ITO玻璃基础知识.ppt

1、1,ITO玻璃基础知识,2,主要内容,一、什么是ITO玻璃； 二、ITO玻璃的基本结构 三、ITO玻璃的分类 四、ITO玻璃的生产工艺流程； 五、ITO玻璃的评价参数； 六、ITO膜面的判定； 七、ITO玻璃使用常见问题； 八、ITO玻璃的使用注意事项；,3,ITO(Indium Tin Oxide)玻璃简介,在普通玻璃的一个表面镀上一层氧化铟锡的导电膜，就形成了LCD常用的氧化铟锡玻璃，通常简称为ITO玻璃。,特点：不仅要求导电性能好，而且还要具有玻璃一样高的透明度,一、什么是ITO,4,ITO玻璃的基本结构:,二、ITO玻璃的基本结构,5,基板: 常用的基板厚度有1.1mm;0.7mm;0

2、.55mm;0.5mm,0.4mm 基板的主要生产厂家有：板硝子、旭硝子 根据材料的不同,通常分为钠钙玻璃和硼硅玻璃两种;LCD行业中较常用的为钠钙型玻璃.,钠钙型玻璃基本成份:,二、ITO玻璃的基本结构,6,（1）Si02层的作用: 主要是防止钠钙型基板中的金属离子扩散渗透到ITO层中,影响ITO层的导电能力.,（2）SiO2层的膜厚: 标准膜厚一般为20-30nm,二、ITO玻璃的基本结构,Si02层：,7,ITO(Indium Tin Oxid)层: 为氧化铟锡的透明导电层,其中I表示In2O3，T表示SnO2,一般Sn（即Tin)的含量约为10%。 随着ITO层厚度的增加,ITO层的厚

3、度逐渐减小.,二、ITO玻璃的基本结构,8,三、ITO玻璃的分类,根据基板玻璃表面状态的不同，通常分为以下三种类型：,9,四、ITO玻璃的生产工艺流程,ITO玻璃的生产工艺流程主要分为以下三个步骤：,（1）切割倒角； （2）抛光； （3）镀膜,注：TN型玻璃不需要抛光。生产工艺流程更简单。,10,ITO玻璃简要生产工艺流程如下：,四、ITO玻璃的生产工艺流程,TN型玻璃不需经此流程,11,（1）切割磨边的工艺流程：,切割,磨边倒角,清洗,检查,入库,磨边类型及规格要求： 通常分为C型和R型两种,0.05mmW0.4mm，45角,0.05mmW1.2mm,曲面半径 R50mm,四、ITO玻璃的生

4、产工艺流程,C型,R型,12,倒角的形状及公差,四、ITO玻璃的生产工艺流程,13,（2）抛光工艺流程： 用研磨料将玻璃表面磨平，使玻璃表面平整。对于STN型ITO玻璃是必须经过的一道生产流程,四、ITO玻璃的生产工艺流程,14,（3）镀膜工艺流程：,四、ITO玻璃的生产工艺流程,15,镀膜方法： 镀膜的方法有：喷雾法；涂覆法；浸渍法；化学气相沉积法；真空蒸发法；测射法，但目前工业化最有效的方法是磁控测射法。,磁控测射法： 在高真空反应室中充入一定比例的02和Ar的混合气体，在直流高压下，Ar被电离，在电场作用下轰击靶材，使铟和锡以原子和离子形式溅射出来，沉积在基板玻璃表面，同时被氧化，形成氧

5、化铟锡膜。,四、ITO玻璃的生产工艺流程,16,五、ITO玻璃的评价参数,5.1透过率： 在波长为550nm的光波照射下，具有SI02阻档层玻璃的透过率不小于80%，其主要取决于玻璃材料、ITO厚度和折射率。,透过率定义： 透过玻璃的光通量T2与入射光通量T1之比的百分率 Tt=T2/T1X100%。,17,5.2方块电阻:如图 d为膜厚，I为电流，L1为膜厚在电流方向上的长度，L2为膜层在垂直电流方向的长度，为导电膜的体电阻率。和d可以认为是不变的定值，当L1=L2时，为正方形的膜层，无论方块大小如何，其电阻率为定值/ d，这就是方块电阻的定义，即R= / d,R=L1/(dL2),五、IT

6、O玻璃的评价参数,18,5.3平整度: 平整度可用h/1表示，意思为在长度为L的范围内，表面最高点与最低点的差值为h。,ITO玻璃基板平整度参数包括： 1、玻璃表面粗糙度； 2、基板表面波纹度； 3、基板翘曲度； 4、基板垂直度； 5、ITO膜表面粗糙度； 6、ITO玻璃基板、膜厚均匀度。,五、ITO玻璃的评价参数,19,5.3.2基板翘曲度:用h/L表示(如图) 即翘曲的高度与翘起边的长度之比,其中要求如下: 厚度0.7mm的基片玻璃， 翘曲度（h/L）0.1%。 厚度0.55mm的基片玻璃，翘曲度（h/L）0.15%。 不允许有S形翘曲,五、ITO玻璃的评价参数,20,5.3.3基板垂直度

7、:用a/L表示(如图) 用来描述玻璃基板四条边互相垂直的程度,通常a/L0.1%,五、ITO玻璃的评价参数,21,5.4化学稳定性: ITO镀膜层的耐化学性能应符合表2中技术要求。 a) 耐碱性 镀层在温度为602, 浓度为10%的氢氧化钠(分析纯)溶液中浸泡5分钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。 b) 耐酸性 在252, 6%盐酸(分析纯)溶液中浸泡2分钟, ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。 c) 耐溶剂性能 将镀膜玻璃放入丙酮(分析纯)、无水乙醇(分析纯) 中浸泡5分钟后，ITO膜的方电阻与浸泡前的方电阻相比不得超过110%。,五、ITO玻璃

8、的评价参数,22,5.5热稳定性: 在空气中经30分钟3005（触摸屏用ITO玻璃是在2005）高温后，ITO膜的方阻的变化率小于300%,5.6附着力: 用3M胶带粘在玻璃表面迅速撕开,ITO层无明显开裂现象,五、ITO玻璃的评价参数,23,六、ITO膜面的判定,相关定义:,浮法方向: 在基板玻璃制造过程中,液态玻璃流动的方向.,24,ITO膜面主要判定方法: (1)将万用表打至欧姆档,用探针分别测试两个点,如果显示不为”1”,则所测试面为ITO膜面; (2)用方块电阻测试仪测试面电阻,如果显示电阻值无穷大,测所测面为非ITO膜面 (3)通过大角识别:以1614英寸的玻璃为例,六、ITO膜面的判定,25,七、ITO玻璃使用常见问题,常见ITO玻璃异常对LCD产品的影响:,26,八、ITO玻璃的使用注意事项,主要注意事项:,1、ITO玻璃连同包装应存放在干燥、阴凉、清洁的环境中，温度28度以下，湿度不大于70%RH为宜； 2、ITO玻璃的贮存期不应超过半年，包装打开后