CN119488960A 一种微液滴驱动芯片及其制备方法 （北京机械设备研究所）_第1页
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文档简介

本发明涉及一种微液滴驱动芯片及其制备术中的采用PCB技术制作的芯片在液滴驱动方面每个电极分别覆盖PCB基板上对应的导孔；通过2在PCB基板上制备紧密排列的多个电极以形成电极层，并在抛光处理后的电极层表面依次制备介质层和疏水层，获得微液滴驱动芯片的下极在电极层涂覆预设厚度的改性环氧树脂胶后，对涂34[0002]片上实验室(LabonaChip,LOC)是指将功能各异的多个单元或模块在微尺度上上实验室核心关键是数字微流控技术，即在微型器件中进行的离散液滴的产生和控制技衬底大多采用ITO(氧化铟锡)导电玻璃制备。但是，在要完成具有一定复杂度的实验内容衬底上制备大规模的阵列化电极的一大瓶颈。另一种基于薄膜晶体管(TFT)技术制备的芯会存在击穿的风险，并且由于片上实验室芯片大多数参与实验的液体为高浓度的盐溶液，5[0017]基于上述方法的进一步改进，在PCB基板上制备紧密排列的多个电极以形成电极6均设置为凹凸形状，能够保证液滴在其移动路径上同时与相邻的两个独立电极都有接触，7并分别通过填充的方式将导孔3以及电极2之间的缝隙填平，实现了电极层表面的粗平整从而控制液滴移动或分裂，如图4和5中所示的边缘为凹凸形状的电极2可以使液滴在两个独立的电极2上都有接触，在转换操控电极2的时候可以使得液滴更容易进行驱动(若只在孔工艺使用树脂将导孔3(盲孔)塞住后再的材料收缩和孔内吹气等问题导致饱满度低的问题，并且能够平衡压合的介质层6厚度控8的改性环氧树脂胶进行高温固化处理时，将处理温度设置为110℃至120℃,处理时间设置9[0092]对采用本发明实施例的方法制备好的下极板的表面粗糙度以及填充后的缝隙与电极2表面之间的高度差异进行测试，得出采用该下极板的微液滴驱动芯片在液滴驱动方[0101]所述微液滴驱动芯片的上极板采用如下方法制备：在ITO导电玻璃基板上制备第[0102]本发明实施例的微液滴驱动芯片，基于PCB工艺制备，采用PCB基板1作为芯片衬任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，

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