2026半导体企业全员安全生产责任制各级人员履职清单

安全／生产／半导体企业全员安全生产责任制各级人员履职清单2026年9月整理版1/1安全管理文件汇编安全／生产／责任制

半导体企业全员安全生产责任制

各级人员履职清单（78岗位通用版·2026年9月整理版）文件编号：EHS-ZR-BDT-2026-09版本号：2026年9月整理版编制单位：________________________编制：______________审核：______________批准：______________2026年9月15日整理适用范围：晶圆制造、集成电路制造、半导体材料、封装测试及配套厂务动力、气体化学品系统等单位

目录TOC\o"1-2"\h\u310177022一、公司级领导与治理层 41202397485二、安全及职能管理岗位、生产、技术、设备及基层管理岗位 391386857630四、典型工艺、特种作业与一线岗位 57

编制说明本清单面向半导体企业，将“主要负责人—分管负责人—安全管理机构—职能部门—制造/工艺/设备/厂务—班组—典型工艺—特种作业—一线岗位”逐级纳入全员安全生产责任体系，并把原则性职责转化为可执行、可检查、可留痕、可考核的履职事项和输出成果。主要负责人安全职责严格依据《中华人民共和国安全生产法》第二十一条七项法定职责编制；安全生产管理机构负责人和专职安全生产管理人员严格依据第二十五条七项法定职责编制。其余岗位结合半导体企业特种气体、危险化学品、洁净厂房、高温/真空/高压设备、离子注入、激光、厂务动力、废气废水、承包商施工等典型风险进行细化。本清单按照“管业务必须管安全、管生产经营必须管安全”和“谁主管谁负责、谁组织谁负责、谁作业谁负责”的原则设置通用职责。企业应结合实际组织架构、晶圆制造或封装测试工艺、危险化学品/气体种类、设备设施、作业活动及属地监管要求，对岗位名称、履职频次和考核指标进行适配；同一人员兼任多个岗位时，应承担相应岗位职责的叠加责任。建议将“输出成果”直接作为履职证据纳入年度安全生产责任制考核，与安全目标、安全绩效、风险分级管控、隐患排查治理、教育培训、作业许可、MOC变更管理、设备点检、厂务设施可靠性、应急管理和奖惩机制衔接。法律法规、强制性标准、特种设备安全技术规范或企业制度有更严格规定的，从其规定。核心法律依据条款适用对象本清单落实方式第二十一条生产经营单位主要负责人第1岗完整列示七项法定职责，并结合半导体企业特点转化为全员责任制、规章规程、教育培训、安全投入、双重预防、应急预案和事故报告等履职证据。第二十五条安全生产管理机构及安全生产管理人员第11—12岗完整列示七项法定职责，并结合半导体现场落实制度规程、培训、危险源辨识评估、应急演练、安全检查、违章制止和整改督促。一、公司级领导与治理层本部分突出“主要负责人第一责任、分管负责人职责范围负责、资源保障协同”的责任链条，共10个岗位。序

号岗位/人员安全职责履职要点输出成果1主要负责人（董事长/总经理/实际主要负责人）依据《中华人民共和国安全生产法》第二十一条，主要负责人对本单位安全生产工作负有下列职责：

1）建立健全并落实本单位全员安全生产责任制，加强安全生产标准化建设；

2）组织制定并实施本单位安全生产规章制度和操作规程；

3）组织制定并实施本单位安全生产教育和培训计划；

4）保证本单位安全生产投入的有效实施；

5）组织建立并落实安全风险分级管控和隐患排查治理双重预防工作机制，督促、检查本单位的安全生产工作，及时消除生产安全事故隐患；

6）组织制定并实施本单位的生产安全事故应急救援预案；

7）及时、如实报告生产安全事故。1）每年组织审定全员安全生产责任制、年度安全目标和安全工作计划，明确各层级岗位责任人员、责任范围和考核标准

2）定期主持安全生产会议，专题研究特种气体、危险化学品、洁净厂房、工艺设备、供配电、消防、职业健康等重大风险和跨部门安全问题

3）组织审定气体监测联锁、气体柜/VMB、废气处理、化学品供应、应急设施、劳动防护、设备安全改造等安全投入并保障有效实施

4）带队开展综合检查和重大风险督导，对重大事故隐患、重复隐患和高后果场景明确责任、资金、措施、时限并闭环

5）组织批准综合及专项应急预案，推动开展有毒/可燃气体泄漏、化学品泄漏、火灾、停电等针对性演练

6）发生事故或险情时立即组织抢救、人员疏散和现场控制，并依法及时、如实报告全员安全生产责任制及考核标准；年度安全工作计划；安全生产会议纪要；安全投入审批/台账；主要负责人检查记录；重大隐患督办记录；应急预案批准文件；事故报告及处置记录2专职安全生产分管负责人（如设置）依据《安全生产法》第二十五条第二款，协助主要负责人履行安全生产管理职责；统筹协调各业务条线落实安全责任，推动半导体企业重大风险管控、隐患治理、安全投入、教育培训和应急管理。1）协助分解年度安全目标、重点任务和部门责任，定期向主要负责人汇报安全绩效与重点风险

2）组织综合检查、专项整治和高风险作业督导，重点关注特种气体、危化品、洁净室、机电设施和承包商

3）审核重大风险管控方案、重大隐患治理方案、停复产/停复机安全条件以及重大技改检维修安全措施

4）协调生产、工艺、设备、设施、采购、人力、工程等部门解决跨专业接口和资源保障问题

5）推动事故、未遂事件和高潜在后果事件调查复盘及整改闭环分管安全工作计划；安全专题会议纪要；综合/专项检查记录；重大风险/隐患督办清单；专项整治方案；履职报告3分管生产副总经理/晶圆厂运营负责人对分管生产运营系统安全生产工作负责，坚持安全与产能、良率、交付同时计划、布置、检查和考核，保证生产节拍和异常处置不突破安全边界。1）生产排程不得以赶产、抢修、保交付为由绕过联锁、屏蔽报警或降低作业许可标准

2）组织各生产区域落实班前会、交接班、设备状态确认、化学品/气体异常报告和洁净室行为规范

3）对夜班、加班、异常工况、临时切换、跨区域协同和停复机实施风险管控

4）督促生产系统隐患闭环、“三违”治理和异常趋势分析

5）参与事故调查、原因分析和恢复生产安全条件确认生产安全目标分解表；生产系统检查记录；交接班/异常工况记录；隐患整改台账；停复产/停复机确认记录；事故整改措施4分管技术/R&D副总经理/首席技术负责人对工艺研发、产品导入、技术变更和新技术应用中的安全技术工作负责，将EHS要求嵌入工艺开发、材料选型、设备选型和参数窗口全过程。1）组织新工艺、新技术、新材料、新设备（四新）安全评审和风险评估

