- 现行
- 正在执行有效
- 2018-12-28 颁布
- 2019-04-01 实施
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文档简介
ICS7110020
G86..
中华人民共和国国家标准
GB/T37030—2018
电子级三甲基铟
Electronicgradetrimethylindium
2018-12-28发布2019-04-01实施
国家市场监督管理总局发布
中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国
国家标准
电子级三甲基铟
GB/T37030—2018
*
中国标准出版社出版发行
北京市朝阳区和平里西街甲号
2(100029)
北京市西城区三里河北街号
16(100045)
网址
:
服务热线
:400-168-0010
年月第一版
201812
*
书号
:155066·1-61411
版权专有侵权必究
GB/T37030—2018
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC203)。
本标准起草单位江苏南大光电材料股份有限公司中国电子技术标准化研究院
:、。
本标准主要起草人陈化冰孙明璐王香曹可慰
:、、、。
Ⅰ
GB/T37030—2018
电子级三甲基铟
1范围
本标准规定了三甲基铟的技术要求试验方法检验规则包装标志运输储存和安全
、、、、、、。
本标准适用于铟镁合金法三氯化铟法格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基
、、
铟该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等
。。
分子式
:C3H9In
相对分子质量按年国际相对原子质量计算
:159.92(2013)
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
危险货物包装标志
GB190
工业用化学产品采样安全通则
GB/T3723
固体化工产品采样通则
GB/T6679
电子级水
GB/T11446.1
危险货物运输包装通用技术条件
GB12463
化学品安全标签编写规定
GB15258
常用化学危险品贮存通则
GB15603
洁净厂房设计规范
GB50073
3技术要求
三甲基铟的技术指标应符合表要求
1。
表1技术指标
项目指标
三甲基铟纯度质量分数-2
(C3H9In)()/10≥99.99995
银含量
(Ag)/(μg/g)<0.2
铝含量
(Al)/(μg/g)<0.3
砷含量
(As)/(g/g)<0.5
金属元素μ
硼含量
及其他元(B)/(μg/g)<0.2
钡含量
素含量(Ba)/(μg/g)<0.1
铍含量
(Be)/(μg/g)<0.02
铋含量
(Bi)/(μg/g)<
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