CN119487711A 稳定可调谐激光器设备的波长的方法、可调谐激光器设备和设有可调谐激光器设备的位置测量系统 （Asml荷兰有限公司）

2024.12.20PCT/EP2023/0694322023.07.13WO2024/037799EN2024.02.22谐激光器设备和设有可调谐激光器设备的位置可调谐激光器设备的波长通过以下各项进波长和第二波长之间扫描激光束以确定作为波差的函数的气体吸收单元的透射光谱和相变来为相变的函数的透射光谱与可调谐激光器设备2将来自可调谐激光源的激光束同时提供给具有机械稳定参考轴的第一干涉仪和气体使用所述激光束对从第一波长到第二波长的波长确定作为相对于所述第一波长的波长差的函数的所述气使用所述第一干涉仪来确定作为相对于所述第一波长的所述波长使用作为所述波长差的函数的所述气体吸收单元的所述透射光谱和所述相变来确定将所确定的作为相变的函数的所述透射光谱与所述可调谐激光器设备的经预校准的使用所述相位设定点来将所述可调谐激光器设备调谐到5.根据权利要求1所述的方法，将所确定的作为相变的函数的所述透射光谱与所述可6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，使用所述使用所述激光束对从第一波长到第二波长的波长使用作为时间的函数的所述气体吸收单元的所述透射光谱和所述相变来确定作为所将所确定的作为所述相变的函数的所述透射光谱与所述可调谐激光器设备的经预校使用所述相位设定点来将所述可调谐激光器设备调谐到8.根据权利要求7所述的可调谐激光器设备，其中确定作为时间的函数的所述气体吸39.根据权利要求7或8所述的可调谐激光器设备，其12.根据权利要求10或11所述的可调谐激光器设备，所述光刻装置中的所述设备包括使用拟合算法将所确定的所述透射光谱拟合到所述经预校准的透射光谱来将所确定的所15.一种位置测量系统，包括根据权利要求7所述的可调谐激光器设备和/或被适配为4[0002]本申请要求于2022年8月18日提交的EP申请22190984.9和于2022年9月8日提交的造集成电路(IC)。光刻装置可以例如将图案形成装置(例如，掩模)的图案(通常外(EUV)辐射的光刻装置可以被用来在衬底上形可以被用来监测例如由于热漂移而致的从预定位置激光器和用于确定激光波长的测量设备和/或方法。可调谐激光器控制系统包括用于计算5[0010]US20200182702A1公开了一种可调谐激光器系统，包括要在一定频率范围内扫描[0012]尽管US20200182702A1的系统具有所有这些特性，但是该系统使用引入延迟的反[0013]US20020043616A1公开了一种用于校准诸如宽可调谐激光器(WTL)之类的可调谐调谐参数发生变化并且比较两个信号的频谱来完6[0019]将来自可调谐激光源的激光束同时提供给具有机械稳定参考轴的第一干涉仪和[0023]使用作为波长差的函数的气体吸收单元的透射光谱和相变来确定作为相变的函[0024]将所确定的作为相变的函数的透射光谱与可调谐激光器设备的经预校准透射光[0029]将所确定的作为相变的函数的透射光谱与可调谐激光器设备的经预校准透射光[0039]使用作为时间的函数的气体吸收单元的透射光谱和相变来确定作为相变的函数[0040]将所确定的作为相变的函数的透射光谱与可调谐激光器设备的经预校准透射光7[0045]激光器设备可以被适配为使用在波长设定点下设定的激光束来测量设备在光刻[0048]处理器可以被适配为通过使用拟合算法将所确定的透射光谱拟合到经预校准透涉仪波长跟踪器的相位来实现激光波长稳定。提[0057]图2描绘了可调谐激光器设备[0058]图3A描绘了本公开的[0059]图3B描绘了组合各种输入以得到将波长跟踪器相位与绝对波长联系起来的示图[0060]图3C描绘了指示本公开的方法[0061]图4描绘了将波长跟踪器相位与绝对波长[0062]图5描绘了根据本公开的方法的激光器设备的操作模式下的可调谐激光器设备[0063]图6描绘了可调谐激光器设备的另8释为是指可以被用来向传入辐射束赋予与要在衬底的目标部分中产生的图案相对应的经编程反射镜阵列和可编程LCD阵列。[0066]“折射指数”(折射的指数)是根据真空中的光的速度与密度较大的第二介质中的光的速度的比率计算的值。折射指数变量可以在描述性文本和数学方程式中由字母n或n'这些方法的效用是在维持准确性的同时还可以进interferometryforprecisionmeasurements”(会议论文；ProceedingsoftheAmericanControlConference；2013年6月；DOI:10.1109/ACC.2013.6580402；Daniel立方体的面)入射的光的一半被反射而另一半由于FTIR(受抑全内反射)而被透射。诸如沃使得以45度角入射并且未被涂层或衬底材料吸收的光的一部分(通常为一半)被透射而其9的吸收系数或由气体与光的交互产生的一些其他效应(诸如频率相关相变)允许与参考束许多不同的气体的气体参考单元。