微机型数显复合真空计使用说明书

1、内容1.安全说明.12.技术参数.23.工作原理.34.性能概述.45.使用概述.56.监管绩效概述.77.监管形状和安装.108.真空计和调节器之间的连接.129.真空计启动和显示说明.1310.如何使用真空计.1310.1如何使用电阻器2装置.1310.2使用电阻1和电离复合单元的方法。11、真空计脱气.17*12。控制功能和设置方法.17*13、控制输出.18*14。扩展函数.20底盘规格.2215.附录调节界面.24常见问题.27*内容是可选的功能描述，只有该功能被选中且相应的配置有效1.安全声明为保证真空计的正常功能，使其具有高精度、稳定性和长寿命，请按照本手册规定的允许值和使用条件

2、进行操作和使用。要操作、维护和维修真空计时器，请遵守电气设备的安全规范。避免在大气压下打开电离规灯丝，否则会灼伤电离规灯丝。当真空系统或管道中存在真空时，避免强行拆除管道。避免为具有“正压”的真空系统安装普通管道，而应安装具有“正压”的管道。避免真空系统中的腐蚀性气体腐蚀电阻计的传感线和电离计的电极，以延长电离计的使用寿命。采取适当措施防止误操作或不允许的损坏。如果我们没有按照本手册操作，我们将不承担任何责任；真空计及其附件的保证条款也将无效。本手册使用符号来解释：注：表示必须遵循的信息。不遵守可能会导致人身伤害和真空计损坏。表示重要的附加信息和技能或建议。炫辰钛保留改善和改变产品外观和设计的

3、权利，恕不另行通知，产品和配件以实物为准。2.技术参数2.1阻力装置的技术参数：配有：zj-52t型电阻表电阻表传感线的冷阻值(86.5 1.7)真空度的测量范围(干燥空气或氮气)1.0105 2.5103可测范围。2.5103 5.010-1不超过显示值的30%5.010-1 1.010-1可测量范围。有效控制范围为2.5103 5.010-1帕。2.2电离单元技术参数：测量范围：51pa可测量范围1 510-5 pa不超过显示值的50%可测量范围为510-5 110-5帕配备：zj-27型电离规调节灵敏度为：0.1515% pa-1。调节加速电极(栅极)地电位：225v3%测量阴极(灯丝)

4、中心点对地电位：25v5%。收集极到地电压：0v。发射电流：100ua3% 5 110-1pa1ma3% 110-1110-5帕离子电流放大器指示误差：5 110-4帕不大于5%110-4 110-5 pa不超过10%调节脱气模式：焦耳脱气。有效控制范围：1 pa 510-5 pa2.3其他参数控制输出模式：继电器触点接通和断开输出。每组输出是一对常闭和一对常开。控制负载：交流220伏/1a(dc28v/5a)无电感负载。工作电源：ac220v10%/50hz。功率：最大功率约为40w。工作环境温度：0 450工作相对湿度85%。底盘规格、开口尺寸和重量见附录。3.工作原理3.1阻力装置的工作

5、原理电阻单元采用导热电阻真空计(也称为皮拉尼真空计)，基于该真空计的火线通过电流的温度随真空(压力)而变化。热线的电阻因温度的变化而变化。因此，真空度通过测量电阻的变化来测量。3.2电离计的工作原理电离单元采用热阴极电离规。基于这种规范，在低压(真空)下，电离管的灯丝通过电流被“加热”而发射电子，所以它被称为热阴极电离规范；同时，dc高压被施加到电离规的加速电极，使得电子在规电极之间产生的电场中被加速，以轰击气体分子使其电离，电离产生的正离子被收集电极接收。离子流量与气压p的关系；i=kiepk是仪表灵敏度，i是离子电流，ie是发射电流，p是真空系统中的压力(真空)。3.3复合真空计由电阻规管

6、、电离规管和电子电路组成。电阻单元电路完成电阻表热线恒温功率的调节、测量电桥随真空度变化的电压信号的采样和放大、模数转换成数字信号。电离单元电路的一部分提供电离规管所需的工作电压和发射电流的稳定性；另一部分完成离子电流的检测和放大，并通过模数转换转换成数字信号一方面，以微处理器为核心的数字电路完成电阻单元真空数字信号的非线性处理和运算，最终送到显示器显示；一方面完成电离单元的数字信号采样和计算，并送至显示器显示；同时，完成离子迁移和发射电流转换之间的自动切换。另一方面，接收前面板的各按键指令或后面板的外部控制信号指令，并发出相应的执行指令；同时输出真空控制信号、真空度模拟信号和计算机通信信号。

7、工作原理图如下：电流抵抗规则2推测数量桥梁道路调节电路模数转换系数转动变化(a/d)调节电路测量桥梁道路电阻表1微处理器地方理由器官控制输出模拟输出计算机端口输出外部控制信号按键输入班长电源交流电模式数转换(承兑交单)离子电流放大稳定发射回路调节灯丝电流离开规则管收集杆dc高压增加速度设置真空计电路工作原理框图4.性能概述：复合真空计：采用特殊稳定的处理工艺，用热容量极小的金属线作为真空敏感元件的阻值，从而在很大程度上降低了零点和满度的漂移。采用特殊的恒温工作模式，使其电阻单元具有更宽的测量范围和更快的响应时间。采用高稳定性和高性能的dc高压稳压和稳定发射电路，保证电离规各项参数的稳定运行。采

