA能够使用TR_PBG_304、TR_PBG_305(ChaLTD.制)、ADEKAARKLSNCI_730、NCI_831及ADEKAARKLSNCI_930(ADEKACORPORATION化合物的具体例，可以举出日本特开2014_137466号公报中所记载的化合物、日本专利[0639]作为光自由基聚合引发剂，也能够使用具有咔唑环中的至少1个苯环成为萘环的中所记载的化合物24、36～40、日本特开2013_164471号公报的0101段中所记载的化合物书中。并且，作为具有硝基的肟化合物，也可以举出ADEKAARKLSNCI_831(ADEKA[0645]肟化合物OX优选为选自式(OX1)所表示的化合物及式(OX2)所表示的化合物中的RX14中的至少1个为吸电子基团。[0653]作为肟化合物OX的具体例，可以举出日本专利第4600600号公报的0083～0105段[0654]作为最优选的肟化合物，可以举出日本特开2007_269779号公报中所示的具有特[0655]从曝光灵敏度的观点考虑，光自由基聚合引发剂优选为选自三卤甲基三嗪化合子数2～18的烷基及经碳原子数1～4的烷基中的至少1个取代的苯基或联苯基，RI01为式RI07与上述式(I)的RI02～RI04相同。[0664]并且，光自由基聚合引发剂也能够使用国际公开第2015/125469号的0048～0055[0665]作为光自由基聚合引发剂，可以使用2官能或3官能以上的光自由基聚合引发号公报的0407～0412段、国际公开第2017/033680号的0039～0055段中所记载的肟化合物开2017151342号公报的0017～0026段中所记载的光聚合引发剂(A)、日本专利第6469669优选为0.1～30质量更优选为0.1～20质量进一步优选为0.5～15质量更进一步[0669]树脂组合物可以包括增感剂。增感剂吸收特定的活性放射线而成为电子激发状[0673]关于增感色素的详细内容，能够参考日本特开2016_027357号公报的0161～0163GeH的[0677]并且，链转移剂也能够使用国际公开第2015/199219号的0152～0153段中所记载[0681]光产酸剂表示通过200nm～900nm的光照射而产生布朗斯台德酸及路易斯酸中的[0683]作为本发明的树脂组合物中所使用的光产酸剂，例如可以举出醌二叠氮化合物、[0685]作为醌二叠氮化合物，可以举出醌二叠氮的磺酸酯键于1价或多价的羟基化合物而获得的化合物，醌二叠氮的磺酸通过磺酰胺与1价或多价的氨基化合物键合而获得的化合物，醌二叠氮的磺酸通过酯键和/或磺酰胺与聚羟基聚氨基化合物键合而获得的化合物[0690]本发明的树脂组合物中所使用的醌二叠氮化合物的含量相对于树脂100质量份优[0699]作为式(OS_1)所表示的肟磺酸酯化合物的具体例，可以例示日本特开2011_209692号公报的0064～0068段、日本特开2015_194674号公报的0158～0167段中所记载的选碳原子数为6～30)或杂芳基(优选碳原子数为4～30)在可以获得本发明的效果的范围内或式(OS_111)所表示的化合物，上述式(OS_104)所表示的化合物尤其优选为下述式(OS_107)所表示的化合物，上述式(OS_105)所表示的化合物尤其优选为下述式(OS_108)或式[0719]作为包含至少1个肟磺酸酯基的肟磺酸酯化合物的优选的其他方式，可以举出下u5～Ru7分别独立地表示烷基或芳基。u1～Ru4中u1[0728]作为式(OS_101)所表示的化合物的具体例，可以例示日本特开2011_209692号公[0732]作为市售品，能够举出WPAG一336(FUJIFILMWakoPureChemicalCorporation硼碘络合物、日本特开平9_188710号公报中所记载的有机硼鏻络合物、日本特开平6_306527号公报、日本特开平7_292014号公报等有机硼过渡金属配位络合物等作为具体例，[0739]作为二砜化合物，可以举出日本特开昭61_166544号公报、日本专利申请2001_国专利第4,069,056号的各说明书中所记载的鏻