无尘室设计规范.ppt

1、0,無塵室设计規範,资料整理：金田净化 ,顯示器實務,1,無塵室之定義與應用：,1. 無塵室之簡介,利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子之控制，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室(Clean Room),無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業、精緻農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求，唯所需之無塵室等級不同。,基因實驗室,食品加工業,醫療衛生,生物科技,精緻農業,國家太空中心,友達TFT-LCD廠,2,無塵室之規格,1. 無塵室之簡介,潔淨室依等級之不同，對

2、一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例：,3,無塵室之規格,1. 無塵室之簡介,NDL/class 10,CIS/class 100,繼開科技/class 10000,4,無塵室之種類,1. 無塵室之簡介,無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class 1100)、水平層流方式(Class 11,000)、亂流方式(Class 1,000100,000)，其詳細區分如下表：,5,無塵室之種類,1. 無塵室之簡介,Air flow system

3、,6,無塵室之種類,1. 無塵室之簡介,Conventional (hard wall),Soft wall,Module type,7,無塵室在IC與TFT-LCD產業之必要性,1. 無塵室之簡介,粉塵掉落至IC之線路中會造成IC元件之短路或斷路,粉塵掉落很容易使單片之LCD面板良率大幅降低,8,無塵室設計考量,2. 無塵室設計考量,粉塵之阻止 溫度與溼度控制 人員動線 儀器設備位置與移機動線 噪音防止 靜電與電磁防止 震動問題 安全設施,9,無塵室空間規畫府視圖,2. 無塵室設計考量,1. 人員動線 2. 儀器設備位置與移機動線,微修區,黃光工程區,薄膜工程區,乾蝕刻製程區,機台移入/出平

4、區,參觀走道緊急出口走道,機具設備拆解組合清拭區,廠務區,檢測機台,濕蝕刻區,基板清洗區,基板儲存區,基板儲存區,中央廢氣廢液處理區,零組件耗材處理及儲存區,10,2. 無塵室設計考量,無塵室空間規畫側視圖,空調管路,水氣電管路,抽器管路,末端管路,製程機台,照明與送風口,維修/緊急出口走道,11,2. 無塵室設計考量,3. 粉塵之阻止,(1) 粉塵來源之防止,Filter Module,昇暘工程股份有限公司.tw/company.htm,無塵室空氣中之微塵粒子主要藉由空調管路中之濾網去除，且為防止周圍環境之粉塵進入，無塵室需保持正壓狀態。,HEPA 之結構,12,(2) 粉塵堆積之防止,2.

5、 無塵室設計考量,(1) 粉塵來源之防止,在無塵室中易產生粉塵堆積之部分，包括,機械運動所產生之粉塵 人員運動所產生之揚塵 玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦 擦拭工具或材料所產生之粉屑 未經擦拭之維修工具, 通訊器材或文具 製程腔體釋放之微塵顆粒或粉屑 身體肌膚之體屑,儀器設備之死角 無塵室結構之接縫 玻璃或矽晶圓承載具之內部,在無塵室中應避免可能之粉塵源產生，包括,避免粉塵堆積最積極有效的方式唯有確實且持續性的除塵, 清潔或清洗,13,粉塵之阻止,2. 無塵室設計考量,(2) 粉塵之排除,無塵室中最大之微塵粒子來源為”人” ，人攜帶之微塵粒子主要藉由洗淨與吹除去除。,換廠內服,洗手,洗手,著無塵服

6、,戴口罩,戴手套,通過Air Shower,依無塵室等級之不同，無塵服之樣式亦不同，進無塵室之流程亦有增減,14,4. 無塵室設備與維護,Air Shower 之型式,傳遞箱(pass box),15,噪音防止,靜電與電磁防止,2. 無塵室設計考量,無塵室內噪音之來源包括,製程儀器設備運轉之聲音 基板搬運機傳載之聲音 空調運轉之聲音 廣播聲,無塵室內靜電之來源包括,無塵室內電磁之來源包括,高電流電源線 高頻電源供應器 通信器材,玻璃機板與空氣之摩擦 玻璃與機械手背吸盤之摩擦 製程過程中累積之電荷 擦拭過程中所產生之靜電,16,震動問題,2. 無塵室設計考量,安全設施,無塵室內震動之來源包括,儀

7、器設備機械或幫浦運作所造成之震動 搬運設備或人員走動之震動 地表之自然震動源 廠外重型機具或載具之移動,緊急照明與逃生指示燈之裝置 逃生路線之規劃與管制 特殊氣體偵測系統之裝置 接地設施之裝置 有機揮發氣體與酸鹼液氣體之排外系統 火災預警措施與自動滅火裝置,無塵室內基本之安全措施包括,17,3. 無塵室工程技術,無塵室結構施工,Source:美國Portlab,整廠設計,廠房土木工程,基座工程(foundation) 高架地板(raised floor) 空調管路(Air circulation) 隔板工程(Partition) 天花板與照明(Ceiling and Lighting) Air shower tunnel and accesses,基座工程(foundation),高架地板(raised floor),空調管路(Air circulation),隔板工程(Partition),天花板與照明(Ceiling and Lighting),Air shower tunnel and accesses,18,3. 無塵室工程技術,線槽施工,儀器設備移入,檢驗測試,19,5.無塵室管理,能源管理,Source: 繼開科技,20,5.無塵室管理,無塵室設備的運轉需要多種系統設施來支援，這些系統設施於最初之設計階段即應考量其未來之擴展性及許