CN119404101A 合金组成计算装置、方法、程序及系统 （株式会社力森诺科）

2024.12.06PCT/JP2023/0211432023.06.07WO2023/238888JA2023.12.142亮度确定部，根据所述各元素图像上的同一坐根据所述各元素图像上的同一坐标处的各亮度，确定以所述各元素图像亮度确定部，根据所述各元素图像上的同一坐亮度确定部，根据所述各元素图像上的同一坐3STEM(scanningtransmissionelectronmicroscopy)_XEDS(X_rayenergy_dispersive【非专利文献1】XuanQuyTran,YoshikiKono,TomokazuYamamoto,KoheiKusada,HiroshiKitagawa,andSyoMatsumura,“StatisticalEvaluationofthe4[0007]根据[5]所述的合金组成计算装图4是用于说明根据本发明的一个实施方式的合金的每个粒子的合金组成的计算5<整体的结构＞图1是根据本发明的一个实施方式的整体的结构图。合金组成计算装置10由操作合金组成计算装置10是计算合金的组成的装置。合金组成计算装置10由1个或多个计算机(例如，操作者20操作的个人计算机或操作者20操作的个人计算机和服务器)构计算出的结果来制造合金(例如，根据合金组<硬件结构＞图2是根据本发明的一个实施方式的合金组成计算装置10的硬件结构图。合金组成计算装置10具有CPU(CentralProcessingUnit)1、ROM(ReadOnlyMemory)2、RAMCPU1是执行安装在辅助存储装置4中的各Input/OutputSystem)或EFI(ExtensibleFirmwareInterface)等的引导程序等的主存RAM3是DRAM(DynamicRandomAccessMemory)、SRAM(StaticRandomAccess6显示装置5是显示合金组成计算装置10的程序的输入输出状态或动作等的显示设操作装置6是合金组成计算装置10的管理者对合金组成计算装置10输入各种指示驱动装置8是用于设置存储介质9的设备。在此所说的存储介质9中，包括像CD_可以通过经由I/F装置7从网络下载安装在辅助存储装置4中的各种<功能块＞图3是根据本发明的一个实施方式的合金组成计算装置10的功能框图。合金组成(扫描式电子显微镜)或STEM(扫描式透射电子显微镜)等中，包含利用EDS(X_rayenergy_dispersivespectroscopy,X射线能亮度确定部102根据图像取得部101取得的各元素图像上的同一坐标处的各亮度计算部103能够对合金的每个粒子或者合金的每个另外，组成计算部103也可以计算点的极坐标的偏角和点的极坐标距原点的距离7图4是用于说明根据本发明的一个实施方式的合金的每个粒子的合金组成的计算如图4左侧的[合金的每个粒子的合金组成的计算]所示，合金组成计算装置10能够对每个粒子(图4的虚线包围的区域)计算合金组成如图4的右侧的[合金的每个图像的合金组成的计算]所示，合金组成计算装置10<方法＞在步骤2(S2)中，图像取得部101从在S1读入的图像中切出解析的区域(解析区在步骤3(S3)中，图像取得部101检测在S2中切出的解析区域内的粒子的区域(粒<<合金(粒子)图像的处理8在步骤14(S14)中，图像取得部101按每个粒子分割图像内的粒子的区域(粒子区<<元素图像的处理在步骤23(S23)中，图像取得部101进行在S22中切出的解析区域的池化处理(例[合金(粒子)的图像]是在图6的S11中读取并在S12中切出解析区域的合金的粒子<<合金(粒子)图像的处理<<元素图像的处理在步骤201(S201)中，亮度确定部102读入在上述预处理S24中得到的各元素图像在步骤203(S203)中，亮度确定部102取得在S202中取得的粒子(设为粒子1)的区在步骤205(S205)中，组成计算部103基于在S204中计算出的极坐标的偏角的分9<极坐标＞的元素为2个的情况(二维的极坐标的情况)，但合金的元素为3个以上的情况(三维以上的图10表示将纵轴作为合金的元素A的元素图像的亮度的轴、将横轴作为合金的元像上的同一坐标上的各亮度(即，各元素图像上位于同一坐标的像素的各亮度)被绘制的合金的数据和各元素的数据可以是表示各像素的亮度(X射线强度)的数值数据校正值(k因子)是从亮度(X射线强度)向组成转换时图16的虚线表示与设定值(在初始画面上输入的、由使用者选择的合金的数据的图17的虚线(对角线)表示与设定值(在<合金组成的偏向＞<效果＞本国际申请基于2022年6月10日提交的2022_094234号日本专利申请主张优先权，将2022_094234号的全部内容在此并