2）审核涉及高毒/自燃/可燃气体、强腐蚀化学品、高压、高温、真空、辐射、激光等工艺的本质安全和工程控制措施

3）组织工艺配方、材料、设备、管线、联锁逻辑等变更管理（MOC）及安全技术交底

4）推动替代、密闭、局排、隔离、联锁、自动化等风险降低措施

5）对技术原因导致的异常、泄漏、设备损伤或职业危害组织分析改进四新安全评审记录；工艺风险评估资料；MOC变更单；安全技术要求/作业指导书；技术整改方案；事故技术分析报告5分管厂务/设施/工程副总经理对厂务动力、公用工程、气化系统、洁净空调、废气废水、供配电、消防和工程建设安全负责，确保关键生命安全系统和工艺支撑系统可靠运行。1）组织建立设施系统全生命周期安全管理制度和关键系统分级管理清单

2）审核特种气体、大宗气体、化学品供应、真空、排气、纯水、冷冻水、压缩空气、供配电等运行维护计划

3）督促气体检测、联锁、紧急切断、通风排风、废气处理、消防和应急电源等关键安全功能定期测试

4）组织重大检维修、系统切换、停送介质和工程施工风险评估及能量隔离

5）推动老旧设施、单点故障、高风险接口和高频报警问题改造治理设施管理制度；关键系统清单；年度维保计划；联锁/报警测试记录；系统切换方案；检维修记录；工程安全验收记录6分管质量副总经理/质量负责人对质量检验、可靠性试验、失效分析、实验室及客户质量活动中的安全工作负责，防止因追求良率、交付或分析效率突破设备和工艺安全边界。1）组织实验室、可靠性试验设备和样品制备环节的风险辨识与安全要求制定

2）对高温、低温、压力、真空、化学分析、激光/辐射、破坏性试验等设置隔离和防护要求

3）不得要求人员绕过设备联锁或在不安全状态下开展检验、返工、故障复现

4）发现影响安全功能的质量问题、批次异常或材料异常及时升级并推动停用/隔离

5）参与事故/异常中的材料、零部件、工艺质量因素分析质量试验安全规程；实验室检查记录；可靠性试验确认单；异常质量报告；安全相关质量问题升级记录；整改闭环资料7分管供应链/采购副总经理对设备、化学品、特种气体、PPE、安全设施和外协服务采购过程中的安全合规性及供应商安全管理负责。1）将EHS技术条件、材质兼容性、认证/检验、SDS、泄漏/联锁接口等要求纳入采购技术协议和合同

2）对特种气体、危险化学品、压力设备、PPE、消防/气体检测设备等供应商实施资质和能力审查

3）建立供应商安全准入、变更通知和不合格处置机制

4）对安装、调试、维护、运输等外协服务明确安全责任和现场要求

5）发现无证、失效、规格不匹配或安全资料不完整的物料设备及时停止采购/使用采购安全技术条款；供应商准入/评价记录；资质审查表；安全物资验收记录；外协安全协议；不合格品处置记录8分管行政人力副总经理对人员招聘、岗位资格、教育培训、劳动纪律、职业健康协同、行政后勤和安全绩效机制负责，为全员履职提供人员和制度保障。1）建立岗位任职资格、培训矩阵和特殊岗位健康/能力要求

2）落实新员工三级教育、转岗/复岗、四新培训和专项培训衔接，未经培训合格不得独立上岗

3）核查特种作业、特种设备作业、辐射/激光等岗位所需资格或授权

4）配合职业健康检查、工伤管理、劳动保护和应急队伍人员保障

5）将安全履职、违章和隐患整改情况纳入绩效、奖惩、任职和晋升培训计划/档案；岗位资格矩阵；持证/授权人员台账；安全绩效考核资料；职业健康协同记录；奖惩记录9财务负责人/财务总监对安全生产投入的预算、核算、拨付和使用监督负责，保障风险控制、设备设施安全改造、培训、应急和劳动防护等所需资金。1）将气体监测、联锁、排风、消防、危化品防泄漏、应急设施、PPE和安全改造等纳入年度预算

2）按审批流程及时拨付必要安全费用，重大隐患治理资金不得无故拖延

3）建立安全投入分类台账，留存合同、发票、验收等凭证

4）配合审查安全项目资金使用效果和预算执行情况

5）不得以成本控制为由否决符合法规和风险控制需要的必要投入安全费用预算；安全投入台账；资金拨付凭证；安全项目费用明细；年度安全投入分析10工会主席/职工代表负责人依法组织职工参与安全生产民主管理和监督，维护从业人员安全健康权益，推动一线意见和风险信息进入管理闭环。1）参与安全制度、劳动保护、职业健康和重大安全事项讨论

2）组织职工代表开展劳动保护监督和岗位风险意见征集

3）收集关于PPE、化学品暴露、夜班疲劳、洁净室作业条件等问题并反馈

4）参与事故调查、工伤职工权益维护和整改跟踪

5）开展群众性安全活动、合理化建议和“随手拍”隐患活动职工安全建议台账；劳动保护监督记录；职代会/协商记录；群众安全活动记录；事故调查参与记录二、安全及职能管理岗位本部分覆盖安全、职业健康、消防、应急、环境、危废、危险化学品、特种气体、辐射、激光、电气、厂务、工程、人力、采购和相关方等职能，共25个岗位。序

号岗位/人员安全职责履职要点输出成果11安全生产管理机构负责人/EHS负责人/安全总监依据《中华人民共和国安全生产法》第二十五条，安全生产管理机构以及安全生产管理人员履行下列职责：

1）组织或者参与拟订本单位安全生产规章制度、操作规程和生产安全事故应急救援预案；

2）组织或者参与本单位安全生产教育和培训，如实记录安全生产教育和培训情况；

3）组织开展危险源辨识和评估，督促落实本单位重大危险源的安全管理措施；

4）组织或者参与本单位应急救援演练；

5）检查本单位的安全生产状况，及时排查生产安全事故隐患，提出改进安全生产管理的建议；

6）制止和纠正违章指挥、强令冒险作业、违反操作规程的行为；

7）督促落实本单位安全生产整改措施。1）组织年度EHS管理计划和全员安全生产责任制考核，建立风险、隐患、培训、应急等管理机制

2）牵头特种气体、危化品、洁净厂房、离子注入、激光、高压电气、真空、压力系统、消防和承包商等风险辨识评估

3）组织综合、专项、季节性检查及重大事故隐患治理，推动高潜在后果事件复盘

4）统筹危险作业许可、承包商、职业健康、消防、应急、特殊设备和变更管理的接口

5）定期向主要负责人报告重大风险、隐患、事件趋势和整改资源需求年度EHS管理计划；制度/规程清单；风险分级管控清单；隐患台账；培训档案；安全检查报告；整改督办单；应急演练资料；履职报告12专职安全生产管理人员依据《中华人民共和国安全生产法》第二十五条，安全生产管理机构以及安全生产管理人员履行下列职责：