盐、欧洲专利第104,143号、美国专利第339,049号、美国专利第410,201号的各说明书、日本特开平2_150848号、日本特开平2__2122各自独立地表示可以具有1～6个取代基的碳原__31_31[0756]光产酸剂相对于树脂组合物的总固体成分优选使用0.1～20质量更优选使用Rb3中的至少1个优选包含环状结构，更优选至少2个[0790]式(B3)的L中的碳原子数(也包含除了连接链中的碳原子以外的碳原子)优选为3~0168段中所记载的化合物、国际公开第2018/038002号的0143～0177段中所记载的化合度是指在式中的2个羰基之间成为最短路径的原子排列中存在[0799]与链状烷基和环状烷基的组合有关的基团优选碳原子数为4～24的基团，更优选价的芳香族烃基的组合有关的基团，进一步优选为可以在链中具有氧原子的2价的脂肪族[0811]与链状亚烷基和环状亚烷基的组合有关的基团优选碳原子数为4～24的基团，更[0816]亚芳基亚烷基优选碳原子数为7～23的基团，更优选为7～19，进一步优选为7~[0822]作为离子型产碱剂的具体的优选化合物，例如也可以举出国际公开第2018/甲酯、2乙氧基丙酸乙酯))、2烷氧基2甲基丙酸甲酯及2烷氧基2甲基丙酸乙酯(例酸乙酯。[0847]本发明的树脂组合物优选包含用于提高与电极或配线等中所使用的金属材料的[0849]作为硅烷偶联剂，例如可以举出国际公开第2015/199219号的0167段中所记载的化合物、日本特开2014一191002号公报的0062～0073段中所记载的化合物、国际公开第~0078段中所记载的化合物，并将这些内容编入本说明书中。并且，如日本特开2011一[0856]金属粘接性改良剂的含量相对于特定树脂1的防锈剂、日本特开2009一283711号公报的0073～0076段中所记载的化合物、日本特开2011059656号公报的0052段中所记载的化合物、日本特开2012194520号公报的0114段、0116段及0118段中所记载的化合物、国际公开第2015/199219号的0166段中所记载的化合明的树脂组合物的总固体成分优选为0.01～5.0质量更优选为0.05～2.0质量进一段中所记载的聚合抑制剂及国际公开第2015/125469号的0031～0046段中所记载的化合明的树脂组合物的总固体成分优选为0.01～20质量更优选为0.02～15质量进一步[0883]本发明的树脂组合物在可以获得本发明的效果的范围内根据需要能够配合各种第2013/0034812号说明书的0237段)的记载、日本特开2008一250074号公报的0101～0104优选将其合计配合量设为本发明的树脂组合物的固体成分的3质量F482、MEGAFACEF554、MEGAFACEF780、RS_72_K(以上为DICCORPORATION制)、Fluorad0158段中所记载的化合物、日本特开2011_132503号公报的0117～0132段中所记载的化合源自具有氟原子的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元和源自具有2个以上(优选为5个以例示下述化合物作为本发明中所使用的氟系[0892]氟系表面活性剂也能够将在侧链中具有烯属不饱和基团的含氟聚合物用作氟系[0893]氟系表面活性剂中的氟含有率优选为3～40质量更优选为5～30质量尤其TorayCo.，Ltd.制)、TSF_4440、TSF_4300、TSF_4445、TSF_4460、TSF_4452(以上为[0900]表面活性剂的含量相对于组合物的总固体成分优选为0.001～2.0质量更优选[0903]并且，高级脂肪酸衍生物也能够使用国际公开第2015/199219号的0155段中所记[0906]本发明的树脂组合物可以包含热聚合引发剂，尤其可以包含热自由基聚合引发含的情况下，紫外线吸收剂的含量相对于本发明的组合物的总固体成分质量优选为0.001[0932]在配合有机钛化合物的情况下，其配合量相STABAO_60、ADKSTABAO_60G、ADKSTABAO_80及ADKSTABAO_330(以上为ADEKA的化合物，并将该内容编入本说明书中。