CN119496041A 一种双电源驱动垂直腔面发射激光器及其使用方法 （中国工程物理研究院激光聚变研究中心）_第1页
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一种双电源驱动垂直腔面发射激光器及其本发明涉及一种双电源驱动垂直腔面发射其以阴极放电击穿放电腔内放电气体产生的低术无法实现大口径VCSEL，从而输出功率受限的2等离子体电极与所述第二面电极分别与驱动电窗口与所述绝缘层之间形成所述放电腔，所述阴极以及所述阳极均位于所述放电腔内部，4.根据权利要求1或3所述的一种双电源驱动垂直腔面面电极为等离子体电极，所述第二面电极为P面电极，所述P面电极为Ti/Au或Ti/Pt/Au结9.一种采用如权利要求1_8任一所述双电源驱动垂直腔面发射激光器的使用方法，其电场作用下从材料表面射出并被加速，在电子朝向阳极运动过程中与放电气体的分子/原S200、在等离子体电极与第一面电极之间，或3速度快等诸多优点被广泛应用于光纤通信领体产生的低温等离子体作为电极，所述等离子体电极位于垂直腔面发射激光器的出光侧，4在强电场作用下从材料表面射出并被加速，在电子朝向阳极运动过程中与放电气体的分图4是本发明实施例中双电源驱动垂直腔面发射激光器另一种实施方式的示意5没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。第二面电极为等离子体电极，所述第一面电极1为N面电极，所述N面电极为Au/Ge/Ni、6的电子在强电场作用下从材料表面射出并被加速，在电子朝向阳极7运动过程中与放电气789

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