1）组织或者参与拟订本单位安全生产规章制度、操作规程和生产安全事故应急救援预案；

2）组织或者参与本单位安全生产教育和培训，如实记录安全生产教育和培训情况；

3）组织开展危险源辨识和评估，督促落实本单位重大危险源的安全管理措施；

4）组织或者参与本单位应急救援演练；

5）检查本单位的安全生产状况，及时排查生产安全事故隐患，提出改进安全生产管理的建议；

6）制止和纠正违章指挥、强令冒险作业、违反操作规程的行为；

7）督促落实本单位安全生产整改措施。1）按计划开展生产区、厂务区、仓库、实验室和施工区域日常巡查、专项检查及高风险作业监督

2）跟踪隐患从发现、责任、期限、整改、复查到销号全过程，对逾期和重复隐患升级报告

3）参与新设备、新工艺、新化学品/气体、技改项目和MOC安全审查

4）检查作业许可、能量隔离、PPE、人员资格、报警联锁状态和应急器材

5）对违章指挥、强令冒险作业、屏蔽安全联锁、违反操作规程等立即制止和纠正安全巡查记录；隐患整改通知/复查单；作业许可监督记录；培训记录；风险辨识记录；违章纠正记录；安全工作日志；安全建议报告13职业健康管理员/工业卫生工程师负责化学物质、特种气体、噪声、非电离辐射、激光、局部高温等职业病危害因素管理和劳动者职业健康保护。1）建立职业病危害因素、接触岗位和接触人员清单，识别HF、酸碱、溶剂、金属化合物等暴露场景

2）组织职业病危害检测评价和上岗前、在岗期间、离岗时职业健康检查

3）监督局部排风、通风换气、密闭输送、洗眼器/喷淋等防护设施运行

4）组织呼吸防护、化学防护手套、护目镜/面屏等PPE选型、适配和培训

5）建立职业健康监护和异常人员处置档案危害因素清单；职业卫生检测/评价报告；职业健康检查资料；防护设施检查记录；PPE适配记录；职业健康监护档案14消防安全管理员负责洁净厂房、化学品库、气体间、动力站房、配电室、仓库和施工区域消防安全日常管理及消防设施完好性。1）组织防火巡查检查，重点检查防火分区、疏散通道、安全出口和防排烟/联动设施

2）建立火灾自动报警、喷淋、消火栓、气体灭火、灭火器等设施台账并推动维保检测

3）监督动火、可燃溶剂使用、气瓶/气体系统和临时用电的火灾风险控制

4）组织消防培训、灭火和疏散演练，检查微型消防站/应急物资

5）对消防设施停用、屏蔽、故障实施审批和补偿措施管理防火巡查记录；消防设施台账；维保检测记录；消防设施停用/屏蔽审批；动火监督记录；消防培训/演练资料；火灾隐患整改台账15应急管理专员负责生产安全事故应急预案、应急组织、应急物资、演练和应急信息管理，提升气体/化学品泄漏、火灾、停电、人员暴露等场景处置能力。1）定期评估修订综合、专项预案和现场处置方案

2）编制年度演练计划并组织有毒/可燃气体泄漏、化学品泄漏、火灾、停电、人员中毒/灼伤等演练

3）维护应急物资、空气呼吸器、化学防护装备、吸附/围堵物资和应急通讯录

4）与园区、消防、医疗、气体/化学品供应商等外部救援资源建立联动

5）对演练和事件处置进行复盘，跟踪改进措施闭环应急预案及评审记录；年度演练计划；演练方案/记录/评估；应急物资台账；外部联络清单；复盘改进清单16环境管理负责人负责废气、废水、噪声、突发环境事件等环境风险管理，确保污染防治设施与生产同步稳定运行并防止环境风险转化为安全风险。1）建立污染源和环境风险源清单，重点管理酸碱废气、含氟/含氨废水、有机废气等

2）监督废气/废水处理设施运行、报警、联锁和异常旁路管理

3）组织环境监测、异常排放处置和环保设施检维修安全协调

4）维护突发环境事件应急预案、物资和应急池/围堵措施

5）对环保设施停运、超标或异常趋势及时升级并推动停产/降载等风险控制环境风险源清单；污染治理设施运行记录；环境监测资料；异常排放处置记录；环境应急预案/演练资料；整改台账17危险废物管理员负责废酸碱、废溶剂、废光刻胶、含重金属废液、废滤芯/吸附材料等危险废物分类、收集、贮存、转移和应急管理。1）建立危险废物种类、产生点、危害特性和相容性清单

2）检查危废暂存设施防渗、防泄漏、通风、消防、分区、标识和禁忌物隔离

3）规范容器选择、标签、封闭、转运和台账记录，防止混装和反应

4）组织泄漏、破损、异常升温等应急处置并保留记录

5）对委外转移单位和运输交接资料实施合规核验危险废物台账；贮存场所检查记录；转移交接资料；相容性/分区清单；泄漏处置记录；整改闭环单18危险化学品安全管理员负责生产、研发、仓储和供应系统所使用酸碱、氧化剂、溶剂、光刻材料等危险化学品的全生命周期安全管理。1）建立化学品清单、SDS和禁忌物/相容性矩阵，严格新化学品准入

2）审核储存、输送、使用、废弃环节的密闭、通风、防静电、防泄漏和应急措施

3）重点检查氢氟酸、硫酸、硝酸、盐酸、过氧化氢及易燃溶剂等高风险化学品（适用时）

4）组织化学品分装、换桶、转运、泄漏处置等专项培训和作业检查

5）推动化学品数量控制、标签、二次围堰和洗眼喷淋设施有效危险化学品清单；SDS库；相容性矩阵；新化学品评审记录；专项检查记录；化学品异常/泄漏台账19特种气体安全管理员负责半导体特种气体从采购、储存、气瓶/容器更换、气体柜/VMB、输送、使用到废气处理的安全管理，防止中毒、窒息、泄漏、火灾和爆炸。1）建立特种气体清单和危害分级，识别硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷、氯气、氨气等适用气体风险

