CN119404127A 反射镜驱动装置、光源装置、光扫描装置、校正方法 （斯坦雷电气株式会社）

2024.12.19PCT/JP2023/0235502023.06.26WO2024/009820JA2024.01.11反射镜驱动装置(10)具备：MEMS反射镜延迟处理部(110)，其向MEMS传感器校正电路2所述光扫描器传感器部由压电传感器和光扫描器传感器信号处理电所述光扫描器传感器校正部是具有与所述压电传感器和所述光扫描器传感器信号处所述光传感器部由光检测器和光传感器信号处理电所述光传感器校正部是具有与所述光检测器和所述光传感器信号处理电路这两者相延迟处理部，其向所述光扫描器传感器校正部和所述光传感器校7.一种反射镜驱动时机的校正方法，其是3获取从所述光扫描器驱动信号的输出到所述光扫描器传感器信号的输出为止的时间获取再现了所述光扫描器传感器部的响应延迟的光扫描器传感器再现响应延迟时间通过对所述光扫描器传感器再现响应延迟时间减去从所述光扫描器驱动信号的输出8.一种光源驱动时机的校正方法，其是下述装置取得从所述光源驱动信号的输出到所述光传感器信号的输出为止对从所述光源驱动信号的输出到所述光传感器信号的输出为止的延迟时间减去所述4[0002]以往，在扫描光而投影影像的光偏转器中，已知具有利用MEMS(MicroElectro于反射镜部的位移而点亮或熄灭的方式进行控同回路的去路中由光传感器检测出的像素)相对于期望值的偏差，分别检测出激光的水平[0010]为了校正反射镜部的驱动和激光的点亮时机，需要首先利用光传感器检测出激获取的关于反射镜的驱动状态的信息包括传感器[0011]从用于检测激光的点亮时机的传感器获取的点亮时机的信息中也同样包含传感5[0026]延迟处理部向光扫描器传感器校正部和光传感器校正部中的至少任一方校正部输入延迟检测信号，并分别运算光扫描器传感器校正部和光传感器校正部的输出的延迟。6[0029]获取从所述光扫描器驱动信号的输出到所述光扫描器传感器信号的输出为止的[0030]获取再现了所述光扫描器传感器部的响应延迟的光扫描器传感器再现响应延迟[0031]通过对从所述光扫描器驱动信号的输出到所述光扫描器传感器信号的输出为止[0033]最后，对从输出光扫描器驱动信号到输出所述光扫描器传感器信号为止的时间[0034]另外，本发明的光源驱动时机的校正方法是下述装置的光源驱动时机的校正方检测来自所述光源的光并输出光传感器信号[0036]取得从所述光源驱动信号的输出到所述光扫描器传感器信号的输出为止的时间及[0038]对从所述光源驱动信号的输出到所述光传感器信号的输出为止的延迟时间减去725的压电传感器27和MEMS传感器信号处理电路45(本发明的“光扫描器传感器信号处理电向控制电路150(延迟处理部110)输[0054]MEMS传感器校正电路126具有与MEMS传感器部40等效的响应特性(特别是相同的[0055]MEMS传感器校正电路126例如由综合了响应特性与压电传感器27等效的电路和响8[0056]因此，MEMS传感器校正电路126能够对MEMS反射镜20的驱动信号与压电传感器27[0063]上述发光时机信号只要是相对于发光被指示的时机的延迟时间是已知的信号即光延迟测定部112能够测定从发光的指示到由光传感器部80检测到光为[0068]光传感器校正电路125例如由综合了响应特性与光检测器82等效的电路和响应特性与光传感器信号处理电路85等效的电路的[0069]同样地，MEMS传感器校正处理部116向传感器校正部120的MEMS传感器校正电路9[0071]然后，延迟处理部110根据延迟时间t1～t4运算MEMS反射镜20的驱动和光源60的除去了MEMS传感器部40的响应特性的正相位量生成MEMS反射镜20的驱动信号和相对于该驱动信号相位偏移了与校正相位量相[0074]光扫描装置1通过上述处理生成新的驱动信号，校正MEMS反射镜20的动作和光源[0075]也可以在光扫描装置1启动时等定期地执行该校正处理或者伴随外部环境的变化号生成部105向延迟处理部119发送表示MEMS反射镜20是