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文档简介

1、Tuesday, July 21, 2020,Laser -Y轴平行度校正,Lee Shen 2009-4-15,Tuesday, July 21, 2020,Riser(Y轴),图上所示的就是要调平行的Y轴,Tuesday, July 21, 2020,Y轴平行度的必要性:, 1.在传送中保持玻璃的平整 2.保证玻璃不被拉扯变形,Tuesday, July 21, 2020,Y轴调平行度的仪器 RENISHAW激光干涉仪(XL-80),Tuesday, July 21, 2020,量測光學鏡組,輕型鐳射頭 (XL-80),电脑,補償器系統 (XC-80),XL-80 鐳射系統,Tuesday

2、, July 21, 2020,XL 系統組件介绍:1.XL-80 鐳射系統2. XC-80 补偿器和传感器3. XL 系統 的專用套裝軟件,Tuesday, July 21, 2020,1. XL-80 鐳射系統,1.鐳射頻率穩定性規格為 1年內 0.05 ppm,1小時 內 0.02 ppm。 這種優異的性能是通過動態熱控 制將鐳射管長度限制在奈米以內而完成的。 2.在整個環境範圍內,即 0 - 40 C (32 - 104 F 650 - 1150 毫巴,保證 0.5 ppm 的線性量測精 度。讀數以 50 kHZ頻率讀取,最高線性量測速度 可達 4 米/秒,線性解析度達 1 奈米;即便

3、是在 最高速度下,Tuesday, July 21, 2020,LED指示灯:,LED 狀態指示燈头表示鐳射狀態和信號強度,为软件的“萤幕”指示器提供後備支援。,Tuesday, July 21, 2020,2. XC-80 补偿器和传感器,XC-80補償器是XL系統量測精度的一個關鍵因數。補償器具有一個處理源讀數“智慧型感測器”,可非常準確地量測空氣溫度、空氣壓力和相對濕度,Tuesday, July 21, 2020,3. XL 系統 的專用套裝軟件, LaserXL 软件, QuickViewXL 软件,Tuesday, July 21, 2020,LaserXL 软件,LaserXL

4、軟體包括線性、角度、旋轉軸、平坦度、真直度和垂直度量測模組以及動態量測能力。,Tuesday, July 21, 2020,QuickViewXL 软件,QuickViewXL 是一種理想的研發工具,因為該工具能夠快速、簡單地對運動系統進行既時檢查、審視及狀況。,Tuesday, July 21, 2020,Y轴平行度校正步骤:,Tuesday, July 21, 2020,第一步:安装镭射系统,将基座安装在Y轴前端 并将镭射系统安装在基座上方固定,Tuesday, July 21, 2020,第二步:安装补偿传感器,一根连接线放置在腔体墙壁上 (为了检测腔内的温度) (要求温度在25C正负0

5、.5C),另一根连接线放置在大理石基座上 (为了检测腔内的湿度),检测湿度的头,Tuesday, July 21, 2020,第三步:安装光学镜头系统,在右边的RISER上安装反射及透射光学镜组,在左边的RISER上安装 反射光学镜组,Tuesday, July 21, 2020,第四步:激光预热及调整其信号,将激光源预热6分钟,将5个红色的信号灯调节成绿色 (说明信号已调节为最大的了),Tuesday, July 21, 2020,第五步:激光源及两个光学镜头调成一直角,激光源,Tuesday, July 21, 2020,第六步:启动两根RISER(Y轴),激光源,Y轴有前向后运动 每过300毫米电脑 会记下一个数据,调试人员在根据 电脑的数据来调 节其平行度,Tuesday, July 21, 2020,第七步:调节平行度,1.工具,调节基座器,调节扭矩器,Tuesday, July 21, 2020,2.方法,将基座调节器放置在Y轴和气垫座间,两边各一个

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