2）审核气体柜、VMB、阀箱、管线、惰性气体吹扫、泄漏检测、自动切断和排风系统配置

3）组织气瓶/容器更换、首次通气、停气、检维修和异常处理的风险评估及授权

4）定期核查报警设定、检测器状态、联锁矩阵和废气处理能力

5）对气体报警、压降、异常流量、泄漏等事件实施升级、隔离、复盘特种气体清单/分级；气体系统台账；更换/通气作业记录；气体检测/联锁测试记录；异常报警台账；专项检查记录20大宗气体/低温液体安全管理员负责氮气、氩气、氧气、氢气及液氮等大宗气体和低温液体系统安全，防止缺氧、富氧、低温冻伤、超压、泄漏和火灾爆炸。1）建立储罐、汽化器、管线、阀门、安全附件和氧含量监测设施台账

2）检查压力、液位、温度、泄漏、放散口和防撞保护状态

3）监督装卸、充装、倒罐、停送气和检维修隔离作业

4）在液氮/惰性气体可能积聚区域设置缺氧监测和通风要求

5）对氧气、氢气系统落实洁净、防油、防火防爆和材料兼容性要求大宗气体系统台账；巡检记录；安全附件检验资料；装卸/停送气记录；缺氧监测检查记录；异常处置单21辐射安全管理员（适用时）负责离子注入、X射线检测等电离辐射装置或辐射源的安全管理，落实许可、分区、监测、联锁、人员防护和异常处置要求。1）建立辐射装置/场所和授权人员台账，按要求落实许可/备案

2）组织辐射场所警示、屏蔽、门联锁、剂量监测和安全装置检查

3）管理个人剂量监测、职业健康和辐射安全培训（适用时）

4）设备检维修、屏蔽拆除或联锁测试前实施专项审批和区域控制

5）发生异常照射、联锁失效等立即停用、隔离并按预案处置辐射装置台账；许可/备案资料；监测/剂量记录；联锁测试记录；人员培训授权档案；异常事件处置记录22激光安全管理员（适用时）负责光刻、检测、切割等涉及激光设备的分级、区域控制、联锁、防护和人员授权，防止眼面部和皮肤暴露。1）建立激光设备清单、等级和使用区域

2）组织防护罩、门联锁、光路封闭、警示标识和应急停止装置检查

3）对开放光路、维护调试等高风险状态实施授权和控制

4）组织激光防护眼镜选型、适配和使用培训

5）联锁失效或非预期激光暴露立即停机并组织事件调查激光设备清单；激光风险评估；联锁/防护检查记录；授权人员台账；PPE适配记录；异常事件报告23压力容器/压力管道及特种设备安全管理员负责压力容器、压力管道、电梯、起重机械、场（厂）内专用机动车辆等特种设备依法使用管理和检验维护。1）建立“一台一档”和使用登记/检验台账，明确管理和操作责任人

2）制定定期检验、年度检查、维护保养和安全附件校验计划

3）核查特种设备作业人员资格和运行记录

4）检查安全阀、压力表、限位、制动等安全附件/保护装置

5）发现严重隐患、超检验周期或安全装置失效时立即停用并组织整改特种设备台账/档案；使用登记资料；检验/校验报告；维保记录；持证台账；停用/启用记录；隐患整改记录24电气安全/高低压配电管理员负责高低压供配电、变配电室、UPS、应急电源、接地、防雷和电气检维修安全管理，防止触电、电弧和电气火灾。1）建立配电设备、保护装置、接地和绝缘工器具台账

2）组织变配电室巡检、保护试验、接地/绝缘检测和防雷检测

3）规范停送电、工作票/操作票、验电、接地、锁定挂牌和监护要求

4）审核临时用电、电气改造和高风险带电测试作业

5）对UPS、电池、母线、配电柜异常温升、放电和故障及时处置电气设备台账；巡检/试验记录；工作票/操作票；停送电/隔离记录；临时用电审批资料；故障分析报告25FMCS/BMS/EHS联锁系统管理员负责厂务监控、楼宇自控、气体监测、报警联锁等安全相关控制系统的权限、逻辑、报警、旁路和变更管理，保证安全功能可靠。1）建立安全相关报警、联锁点位和联锁矩阵清单

2）对报警抑制、旁路、强制、屏蔽和参数修改实施审批、时限和恢复确认

3）定期测试气体检测、排风联锁、紧急切断、消防联动等关键功能

4）监控高频报警、失联点位和传感器故障并推动消缺

5）控制系统软件/逻辑变更执行MOC、备份和验证报警/联锁矩阵；旁路/屏蔽审批记录；功能测试记录；报警趋势分析；系统变更记录；备份/恢复记录26生产计划/调度负责人负责生产计划、班次调度和跨区域协调中的安全条件确认，避免赶工、超负荷、异常设备强行运行和不合理交叉作业。1）排产前确认关键设备、人员、材料和厂务系统具备安全条件

2）对夜班、加班、紧急订单和设备切换合理配置人员和响应资源

3）协调生产、设备、厂务、物流和承包商，避免未隔离的交叉作业

4）重大报警、气体/化学品异常、关键设施故障时按规定停机/降载/疏散

5）做好异常信息传递和停复机条件确认生产计划安全确认记录；调度记录；异常工况通知；交叉作业协调记录；停复机记录27工艺整合/工艺技术部门负责人负责工艺系统安全管理，将危险化学品、特种气体、高温、真空、等离子体、辐射等风险控制嵌入工艺路线、参数和变更管理。1）组织各工艺模块危险源辨识、HAZOP/What-if等适用风险分析

2）审核工艺配方、材料和操作规程中的安全边界、联锁条件和异常处置

3）组织新材料、新气体、新化学品、新配方和参数窗口变更安全评审

4）不得以工艺验证为由长期屏蔽报警、联锁或降低排风/检测要求

5）参与工艺异常、泄漏、批量报废和事件的技术分析工艺风险评估记录；操作规程/作业指导书；MOC记录；工艺纪律检查记录；安全边界清单；异常技术分析报告28设备部门负责人负责生产设备全生命周期安全和维护管理，确保设备安全防护、联锁、排风、气体/化学品接口和维护隔离措施持续有效。1）建立设备分级和关键安全部件清单，制定预防性维护和专项检查计划

2）组织门联锁、急停、压力/真空保护、排风确认、泄漏检测接口等安全功能测试

3）审核重大维修、开腔、拆管、残留物处理和设备改造方案

4）督促设备维护实施LOTO、吹扫、泄压、置换、冷却和残余能量释放

5）组织重复故障、报警旁路和维护事件趋势分析设备台账；年度维保计划；安全功能测试记录；维修/LOTO记录；设备改造验收单；故障趋势分析报告29厂务/设施部门负责人负责大宗气体、特种气体、化学品供应、排气、真空、洁净空调、纯水、废水、供配电等设施系统安全运行和检维修管理。1）建立关键设施风险清单、运行边界和应急处置卡