8、用独特的真空离子流采样放大电路和保护电路，保证了采集电路对瞬态电压的强衰减，使真空测量更加稳定可靠。全部采用进口微处理和数字接口芯片、模拟和数字分离技术、光电隔离技术、数字滤波等新技术，确保真空计具有较强的抗干扰能力。采用优化的自动切换技术，确保真空计自动量程切换平稳可靠。自动关闭技术电阻单元2是一个独立的工作单元，显示在真空计前面板的左窗口中。适用于泵机组前级管路或其他位置的粗、低真空测量和控制。电阻1和电离的组合是一个复合单元，显示在真空计前面板的右窗口。在自动模式下，电阻1可以自动打开和关闭电离规，以实现对真相的连续测量和控制：(该模式要求电阻1和电离规的安装位置之间没有压力(真空)差，

9、就像在同一个真空室中一样。)。当该组合处于手动模式时，可以通过手动打开和关闭电离规来测量和控制电阻1和电离规，而不受安装位置的限制(例如不在同一真空室中等)。)。在这种组合中，电离规也可以通过外部控制端口的可编程逻辑控制器信号关闭，从而实现真空系统在放气和减压前关闭电离规，避免点燃的电离规灯丝在低真空下氧化，延长规管的使用寿命；同时，在真空系统恢复抽真空后，它被设置为自动程序以自动打开电离计。控制点的设置和自动/手动模式测量的自由切换可通过前面板完成。可以通过前面板的校正孔来校正电阻单元的零点(真空)和全度数(大气压力)。脱气功能等操作可通过面板完成。真空计前/后面板功能图：zdf-x-发光二

10、极管前面板zdf-x-发光二极管后面板zdf-x前面板zdf-x后面板6.监管绩效概述：复合真空计采用zj-52t电阻计和zj-27热阴极电离计。6.1电阻表性能概述：zj-52t电阻表(又称皮拉尼表)采用特殊的稳定化工艺，以热容量极小的金属丝作为真空敏感元件，并在喷嘴处内置环境温度补偿电路和防尘装置。它具有量程宽、性能稳定、响应快、抗污染、抗氧化、漂移小、使用寿命长的特点。适用于粗真空和低真空测量，即测量1.0105帕至1.010-1帕的大气压力。电阻计(皮拉尼计)通过气体分子热传导检测真空。在低压(真空)下，气体的传热量与气体摩尔质量、气体分子温度、热线表面等有关。因此，不同种类的气体对电

11、阻计的灵敏度不同。电阻计被设计成使用干燥空气(或氮气)来校准工作曲线。因此，在真空环境中，其他气体曲线和修正系数以及相对空气(氮气)的等效氮气压力公式如下：(仅供参考)peff(等效真空)=kp(显示真空)6.2电离规性能概述在zj-27电离规(也称为宽量程电离规)中，阴极灯丝采用贵金属氧化物来增强阴极的抗氧化能力，从而提高承受瞬间大气冲击的能力，延长电离规的使用寿命。热阴极电离规的电离/电离与真空之间的关系曲线如下图所示：如图所示，当真空度进一步降低时，i /ie将在下午达到峰值，然后急剧下降。这种现象被称为二元现象。zj-27电离规的峰点(或双点)约为5.0帕因此，当打开电离规进行测量时，

12、真空度应该高于该点。如果真空度低于该点，此时会发现真空度显示异常。如果真空度变得更高，系数应该降低，但它反而增加，或者真空度异常高。虽然zj-27电离规采用了抗氧化阴极灯丝，但高温灯丝在低真空下长时间工作(氧分压较高)时容易氧化，并逐渐降低发射能力，从而缩短了电离规的使用寿命。因此，应采用最佳真空系统操作程序，以缩短在低真空区的停留时间。保持它在高真空区工作。或者在不需要测量时暂时关闭电离规安装前，玻璃外壳电阻表可与电阻单元连接，确认零点是否正确或零点是否正确，然后启封安装。采用垂直安装。水平安装可能带来测量偏差。7.2.2电离规的安装说明应首选垂直安装。远离有油气的位置(如扩散泵回油处)，防

13、止油气在遇到高温灯丝时开裂，改变调节的灵敏度和特性，延长调节的使用寿命。远离高能离子或电子的位置，或屏蔽衰减真空系统中的高能离子或电子进入仪表，轰击仪表电极，加速仪表电极老化，缩短仪表寿命。在安装调节管时，应避免出现泄漏孔，否则，轻微的泄漏会导致调节管局部产生压差，从而带来较大的测量偏差。8.真空计和调节器之间的连接8.1真空计和电阻计的连接图将电阻计电缆(五芯插头)连接并拧紧到仪器后面板上电阻计的1/2插座上，并将电缆的另一端(八针插座)连接到电阻计的八针插头上。8.2真空计和电离计的连接图将电离规电缆(四芯插头)连接并拧紧到仪器后面板上的电离规插座上，并将电缆的另一端(八针插座)连接到电离规八针插头上。同时，将收集器电缆(bnc插头)连接到仪器后面板上的收集器插座上，夹具的另一端连接到玻璃量规收集器管或金属量规管第一脚的引出线上。9.真空计启动和显示说明：确保所有连接正确后，真空计可以通电，显示屏显示。电阻2单位电阻1和电离化合物单位2.00e2系数位表示10指数符号位 或-指数位例如，左侧窗口显示：表示真空度为2.0102帕=200帕“-”在指数符号为负时显示，而“-”在指数符号为正时不显示。10.真空计的使用方法10.1电阻器2的使用单位：电阻器2是一个独立的单元。真空计打开后，此时应设置电阻单元2(如果该功能可