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1、1,WELCOME!,7S与无尘室管理,2,进风口,回风口,无尘室管理,1.什么是无尘室,空气由空调箱经风管与无尘室内之HEPA进入无尘室，并由高架地板或侧面回风。,原理图,现场实景图,3,3.无尘室的天敌异物与静电 (1)异物 A.异物大小 它以m尺寸為單位,人的肉眼可见尺寸为10m,光学可见的范围为0.110 m.人的头发直径大约在5070 m ,TFT的配线大约在6 m的程度。 Array无尘室(全室)管理等级订定100。 Panel管理等级订定10010000。 Module部份的管理等级订定10000100000。,2.无尘室管控等级 利用尘度测试仪，距高架地板1.2m处，每3m*3

2、m测定一点，一次3min,取样 1cfm,做3次取平均值。,4,B.异 物 产 生 之 源,a.由厂房外产生 付着在物品上进入 人员携入 从环境破坏处进入,b.由厂房内产生 摩擦产生金属、塑料 加工时所使用的托盘及通箱 文具纸张纸类，随时间会慢慢的破损 人行动时产生风，因而将异物卷起向上扩散,5,6,7,8,9,静电的消除,(3)使用抗静电材料 通常电阻值愈低的物质，其静电散逸速度愈快，不易累积静电，反之，电阻值愈高的物质，其静电散逸速度愈慢，容易累积很高的静电。,10,11,12,13,14,d.戴手套,1.注意不可有外服与皮肤外露的现象; 2.无尘室内不得任意脱除;,15,16,17,18,19,c.臂章佩戴规范,1.为确保厂内财产安

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