2）组织关键参数巡检、报警趋势分析和预防性维护

3）审核系统切换、停送介质、管线开口、吹扫置换和重大检维修方案

4）监督承包商施工、能量隔离、动火、高处、有限空间等作业

5）对单点故障、高频报警、泄漏和腐蚀问题推动工程改进关键设施清单；运行巡检记录；系统切换方案；检维修/隔离记录；报警趋势分析；工程整改资料30工程/技改项目安全负责人负责新建、改建、扩建、设备搬入安装和厂务改造项目的全过程安全管理，确保项目设计、施工、调试和移交满足安全要求。1）立项和设计阶段开展风险评估，审查消防、通风、气体检测、紧急切断、泄漏围堵等安全设计

2）审查承包商资质、施工组织设计和高风险作业方案

3）组织施工区域隔离、动火、高处、吊装、临电、有限空间等作业许可与监督

4）调试前完成PSSR/投运前安全检查，验证报警联锁和应急功能

5）项目变更执行MOC，竣工资料和安全培训完成后方可移交项目风险评估；施工安全方案；承包商资料；作业许可记录；PSSR/安全验收记录；调试确认单；MOC记录31仓储/物流负责人负责原材料、晶圆/产品、备件、化学品、气瓶等仓储和厂内物流安全，防止化学品不相容、货物坠落、车辆致害和静电/火灾风险。1）落实分区、定置、限高限载、消防通道和人车分流要求

2）组织货架、托盘、堆垛、自动仓储设备和消防设施检查

3）对危险化学品、气瓶、低温容器等按特性分区储存并控制库存

4）规范叉车/AGV/AMR、装卸和物料转运路线与盲区管理

5）对破包、泄漏、容器损伤和温控异常物料及时隔离处置仓储安全检查记录；库区定置图；货架/堆垛检查记录；危险物料储存台账；物流异常处置记录；隐患台账32人力资源/安全培训负责人负责岗位胜任力、培训资格、持证授权、劳动纪律和安全绩效管理，确保人员能力与岗位风险相匹配。1）建立岗位安全能力矩阵和年度培训计划

2）组织新员工、转岗/复岗、四新、化学品/气体、LOTO、应急等培训并如实记录

3）对特种作业、特种设备作业及需内部授权岗位实施证件/授权到期管理

4）组织考试、实操验证和培训有效性评估

5）将安全履职、事件、违章和培训结果纳入绩效与奖惩年度培训计划；培训矩阵；三级教育卡；签到/课件/试卷；持证/授权台账；培训效果评估；安全绩效考核表33采购/供应商管理负责人负责物料、设备、气体、化学品、安全设施和服务采购的安全技术条件、供应商资质和到货验收管理。1）采购前核对SDS、纯度/规格、材质兼容性、包装和运输要求

2）对气体、化学品、压力设备、检测报警器、PPE等供应商开展资质和能力审查

3）将安全联锁接口、排风需求、泄漏防护、认证/检验要求写入技术协议

4）组织到货安全验收，不合格物料设备不得入库或上线

5）建立供应商变更通知和安全绩效评价机制采购技术协议；供应商准入记录；SDS/合格证明资料；到货安全验收记录；供应商安全评价；不合格处置单34承包商/相关方管理负责人负责外来施工、设备安装调试、维保、保洁、物流等相关方的安全准入、协议、教育、作业许可、现场协调和绩效评价。1）审查单位及人员资质、保险、特种作业证、施工能力和安全业绩

2）签订安全生产管理协议并明确界面、负责人、风险和应急要求

3）组织入厂安全教育、区域风险交底和洁净室/气化系统特殊要求培训

4）对动火、高处、临电、吊装、有限空间、开管等作业实施许可和旁站/抽查

5）对违章相关方立即停工整改，纳入绩效和黑名单管理相关方资质档案；安全协议；入厂教育记录；安全交底；作业许可/旁站记录；检查整改记录；绩效评价表35保卫/门禁/应急值守负责人负责人员车辆进出、门禁权限、重点区域访问、消防控制/应急值守和事件信息传递，协助维护厂区安全秩序。1）按授权管理气体间、化学品库、变配电室、屋面等重点区域门禁

2）核验外来人员、承包商和危险品运输车辆入厂条件

3）值守期间掌握报警、疏散、联络和应急响应流程

4）发生气体报警、火灾、化学品泄漏等立即按预案通知并管控人员进入

5）保持消防通道、应急出口和车辆通行秩序门禁权限台账；外来人员/车辆登记；值班记录；报警信息记录；应急通知记录；重点区域巡查记录三、生产、技术、设备及基层管理岗位本部分覆盖制造、工艺、设备、厂务、气化系统、电气自动化、洁净室、废气废水、质量和危险物料仓储等关键岗位，共18个岗位。序

号岗位/人员安全职责履职要点输出成果36晶圆厂/制造部厂长（生产经理）对所辖制造区域安全生产全面负责，组织人员、设备、工艺、材料、洁净环境和异常处置的日常安全管理。1）将安全职责分解到模块、班组和岗位并组织考核

2）组织区域风险辨识、巡查、隐患整改和异常事件复盘

3）确保报警联锁、设备防护、气体/化学品状态异常时优先执行安全停机和人员保护

4）审核重大设备维护、工艺切换和跨区域作业安全条件

5）组织班组培训、应急演练和违章治理制造部责任分解表；区域风险清单；安全检查记录；隐患台账；停复机确认记录；培训/演练记录；班组考核记录37工艺模块/区域经理（Litho/Etch/Diffusion等）对所辖工艺模块人员、设备和工艺安全负责，落实模块特有气体、化学品、高温、真空、等离子体等风险控制。1）组织模块级风险辨识和工艺/设备边界确认

2）监督报警、联锁、排风、PPE、化学品/气体管理和洁净室行为规范

3）对异常配方、异常报警、设备停机和维护开腔进行升级管理

4）组织班组交接和特殊作业安全确认

5）跟踪模块隐患、事件和重复报警整改模块风险清单；模块检查记录；异常升级记录；维护安全确认记录；隐患整改台账；模块安全例会记录38值班经理/ShiftSupervisor对当班生产安全直接负责，统筹人员状态、生产异常、报警响应、停复机和跨部门应急协调。1）班前确认人员配置、授权资格和关键设施/设备状态

2）掌握当班气体/化学品报警、设施异常和维修施工情况

3）重大报警、泄漏疑似或人员不适时立即组织停机、疏散、报告

4）禁止为保产能擅自复位、屏蔽安全联锁或绕过审批

5）做好班末交接，未闭环风险必须明确移交班次安全交接记录；报警/异常处置记录；停复机确认；人员状态确认；当班隐患记录39班组长/LineLeader对本班组作业安全负责，组织班前风险提示、人员状态确认、岗位点检、异常报告和班后交接。1）班前确认人员精神状态、培训/授权、PPE和任务风险

