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1、.平面度与光波带的关系引用一本书上的内容:1) 根据干涉条纹计算平面度误差测量时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹，如图所示，调整平晶位置，使之出现3 5 条干涉带，则平面度误差的近似值为：f= (v/ ) ( /2)为光波波长，白光的平均波长为0.58 m,为干涉带弯曲量，为干涉带间距但是如何精确确定和 的值 , 我也很迷惑 !2）根据光圈计算平面度误差若被测平面凹或凸，则会出现环形干涉带，调整平晶的位置，使干涉带数为最少，则平面度误差的近似值为：f ( /2)n为光波波长，白光的平均波长为0.58 m；n 为平晶直径方向上的光圈数示意图如下 本帖最后由duomeiti 于 2008-6-27

2、16:55编辑 平晶具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，图 1a 为用平面平晶检验量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，.例如千分尺两测量面的平行度误差（图1b）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为45 150 毫米。其光学测量平面的平面度误差为:1 级精度的为0.03 0.05 微米； 2 级精度的为0.1 微米。常见的长方

3、形平面平晶的有效长度一般为200 毫米。平晶 - 正文具有两个 （或一个） 光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规 。光学测量平面是 表面粗糙度 数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测长技术 ）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用于测量高光洁表面的平面度误差，图1a 为用平面平晶检验 量块 测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平面是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺 两测量面的平行度误差（图1b）。平晶用光学玻璃或石英玻璃制造。圆柱形平面平晶的直径通常为45 150毫米。其光学测量平面的平面度误差为 :1 级精度的为0.03 0.05

4、 微米； 2级精度的为0.1微米。常见的长方形平面平晶的有效长度一般为 200毫米。平晶平晶平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法（图2） ,也称技术光波干涉法。测量时 , 把平晶放在被测表面上 , 且与被测表面形成一个很小的楔角，以单色光源照射时会产生干涉条纹。 干涉条纹的位置与光线的入射角有关。 如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小, 则由平晶测量面p 反射的光线与被测表面反射的光线在测量面p 发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。 如干涉条纹平直，相互平行 , 且分布均匀 , 则表示被测表面的平面度很好；如干涉条.纹弯曲，则表示平面度不

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