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文档简介
1、MPM/UP2000保養手冊,2003/04/18,MPM,概述,每日维护 每周维护 每月维护 季度维护,维护所需要工具,螺丝刀（一字和十字） 内六角匙（英制） 注油枪（注黄油） 润滑油（黄油） 无尘纸或毛布 毛刷 无水酒精,每日维护内容,1. 检查输送带(Transport track conveyor belts) 2. 检查调节宽度皮带（Track width timing belt） 3. 检查轨道（Transport tracks） 4. 检查宽度调节螺旋杆（Lead screws, track width） 5. 检查轨道轴承（Bearing shafts(track width)
2、） 6. 检查轨道感应器（I/O sensors, transport track） 7. 检查真空挡板（Vacuum chuck support plates; vacuum chuck side plates） 8. 检查真空端口（Vacuum hold-down ports） 9. 检查平台（Work holder(worknest plate)） 10. 使用溶液清洁工作台表面。 11. 使用溶液清洁真空口端的锡膏残渣堆积物。 12. 使用溶液清洁挡板的表面。 13. 清洁前后挡板的夹子(clamp wedges),每日维护内容,每周维护,1. 打开盖子和前后门。 2. 检查真空挡板 3. 检查核实气压值：80psi (5.52bars) 4. 检查清洁所有风扇和过滤网,1. 检查清洁Y轴螺旋杆。 2. 检查清洁构架组成
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