2）检查设备报警状态、化学品/气体供应状态和作业区域环境

3）制止违章操作、擅自开门联锁、私自处理气体/化学品异常等行为

4）发现泄漏、异味、报警、人员不适立即停工撤离并报告

5）落实班组安全活动和交接班闭环班前会/班组活动记录；岗位点检记录；交接班记录；异常/隐患上报记录；违章纠正记录40工艺工程师/ProcessEngineer负责所辖工艺参数、配方、材料和操作方法的安全技术管理，确保工艺开发和量产运行在已评估的安全边界内。1）识别工艺涉及的特种气体、化学品、高温、真空、等离子体、辐射等风险

2）编制作业指导书、异常处置和安全注意事项

3）新材料/配方/参数或设备状态变更前执行风险评估和MOC

4）工艺试验不得擅自绕过设备安全联锁、排风确认或检测报警

5）对异常反应、残留、腐蚀和污染事件开展技术分析工艺风险分析；作业指导书；MOC/实验评审记录；工艺安全边界清单；异常技术分析报告41设备工程师/EquipmentEngineer负责所辖生产设备技术状态、安全功能、维护技术和设备改造，确保设备安全联锁及危险介质接口可靠。1）建立设备关键安全功能清单并组织定期测试

2）维修前确认气体、化学品、电能、真空、压力、高温等危险能量隔离和残留处理

3）设备开腔/拆管前组织吹扫、置换、泄压和必要检测

4）安全联锁旁路或临时替代措施必须审批、限时并恢复验证

5）对重复故障、异常报警和维护事件提出工程改进设备点检/维护记录；安全功能测试记录；LOTO/吹扫置换记录；旁路审批记录；设备改造验收单；故障分析单42设备技术员/设备维护技师按照维修规程执行设备保养、故障处理、零部件更换和恢复验证，严格落实危险能量隔离和残留介质控制。1）维修前执行LOTO并确认零能量状态

2）涉及气体/化学品/真空腔体时按程序吹扫、泄压、等待冷却并佩戴规定PPE

3）不得擅自短接门联锁、急停、排风确认等安全回路

4）维修后恢复防护、联锁、管线和紧固件并进行试机确认

5）发现腐蚀、泄漏、残留结晶、异常气味及时停工报告维修工单；LOTO记录；设备点检记录；试机/复机确认；异常缺陷报告43厂务设施工程师/FacilityEngineer负责所辖厂务系统运行参数、维护、切换和技术改造，确保气体、化学品、排风、真空、纯水、冷冻水等系统安全稳定。1）建立系统关键参数和报警限值，分析趋势和异常

2）组织系统切换、停送介质、开管检维修的风险评估与隔离

3）检查阀门、管线、支撑、泄漏检测、排风和紧急切断装置

4）重大维护前核对上下游接口和生产影响，防止误送/串介质

5）维修恢复后执行泄漏测试、功能验证和状态交接设施巡检记录；系统切换记录；检维修/隔离记录；泄漏/功能测试记录；报警趋势分析；技术整改单44特种气体/化学品系统工程师负责特种气体和化学品供应系统的设计接口、运行技术、报警联锁、吹扫置换和维修恢复，防止危险介质泄漏和误混。1）核查气体柜/VMB/CDS、管线、阀件、材质、二次防护和排风能力

2）组织首次通气、换源、停供、开管等作业的步骤审查和双人确认

3）维护检测器、联锁、紧急切断和吹扫程序的测试计划

4）严禁未经评估更改气体/化学品路径、阀位逻辑和报警设定

5）异常报警或压降时先隔离介质，再按程序排查系统P&ID/台账；通气/换源作业记录；联锁测试记录；泄漏测试记录；MOC记录；异常处置记录45电气工程师负责生产设备及厂务电气系统技术安全，确保供配电保护、接地、隔离、联锁和维修作业符合安全要求。1）建立设备电气风险和关键保护清单

2）组织接地、绝缘、保护装置、配电柜温升和异常放电检查

3）审核设备电气改造、带电测试和临时用电方案

4）指导停电、验电、锁定挂牌、接地和防误送电

5）对电气故障、电弧和误动作组织原因分析电气检查/测试记录；改造评审单；停送电记录；临时用电审批；故障分析报告；整改验收记录46自动化/控制系统工程师负责PLC、SECS/GEM、设备控制及安全相关软件/逻辑的变更、备份和验证，防止软件修改造成安全联锁失效或误动作。1）识别安全相关I/O、联锁、报警和权限控制点

2）软件/逻辑变更必须评审、测试、版本管理并可追溯

3）禁止未经批准强制I/O、屏蔽安全输入或修改关键报警设定

4）维护控制系统备份、恢复和故障处置方案

5）参与设备异常和联锁失效调查控制逻辑变更记录；版本/备份清单；联锁验证记录；权限审查记录；故障处置记录47洁净室/HVAC工程师负责洁净空调、新风、循环风、压差和局部排风等系统安全运行，保障人员暴露控制和危险气体/化学品通风条件。1）监控洁净室压差、风量、温湿度和关键局排状态

2）涉及有毒/可燃介质区域的通风异常应按预案联动停机/疏散

3）维护高效过滤器、风机、风阀和排风系统，检修前识别污染残留

4）系统切换和风量调整前评估对危险工艺和气体检测的影响

5）对异味、风量不足和压差异常及时处置HVAC运行记录；压差/风量巡检；局排测试记录；检维修记录；异常处置单；系统调整评审记录48废气处理系统工程师/ScrubberEngineer负责酸碱、有毒、可燃及工艺废气处理系统安全运行，确保处理能力、联锁和排风满足上游工艺需求。1）建立上游废气类别、最大负荷和处理能力匹配关系

2）监控压差、流量、pH、温度、燃烧/等离子等关键参数（适用时）

3）处理系统故障时按联锁策略及时限制或停止上游相关工艺

4）检维修前对管线/设备残留进行吹扫、清洗、置换和检测

5）关注沉积、堵塞、腐蚀、自燃/反应性残留等风险并定期清理废气系统台账；运行参数记录；联锁测试记录；检维修/清洗记录；上游停机协调记录；异常分析报告49废水/化学处理设施工程师负责酸碱、含氟、含氨、含金属等废水收集、分流和处理设施安全运行，防止混合反应、泄漏、喷溅和有害气体逸出。1）按废水性质实施分流，禁止不相容废液误混

