CN119426293A 一种单晶炉真空管道内壁清理装置及使用方法 （内蒙古中环晶体材料有限公司）_第1页
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一种单晶炉真空管道内壁清理装置及使用接作用在清理刷上，不会对气流的流速造成影24.根据权利要求2或3所述的单晶炉真空管道内壁清理装10.使用如权利要求5至9任一项所述的单晶炉真空管道内壁清理装置的方法，其特征调节所述调节杆与所述导向件之间的相对位根据炉台节流阀的开度，选择相匹配的所述调节杆转3需要一种单晶炉真空管道内壁清理装置及使用方法驱动所述导向件可带动所述清理组件沿所述4流方向布设在固定板24的同侧，以使气流从导流板23经过而不会直接作用在清理刷22上。5入套筒252内的长度可改变导流板23与固定板24之间的夹角，进而改变导流板23与清理刷6[0043]以上对本发明的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，7

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