典型示例是碘(I2)、氢(H2)、氦、一氧化碳(CO)和乙炔(C2H2(Rb)或铯(Cs)之类的碱金属，其至少当被电加热到一些适当温度时产生足够高的蒸气压。和/或诸如使用浸没液体或使用真空之类的其他因素而定涵盖各种类型的投射系统，包括在通过引用并入本文的US6952253中给出关于撑件WT上的另一衬底W用于在另一衬底W上曝光投射系统PS的一部分或提供浸没液体的系统的一部分。当衬底支撑件WT远离投射系统PS[0081]操作时，辐射束B入射在保持在掩模支撑件MT上的图案形成装置(例如，掩模)MA位置传感器(可能的另一位置传感器在图1中未明确地描绘)可以被用来相对于辐射束B的[0087]结合上述速率表达式和折射指数的定义，真空中的波长λ0＝c/f与除真空之外的设介质的折射指数对于机械超稳定波长跟踪器和测量系统中的干涉仪轴[0093]激光器2可以连接到控制器3以控制或调谐激光束4的波长或频率。该控制器又可激光波长从第一波长扫掠到第二波长和/或将激光波长从第二波长扫掠到第一波长。设定点轨迹生成器的输出可以经由加法器或加法设备7提供给控制器。加法设备能够将反馈信[0094]波长调制可以通过激光器的开环控制(通常通过改变激光器腔的温度)或在闭环中未描绘)或通过将波长跟踪器的相位控制到期望设定点轨迹(如图2所描绘的)来调整激光器的波长。设定点生成器也可以在开环或闭环中直接连接到激光器的调谐元件(通常，[0095]在例如于2021年9月20日的论文期刊中公开并且以数字方式于2021年8月5日公开[0096]激光束被引导到第一分束器6。第一分束器将束4的一个部分引导到干涉仪设备8将入射在干涉仪设备8上的光的一部分引导到第一干涉仪20而将光的第二部分引导到第二型外壳中通过采用在测量腔中具有多个通道的折叠束干[0104]第一干涉仪和第二干涉仪各自的第一输出信号34和第二输出信号44可以分别提[0105]PMB的输出52还可以包括第二干涉仪22中的两个反射的第二相位差，以允许设备准光谱通常在具有现有技术准确性的受控实验室环境中产生，所以本文中的所述波长λ还谱58。本文中调谐激光器意指例如控制激光源制为波长跟踪器相位54(ΦWLT)的函数。本文中，如果波长跟踪器相位如使用函数84(参阅图4)确定的设定点波长λ的波长跟踪器相位设定点(Φ[0116]图3B一般性地指示了指示吸收单元10的所测量的输出58和波长跟踪器的输出54合两个输出54和58以得到指示作为波长跟踪器20的相位差ΔΦWLT的函数的吸收单元强度I[0117]如果我们不假设线性波长轨迹，则所跟踪的测量气体透射58和WLT相位54都作为[0118]函数88可以拟合到作为绝对波长的函数的吸收单元强度I的经预校准示图64。拟[0119]合适拟合方法可以包括但不限于YuanWen_quan等人的“Anovellaser[0120]图3C以图解方式指示将函数88拟合到作为绝对波长λ的函数的吸收单元强度I的通常任何可识别部分彼此拟合。拟合得到波长跟踪器相位差ΔΦWLT与绝对波长λ的关系84[0122]请注意，图5的系统还可以包括并且在实践中通常用于测量选定装备40的移动和passhigh_efficiencysum_frequencygenerationofabroadbandorangelaserin输入激光器或通过同时调谐两个输入激光器来获得波[0130]该方法首先根据分子吸收气体单元10的光谱吸收光谱校准机械超稳定干涉仪轴波长跟踪器信号中保持恒定相位的控制环路防止出现[0132]激光器光被用作最好具有长OPD的高稳定相位干涉仪轴(干涉仪20的轴)的输入。[0135]步骤3：定义稳定参考轴的新相位设定点，以将激光器调谐到期望激光频率或波[0140]本文中的超稳定可以涉及例如使用具有5×10_17热噪声极限的光学腔的系统。这[0143]US20200182702A1描述了一种可调谐激光器系统，其中在一定频率范围内对激光光程长度差。塞曼稳定和双模稳频HeNe激光器显示出大约100kHz的不稳定性和优于几MHz或源自折射指数噪声的波长稳定性噪声，可以使用根据本公开的专用波长跟踪器来操作[0151]其他合适的可调谐激光源包括各种类型的倍频激光器，量或处理诸如晶片(或其他衬底)或掩模(或其他图案形成装置)之类的物体的任何装置的并且这样做时可以使得致动器或其他设备与物理[0160]将来自可调谐激光源的激光束同时提供给具有机械稳定参考轴的第一干涉仪和[0162]确定作为相对于所述第一波长的所述波长差的函数的所述气体吸收单元的透射[0163]使用所述第一干涉仪来确定作为相对于所述第一波长的所述波长差的函数的相[0164]使用作为所述波长差的函数的所述气体吸收单元的所述透射光谱和所述相变来[0165]将所确定的作为相变的函数的所述透射光谱与所述可调谐激光器设备的经预校[0171]5.根据条款1所述的方法，将所确[0181]使用作为时间的函数的所述气体吸收单元的所述透射光谱和所述相变来确定作[0182]将所确定的作为相变的函数的所述透射光谱与所述可调谐激光器设备的经预校[0185]8.根据条款7所述的可调谐激光器设