2）监控pH、液位、流量、药剂投加和通风状态

3）加药、清池、检修时识别酸碱、氧化剂、缺氧和有限空间风险

4）保持围堰、泄漏收集、洗眼喷淋和应急物资有效

5）异常反应、冒泡、升温、异味时立即停止进料并报告废水系统运行记录；加药记录；分流检查记录；泄漏/异常处置记录；检维修作业记录；应急设施检查记录50质量工程师/失效分析工程师负责检验、失效分析和实验活动安全，确保样品制备、化学分析、显微/激光/X射线等设备使用符合安全要求。1）开展实验室风险辨识，建立化学品、辐射/激光、高压高温等安全要求

2）样品制备和化学腐蚀使用适当通风和PPE

3）涉及X射线、激光等设备必须验证屏蔽和门联锁

4）不得擅自拆除防护或绕过联锁以获取测试数据

5）发现试验异常或人员暴露立即停止并上报实验室风险清单；试验安全规程；设备点检记录；化学品领用记录；异常/事件报告51质量检验员/测试技术员按检验和测试规程安全使用检测设备、探针台、老化/测试设备和工装，保持防护和联锁有效。1）测试前确认设备防护、接地、温控和联锁状态

2）高温、带电或机械运动部位不得在运行中擅自伸手调整

3）正确使用静电防护和必要PPE，保持测试区整洁

4）发现设备报警、烧焦气味、异常温升等立即停机报告

5）按规定处置破片、锋利晶圆和不合格样品检验/测试记录；设备点检记录；异常报告；PPE/ESD检查记录52化学品库管理员负责危险化学品接收、储存、领用、退库和库存控制，防止不相容物混存、容器破损、泄漏和火灾。1）核验标签、SDS、包装完整性和有效期

2）按酸、碱、氧化剂、易燃液体等危害和相容性分区储存

3）使用防腐托盘/二次围堰，保持通风、防火和泄漏应急设施有效

4）领用退库建立可追溯台账，控制现场最大存量

5）发现鼓包、渗漏、结晶、标签脱落等立即隔离并报告化学品收发台账；SDS清单；库房巡查记录；相容性分区图；异常物料隔离记录；库存盘点记录53特种气体/气瓶库管理员负责特种气体及普通工业气瓶的接收、储存、发放、空瓶回收和状态检查，防止错气、泄漏、倾倒和不相容气体混存。1）核对介质、标签、阀口、检验状态、保护帽和包装完整性

2）按可燃、氧化、有毒、腐蚀、惰性等类别分区并按要求保持间距/隔离

3）气瓶固定防倾倒，远离热源，保持通风和气体检测设施有效

4）收发执行双人核对，严防错瓶、错气和混用接头

5）泄漏或阀件损伤气瓶立即隔离并按应急程序处置气瓶收发台账；气瓶检查记录；库区分区图；双人核对记录；异常气瓶隔离/退回记录四、典型工艺、特种作业与一线岗位本部分覆盖晶圆制造、封装测试、气体化学品供应、环保设施、检维修、电气、动火、吊装、物流和危险作业监护等典型岗位，共25个岗位。序

号岗位/人员安全职责履职要点输出成果54洁净室生产操作员（通用）遵守洁净室、设备和岗位操作规程，正确使用PPE，不擅自处理特种气体/化学品异常，发现报警、泄漏、异味或人员不适立即报告和撤离。1）上岗前确认培训授权、PPE、设备状态和作业区域报警状态

2）按SOP操作设备，不屏蔽联锁、不打开受控防护、不跳过确认步骤

3）化学品使用后及时密闭，破片和锋利晶圆使用专用工具处理

4）发现气体报警、液体泄漏、异常烟雾、异味时停止操作并按疏散路线撤离

5）保持通道、应急出口、洗眼器/喷淋周边畅通岗位点检记录；生产操作记录；异常/隐患报告；培训授权记录；班组安全活动记录55光刻工艺操作员（Lithography）负责涂胶、显影、曝光等光刻设备安全操作，重点控制易燃/有害化学品、紫外/激光、真空和机械运动风险。1）开机前确认排风、化学品供应、门联锁和急停状态

2）光刻胶、显影液、清洗溶剂按SOP使用并及时密闭

3）不得打开曝光/激光受控区域防护或绕过门联锁

4）处理化学品泄漏时按规定撤离、上报并由授权人员处置

5）设备维护或开腔前确认残留物和能量隔离设备点检记录；化学品使用记录；异常报警记录；泄漏/事件报告；维护安全确认56湿法清洗/湿法刻蚀操作员（WetBench）负责酸碱、氧化剂及清洗化学品设备安全操作，重点防止化学灼伤、有毒气体逸出、混合反应和喷溅。1）确认局部排风、槽体液位/温度、泄漏监测和联锁正常

2）严格按配方和投料顺序操作，禁止不相容化学品误加/混加

3）佩戴规定耐化学手套、护目/面屏和防护服

4）化学品槽、管线、滤芯异常或泄漏时立即停机、撤离、上报

5）熟悉洗眼器/应急喷淋位置及化学品暴露初期处置设备/槽体点检记录；化学品操作记录；PPE检查记录；异常/泄漏报告；班组交接记录57干法刻蚀操作员（DryEtch）负责等离子刻蚀设备安全操作，重点控制有毒/腐蚀/可燃工艺气体、真空、高压RF、电气和反应腔残留风险。1）确认工艺气体供应、排风、气体检测、真空和联锁状态

2）不得擅自改变气体配方或绕过压力/真空/门联锁

3）气体报警、压力异常、腔体漏气等立即停机并按程序撤离报告

4）腔体维护由授权人员执行吹扫、置换、LOTO和残留评估

5）关注反应副产物沉积、腐蚀和清腔作业风险设备点检记录；工艺运行记录；报警/异常记录；维护前安全确认；事件/隐患报告58扩散/氧化炉操作员（Diffusion/Furnace）负责高温炉管、氧化/扩散设备安全操作，重点控制高温、特种气体、氢气/氧气、石英部件和自动搬运风险。1）开机前确认气体、排风、温控、门联锁和火焰/燃烧相关保护（适用时）

2）高温部件未冷却不得拆卸或接触，使用耐高温PPE和专用工具

3）执行气体吹扫、换气和停机程序，不跳过置换步骤

4）管路泄漏、温控失稳或异常燃烧立即停机撤离并报告

5）石英舟/管搬运防止破裂割伤和坠落炉管设备点检；温度/气体运行记录；异常停机记录；维护/冷却确认；PPE检查记录59CVD/ALD工艺操作员负责化学气相沉积/原子层沉积设备安全操作，重点控制自燃/有毒前驱体、特种气体、真空、高温和反应副产物风险。1）确认前驱体/气体供应、排风、真空、联锁和废气处理正常

