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文档简介

准分子激光器可用于半导体光刻工艺中国家政策支持推动行业发展速度加快准分子激光器，指以准分子为工作物质的一类气体激光器。准分子激光器具备波长可调谐、量子效率高、分辨率高、能量大、增益高等特点，在显示面板、半导体、医疗卫生以及工业加工等领域有所应用。按工作气体介质不同，准分子激光器可分为氧化物准分子激光器、稀有气体卤化物准分子激光器等。

近年来，国家对于高性能激光器行业发展高度重视，已出台多项相关政策，主要包括《关于推动未来产业创新发展的实施意见》、《产业结构调整指导目录（2024年本）》、《工业母机高质量标准体系建设方案》、《关于推动能源电子产业发展的指导意见》等。未来伴随国家政策支持，准分子激光器作为高性能激光器代表产品，行业发展速度有望加快。

准分子激光器应用范围较广，主要包括显示面板、半导体、医疗卫生以及工业加工等。在显示面板领域，准分子激光器可用于柔性OLED显示面板退火工艺中；在半导体领域，其可用于半导体光刻工艺中；在医疗卫生领域，其可用于眼科屈光手术、皮肤科治疗等场景；在工业加工领域，其可用于微型零件加工、激光退火以及表面处理工艺中。

根据新思界产业研究中心发布的《2026-2031年准分子激光器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，伴随全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2026年1-5月我国集成电路产量达到2286亿块，同比增长25.4%。目前，ArF准分子激光器作为深紫外（DUV）光刻机的核心光源，已在集成电路加工过程中获得广泛应用。未来伴随下游行业景气度提升，我国准分子激光器市场空间将得到进一步扩展。

北京科益虹源光电技术有限公司、合肥意克赛激光科技有限公司、深圳盛方科技有限公司等为我国准分子激光器市场主要参与者。科益虹源专注于准分子激光器的研发、生产及销售，产品已在半导体光刻工艺中获得广泛应用。

新思界行业分析人士表示，准分子激光器作为脉冲激光光源，具备波长短、能量高等优势，已在众多高新技术领域获得广泛应用。未来伴随我国半导体产业发展速度加快，准分子激光器市场空间将得到进一步扩展

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