CN119472192A 一种异形工件多层协同光刻套刻对准系统及方法 （长春理工大学中山研究院）_第1页
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一种异形工件多层协同光刻套刻对准系统2所述异形夹具的外形为与样品台吸盘一致的金属托盘，异形夹具的内异形夹具的背面包括异形工件凹槽，异形工件凹槽尺寸与异条纹阵列位于异形夹具层对准标记和光刻掩模板层对光刻掩模板层、异形夹具层和工件层均具有角度偏移检测标记步骤A3：使用光刻掩模板上异形工件区域内的对准标记和3步骤A7：采用Lift_off工艺去除非标记区域的金属和步骤B1：初始粗对准：调整异形夹具层对准标记和角度偏步骤B3：角度偏差校正：利用光刻掩模板和异形工件所述初始粗对准步骤包括调整曝光机的四维位移载物台的纵向垂直、横包括检查光刻掩模板上的对准标记中心是否位于对准步骤包括检查异形工件上的对准标记中心是否位于光刻掩模板上对度偏差校正步骤包括检查异形工件上的角度偏移检测标记与光刻掩模板上角度偏移检测标记是否有夹角。45纹阵列，横向条纹阵列位于异形夹具层对准标记和光刻掩模板层对准标记下方或者上方，纵向条纹阵列位于异形夹具层对准标记和光刻掩模板层对准标记左侧包括检查光刻掩模板上的对准标记中心是否位于6[0018]图4为本发明实施例中异形工件上的角度偏移检测标记与光刻掩模板上的角度偏[0022]示例性的，本实施例提供一种用于非标准件的长宽高为56mm*14mm*1mm的长方形[0027]进一步的，光刻掩模板上异形夹具层对准标记位置对应的标记为4个长*宽为7十字标记，分布在异形工件槽周围的不同位置，其中至少有2对十字标记中心连线互相垂4个长*宽为0.2mm*0.05mm的十字标记，位于异形工件区域内的对准标记为4个长*宽为[0035]工件层对准标记和角度偏移检测标记是通过以下步骤形成8记重合无夹角。9

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