CN119451806A 用于基于光刻生成制造三维构件的方法和设备 （阿普纳米有限责任公司）

2024.12.27PCT/IB2023/0564522023.06.22WO2024/028667DE2024.02.08用于基于光刻生成制造三维构件的方法和在用于基于光刻生成制造三维构件的方法个射束借助于光学成像单元(13)聚焦到材料(2)在光学成像单元(13)上游的偏转单元(5，19)来像素由多个射束扫描并且所述电子可控像素根据构件的要实现的几何形状单独地在至少一个的射束仅在至少一个开启状态下导引至成像单21.一种用于基于光刻生成制造三维构件的方法，其中借助分束器(9)将由电磁辐射源由所述多个射束扫描并且所述电子可控像素根据所述构件的要实现的几何形状单独地在3.根据权利要求1或2所述的方法，其特4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，能够5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，的情况下将所述多个射束导引到所述空间光调制器(11)上，所述射束由所述空间光反射，光调制器(11)和所述镜(22)移位成，使得选择性地将所述空间光调制器(11)或者所述镜变所述光学成像单元(13)相对于所述构10.一种用于基于光刻生成制造三维构件的设备、特别是用于执行根据权利要求1至93选择性地置于布置在所述射束路径中的工作位将所述构件以在x_y平面中延伸的层的方式逐层构建，其中从一层到下一层的切换包括在垂直于x_y平面伸展的z方向上改变所述光学成像单元(13)相对于所述构4此借助于多光子吸收依次固化材料的分别处于焦点处的体[0005]用于多光子吸收方法的照射装置包括用于聚焦激光束的光学器件以及用于偏转5束，所述多个写入射束分别聚焦到要固化的材料中，使得实现并行固化多个体积元件(Kelemen等人：“Parallelphotopolymerizationwithcomplexlightpatternsgeneratedbydiffractiveopticalelements由衍射光学元件生成的复杂光图案的并行控像素根据构件的要实现的几何形状单独地在至少一个开启和一个关闭状态之间进行切6[0021]根据本发明的另一优选的实施方式，空间光调制器的像素布置成多个平行的元件都借助相同的辐射功率照射。适配或减小辐射强度例如对于如下体积元件是有利的，[0026]替代地或附加地，辐射强度的调节还能够用于改变各个以便在不改变成像单元和构造平台之间的相对位置的情况下实现z方向上的高度廓线。在7使用光调制器以根据本发明的方式写入构件和类似构件的常规并行写入[0030]该构件优选地逐层地构建有在x_y平面中延伸的层，其中从一层到下一层的切换8装置，能够操控所述照射装置以借助至少一个射束对所述可固化材料进行位置选择性照空间光调制器例如能够构成为反射型液晶微显示器。这种LCoS设备的帧速率大于等于9从一层到下一层的切换包括在垂直于x_y平面伸展的z方向上改变光学成像单元相对于构材料载体之间的体积元件来在构造平台上构[0050]成像单元能够构成为f_theta透镜或者优选地由以4f布置的显微镜物镜和中继光本发明的设备的第一实施方式的示意图，图2示出根据本发明的设备的第二实施方式的示[0053]在根据图1的构成方案中，空间光调制器11构成为线调制器并且包括大量布置成入区域内产生体积元件。如果要制造的构件在x和/或y方向上大于光学成像单元13的写入过在开启和关闭状态之间的切换，产生图5中所示的图案，其中体积元件在通过深色像素