作为潜在的抗氧化剂的市售品，可以举出ADEKAARKLSGPA_5001(ADEKACORPORATION[0939]式(3)所表示的化合物抑制树脂所具有的脂肪族基团和酚性羟基的氧化劣化。并[0962]本发明的组合物可以包含其他高分子化合物，也可以不[0964]关于本发明的树脂组合物的粘度，能够通过树脂组合物的固体成分浓度来调从涂布膜厚的观点考虑，优选为1,000mm2/s～12,000mm2/s，更优选为2，000mm2/s～[0966]本发明的树脂组合物的含水率优选小于2.0质量更优选小于1.5质量进一[0970]若考虑本发明的树脂组合物作为半导体材料的用途，则从配线腐蚀性的观点考本特开2015_123351号公报中所[0976]树脂组合物的固化优选通过加热进行，加热温度更优选在120℃~400℃的范围[0977]将本发明的树脂组合物进行固化时的收缩率优选为50％以下，更优选为45％以[0981]本发明的树脂组合物的固化物的断裂伸长率优选为30％以上，更优选为40％以[0982]本发明的树脂组合物的固化物的玻璃转移温度(Tg)优选为180℃以上，更优选为[0984]本发明的树脂组合物能够通过混合上述各成分来制备。举出将孔径1μm的HDPE过滤器作为第1级且将孔径0.2μm的HDPE过滤器作为第2级进行串联[0991]本发明的固化物的制造方法优选包括将树脂组合物适用于基材上而形成膜的膜过膜形成工序而形成的膜的曝光工序及使用显影液对通过曝光工序进行曝光的膜进行显[0994]并且，本发明的制造方法也优选包括上述膜形成工序及对上述膜进行加热的工[0998]本发明的固化物的制造方法优选包括将树脂组合物适用于基材上而形成膜的膜[1009]关于转印方法，本发明中也能够优选地使用日本特开2006_023696号公报的0023[1013]上述膜可以在膜形成工序(层形成工序)之后，供于对为了去除溶剂而形成的膜[1016]干燥工序中的膜的干燥温度优选为50～150℃,更优选为70℃~130℃,进一步优[1023]关于曝光波长，若以与光源的关系进行说明，则可以举出(1)半导体激光(波长激光、KrF准分子激光(波长248nm)、ArF准分子激光(波长193nm)、F2准分子激光(波长[1029]曝光后加热工序中的加热温度优选为50℃~140℃,更优选[1030]曝光后加热工序中的加热时间优选为30秒钟～300分钟，更优选为1分钟～10分显影液总质量中优选为0.01～10质量更优选为0.1～5质量进一步优选为0.3～3质液的温度并无特别规定，优选为能够在10～45℃下进行，更优选为能够在18℃~液的温度并无特别规定，优选为能够在10～45℃下进行，更优选为能够在18℃~[1068]通过显影工序而获得的图案(在进行冲洗工序的情况下为冲洗后的图案)可以供其他方法而获得的图案或通过膜形成工序而获得的膜进行[1074]加热工序优选为通过加热并利用从上述产碱剂产生的碱等的作用而在上述图案[1077]加热开始时的温度优选为20℃~150℃,更优选为20℃~130℃,进一步优选为25例如优选从比本发明的树脂组合物中所包含的溶剂的沸点低30～200℃的温度开非活性气体流过且在减压状态下进行等而在低氧浓度的环境下进行。氧浓度优选为50ppm行冲洗工序的情况下为冲洗后的图案)也可以供于曝光显影工序之后的图案的显影后曝光[1089]在显影后曝光工序中，只要曝光在显影工序中所获得的[1090]显影后曝光工序中的曝光量以在感光性化合物具有灵敏度的波长下的曝光能量者的图案)可以供于在图案上形成金属层的金属[1094]即，本发明的固化物的制造方法优选包括在通过显影工序而获得的图案(优选为供于加热工序及显影后曝光工序中的至少一者的图案)上形成金属层的金属层缘膜进行蚀刻而形成图案的情况等。关于这些用途，例如能够参考Science&Technology[1103]本发明的层叠体为包括2层以上的由固化物形成的层的层叠体，并且也可以设为[1104]上述层叠体中所包括的2层以上的由上述固化物形成的层中的至少1个为由本发