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文档简介

1、四探针法测量不规则半导体的电阻率，一个实验目标，两个实验原则，三个实验步骤，四个注意事项，五个经验，实验目标，1。测量不规则半导体的电阻率。验证四探针法的修正公式。理想情况下，四个探针位于样品中心，电流从探针1流入，从探针4流出，因此探针1和4可视为点电流源。2.3个探头的电位差为：半无限样品点电流源的半球形等电位面，实验原理，由此可以得到样品的电阻率为：薄层电阻率测量样品的厚度不能忽略，因为它与探头间距相比较，测量时应提供样品厚度形状和测量位置的修正系数。在下文中，考虑了一般的校正：当圆形硅片的厚度满足w/s0.5时，电阻率为：这是我们实验中使用的公式。实验数据验证了修正公式的正确性。测试准

2、备：电源开关处于断开位置，工作选择处于“短路”位置，电流开关处于弹出和切断位置。将测试样品放在样品架上，调整手轮的高度，使探针与表面保持良好接触。2.打开电源，预热几个小时。3。在顶部设置极性开关，将工作状态选择开关设置为“短路”，拨动电流和电压范围开关，并将其设置在适合样品测量的电流和电压范围内。调整电压表的粗调和微调，使显示归零。显示面板2、单元显示灯3、电流范围开关4、工作选择开关(短路、测量、调整、自校准选择)5、电压范围开关6、输入插座7、零点调整微调8、零点调整粗调9、电流调整10、电源开关11、电流选择开关12、极性开关6。将工作状态选择开关设置为“测量”，并按下它。将极性开关转

3、到下部(负极性)，按下电流开关，读出测量值，并对两个测量值求平均值，这是样品在那里的电阻率值。如果“”极性发出闪烁信号，则测量值已超过该电压范围，因此电压范围开关应设置为更高的电平，读取后应退出电流开关，数字显示将恢复为零。用修正公式对实验数据进行修正，与预期实验结果一致，验证公式较为理想。注意事项：1。电流范围开关和电压范围开关必须放置在下表所列的任何一组相应范围内；2.对于电阻(伏安)测量，用四端测量夹具更换下一个探针测试架，按照下图连接样品，选择合适的电压和电流范围，将电流值调整到10.00，并读取该值作为实际测量的电阻值。3.阻断电阻测量。当电流调整到4.53时，读取值是实际块电阻值的10倍。4.薄层电阻率测量：当薄层厚度为0.5毫米时，按公式(3)进行；当板材厚度为0.5毫米时，按照公式(4)进行。5.当仪器中断测量时，应将工作选择开关设置为“短路”；当前开关处于弹出关闭位置。首先，通过对四探针法的研究，我们探索了测量电阻率所需的校正函数(厚度校正函数和形状及测量位置校正函数)。其次，我体

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