CN119517839A 晶圆转移装置及晶圆转移方法 （北京子牛亦东科技有限公司）

开发区科谷一街10号院6号楼3层305-本申请公开了一种晶圆转移装置及晶圆转夹持晶圆的收紧工位和用于拾放晶圆的张开工2其中，当所述夹持组件处于所述收紧工位时，所述凹槽结构驱动组件，所述驱动组件与所述夹持组件连接，用于保持所述夹持直于所述重力方向的第一方向以及平行于所述重力方向的第述红外传感器的检测端的顶部与所述凹槽结构的底壁之间沿垂直于所述底壁的方向间隔提供待移动晶圆，所述待移动晶圆位于载台的承载面上，且所述待移动通过如权利要求1_8任一项所述晶圆转移装置实现对所述待移动晶3驱动所述夹持组件处于所述圆周方向与重力方向相切的状态，并驱动所述夹持组件沿第一方向移动，以使所述待移动晶圆位于驱动所述夹持组件处于收紧工位，并驱动所述夹持组件沿第二方移动晶圆的中心靠近所述承载面一侧的所述凹槽结构的底壁所述夹持组件中，位于所述待移动晶圆的中心远离所述承载面一侧4[0003]本申请的目的是至少解决晶圆转移装置在转移晶圆的过程中容易造成晶圆损坏避免造成晶圆内部应力受损而导致晶圆在工序工艺中破片，即有助于提升晶圆的转移良5通过本申请第一方面提供的任意一种晶圆转移装置实现对所述待移动晶圆的夹驱动所述夹持组件沿第一方向移动，以使所述待移动晶圆位于所述夹持空间内，6心靠近所述承载面一侧的所述凹槽结构的底壁7这种空间相对关系术语意于包括除图中描构11的夹持部112沿圆周方向c围合形成夹持空间A，夹持部112包括由朝向夹持空间A的一当夹持组件1处于收紧工位时，凹槽结构113的侧壁1132靠近夹持空间A的端部外切于第二82mm_3mm深度范围的凹槽结构113可避免晶圆脱出9[0044]上述实施方式中，可将伸缩臂111中不用于伸缩的一端即并可在固定区b形成用于容纳支撑杆114的端部以及伸缩臂111的固定端的外壳，以对固定可通过限位部1141限定伸缩臂111在收缩时的极限行程，使得夹持组件1在处于收紧工位测端的顶部与凹槽结构113的底壁之间沿垂直于底壁的方向间隔第一预设距离，第一预设上述实施方式中，通过在晶圆转移装置10中设置磨损监测装置以对夹持部112的圆放置于夹持空间A内后与凹槽底壁接触后会较磨损之前发生下移。夹持部112磨损之前，红外传感器15中的红外发射器发射的红外线遇到位于凹槽结构113内的晶圆后，部分光线被反射回来，由红外接收器接收并转换为电信号因此可以判断晶圆存在于红外线的光路感器15的检测端的顶部与凹槽结构113的底壁之间沿垂直于底壁的方向间隔第一预设距设距离大于晶圆与上方的凹槽结构113的底壁之间预留的距离（例如2mm±0.2mm从而对结构113的底壁之间沿垂直于所述底壁的方向的距离，由于晶圆与位于晶圆上方的凹槽结构113的底壁之间间隔2mm±0.2mm时，第一预设距离的范围应大于晶圆与位于晶圆上方的范围为第一预设距离与晶圆与位于晶圆上方的凹槽结构113的底壁之间[0056]在上述实施方式中，红外传感器15的检测端的顶部与凹槽结构113的侧壁1132平[0059]S400，通过上述实施方式中提供的任意一种晶圆转移装置10实现对待移动晶圆3夹持组件1中，位于待移动晶圆3的中心远离承载面一侧的凹槽结构113的底壁与