2）换瓶/换源、补料和维护必须由授权人员按专门程序执行

3）不得擅自开启含反应性残留的腔体或管线

4）报警、泄漏、异常温升或真空失控立即停机并报告

5）维护前执行惰性气体吹扫、泄压、冷却和LOTO设备点检记录；前驱体/气体使用记录；报警异常记录；维护安全确认；事件报告60PVD/溅射工艺操作员负责物理气相沉积/溅射设备操作，重点控制高压/RF、真空、磁场、机械运动和靶材更换风险。1）确认真空、冷却水、门联锁、高压/RF联锁和机械防护正常

2）运行中不得打开真空腔体或进入机械运动危险区

3）靶材、腔体维护前停电、放电、泄压并等待部件冷却

4）使用重件搬运辅助设施，防止靶材/腔盖砸伤

5）发现冷却泄漏、电弧、异常真空立即停机报修设备点检记录；运行/报警记录；维护LOTO记录；重件搬运确认；异常报修单61离子注入操作员（IonImplant）负责离子注入设备安全操作，重点控制电离辐射、高电压、真空、特种气体和高温部件风险。1）确认辐射屏蔽、门联锁、高压联锁、气体供应和排风状态

2）未经授权不得进入受控区域或解除屏蔽/联锁

3）气体报警、辐射联锁异常、高压故障时立即停止运行并报告

4）维护前执行高压放电、LOTO、吹扫置换和辐射安全确认

5）按规定佩戴个人剂量监测用品（适用时）设备点检记录；辐射/联锁检查记录；运行异常记录；维护安全确认；剂量/授权记录（适用时）62CMP操作员负责化学机械抛光设备安全操作，重点控制浆料/化学品、旋转机械、夹挤、湿滑和维护清洗风险。1）确认防护门、联锁、急停、排水和化学品/浆料供应状态

2）运行中不得打开防护或伸手进入旋转/夹挤区域

3）更换垫片、部件或清理堵塞前执行停机和能量隔离

4）化学品和浆料泄漏及时围堵上报，防止地面滑倒

5）按规定佩戴化学防护和防滑PPE设备点检记录；浆料/化学品记录；泄漏清理记录；维护隔离记录；异常报修单63晶圆减薄/切割（Backgrind/Dicing）操作员负责晶圆减薄、切割等设备安全操作，重点控制高速旋转刀具、碎片飞溅、锋利晶圆、冷却液和机械夹挤风险。1）确认防护罩、门联锁、急停和主轴状态正常

2）运行中禁止开门、手动取片或进入运动范围

3）刀具/砂轮更换由授权人员按程序停机隔离

4）破片使用专用镊子/工具和防割容器处理

5）异常振动、刀具破损、冷却液泄漏立即停机设备点检记录；刀具/砂轮更换记录；破片处置记录；异常停机/报修记录64固晶/焊线/封装装配操作员负责固晶、焊线、装配等封装设备安全操作，控制高温加热、超声、机械夹挤、化学材料和静电风险。1）检查设备防护、急停、加热部件和ESD设施

2）不得在自动运行中进入机械运动区域

3）高温热盘、加热块未冷却不得直接接触

4）银胶/环氧等材料按SDS要求使用和储存，保持通风

5）卡料或故障停机后由授权人员处理设备点检记录；材料使用记录；ESD检查记录；异常/卡料处理记录65电镀/湿制程/塑封操作员（封装段，适用时）负责电镀、化学处理或塑封设备操作，重点控制酸碱/金属盐、加热、压力、挥发物和机械运动风险。1）按工艺配方确认化学品和槽体状态，禁止误加不相容化学品

2）佩戴耐化学PPE并保持局排、洗眼喷淋有效

3）塑封/加热设备运行时防止高温灼伤和机械夹挤

4）泄漏、异常反应、异味或温压异常立即停机上报

5）废液/废渣按规定分类收集设备/槽体点检；化学品使用记录；PPE检查记录；异常/泄漏记录；危废交接记录66成品测试/老化（Burn-in）操作员负责电性能测试、老化和可靠性运行，重点控制带电、高温、设备机械运动和异常发热/起火风险。1）测试前确认接地、防护、温控、风冷和门联锁正常

2）高温老化箱/测试板未降温和断电前不得拆装

3）发现焦味、冒烟、异常温升或电气故障立即切断电源并报告

4）禁止使用破损线缆、插座和临时违规接线

5）保持测试区消防器材和疏散通道畅通测试设备点检；温控/运行记录；异常停机记录；电气检查记录；维修报修单67化学品供应系统（CDS）操作员负责化学品桶槽、供应柜、泵、阀门和管路日常操作及换桶/换源，防止泄漏、误接、喷溅和不相容反应。1）换桶/换源前核对化学品名称、接口、标签和SDS并执行双人确认

2）确认二次围堰、泄漏检测、排风和紧急切断有效

3）使用规定化学防护服、手套、面屏等PPE

4）严禁带压拆卸、误开阀门或跨系统连接

5）泄漏、压降异常或接头损坏立即隔离、撤离并报告换桶/换源记录；双人核对记录；系统巡检记录；PPE检查记录；泄漏/异常处置记录68特种气体系统操作员/换瓶人员负责特种气体气瓶/容器更换、气体柜/VMB操作和系统巡检，严格执行双人确认、惰性气体吹扫、泄漏测试和联锁验证。1）作业前核对气体名称、瓶号、接口、压力和系统状态，执行双人确认

2）换瓶/换源按程序关闭、泄压、吹扫、拆装、检漏、复位，不得跳步

3）确认气体检测、排风、紧急切断和废气处理系统正常

4）有毒/自燃/可燃气体作业按规定配置呼吸防护和应急响应人员

5）气体报警、阀件泄漏、压力异常立即远程/就地隔离并撤离报告气体换瓶/换源记录；双人确认表；泄漏测试记录；联锁/排风确认记录；异常报警处置记录69大宗气体/液氮站操作员负责大宗气体、液氮储罐/汽化器及供气站日常运行，防止缺氧、富氧、低温冻伤、超压和车辆装卸风险。1）巡检储罐、阀门、压力、液位、汽化器、安全附件和放散口

2）装卸/充装时设置警戒，确认车辆驻车、接地和接口正确

3）液氮操作使用低温防护手套、面屏等PPE，避免密闭空间积聚

4）缺氧报警、异常升压或泄漏立即按预案处置并限制人员进入

5）未经批准不得堵塞、关闭安全放散设施站房巡检记录；装卸/充装记录；安全附件检查记录；氧含量监测记录；异常处置单70废气处理/LocalScrubber操作员负责废气处理设备日常巡检、药剂补充、清洗维护和异常响应，防止处理失效、腐蚀泄漏、危险沉积物和人员暴露。1）确认设备运行参数、排风、药剂/水路和报警状态

2）异常停机时及时通知相关上游设备停止危险工艺

3）清洗/更换滤芯/反应器前执行LOTO、吹扫、置换和残留评估