JB-T8320-1996_电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管

中华人民共和国机械行业标准JB/T83201996电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管1主题内容与适用范围本标准规定了电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管下称涂层管的结构、规格尺寸、技术要求、检验方法和规则等。本标准适用于由天然水晶作原料、并在管壁表面制成耐高温薄层、用于电力半导体器件工艺的石英玻璃管。弓用标准GB3284GB5949GB9657GB10701石英玻璃化学成分分析方法透明石英玻璃气泡、气线检验方法半导体用透明石英玻璃管石英玻璃热稳定性检验方法术语31晶纹石英玻璃管拉制过程中，在管壁上形成各种微小不闭合的炸纹32生料颗粒石英玻璃管内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。33透明颗拉石英玻璃管中未完全熔化的透明石英质颗粒。34波纹气炼透明石英管的内、外壁圆周呈现的波浪形凹凸不平。35色斑在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。3气泡群石英玻璃管壁中由微小气泡小于标准中的气泡的下限尺寸密集而成的群集泡37揪痕排除石英玻璃管上较大杂质点、气泡等弊病操作后留下的痕迹38暗疤气炼产品壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面玻璃态俗称雪花、破皮或梅花在高温熔烧中发橙色亮光。3，析晶石英玻璃管在高温下发生的晶形转变，造成低温下失透310弯曲度石英玻璃管实际中轴线对标称中轴线的最大偏离距离与标称中轴线长度之比。机械工业部19960401批准19961001实施45JB/T83201996311炸裂石英玻璃管受外界温度变化影响发生的破裂。312涂敷层在石英玻璃管壁内或/和外壁制成的耐高沮薄息。313桔皮涂敷层上出现的“桔皮，状凹凸不平的区域314基体管坯管制作涂层石英玻璃管时，欲在其表面制作涂敷层的原透明石英玻璃管315热稳定性石英玻璃承受温度剧变的能力用试样承受加热至规定的上限温度T,随即放入冷水或空气中的下限温度T所造成的温差T一TL表示。31高温变形率石英玻璃管作高温形变试验时，加热前后外径的相对变化率。4涂层管的构成41涂层管是由基体管和创作在其管壁表面的涂敷层两部分构成。42涂敷层可制作在基体管的外管壁，也可制作在内管壁，或者内、外管壁都制作涂敷层。5外形尺寸51各种涂层管的外形尺寸范围见表1,表1RNM外径范圈外径公差壁厚范围璧厚公差必5060士202535士03必6170土03必7180士203035士04必8190士253040士04必91100士253545士05必101120士303550士06曰121150士瓦03555土0652各种涂层管的标准长度为IM,15M和2M三两种管子为两端开口亦可一端开口。封口管其弧度部分不包括在井示准长度之内。53特殊形状的石英玻璐管由用户与厂家合同中规定。技术要求1外形尺寸公差611外径和壁厚的公差见表112偏壁度同一横截面璧厚之差不得大于壁厚公差绝对值。13椭圆度同一横截面长短轴之差不得大于外径公差绝对值14弯曲度1M长度涂层管不大于千分之三，15M和2M长度涂层管不大于千分之四。615涂敷层区长度一般术小于600MM,62杂质含量A6JB/T8320一19921基体管中杂质含量应符合表2要求表2PPM杂质UNC决LCU总含盆含量444、4O吕2002涂层区石英玻璃管杂质含量指标与测试方法由企业标准给出物理性能指标涂层石英管的物理性能指标应符合表3要求表3书黔二斗一嘿黔二一注作热稳定性的样品，段其中未涂层部分不得少于10MM，但不得多子30MM。丘丘析品性能由创造厂给出“外观要求641涂敷层应表面光滑，透明或颜色均匀，桔皮长径应小于10MM，总数里不超过3块42涂层管的其它外观应符合表4要求。不能有剥皮、顺校、裂纹等。但允许有少T小面积的枯皮。表4项目指标气泡直径，RNM05数T，个/CM，8气泡群长径。MM10总数，个/1OOCM，牙暗疤长径，MM成5数T，条/100。M，3色斑长径MM成20致址个/100CM，L0歌痕一必3090二M管材深度，MM0，3直径MM13数盆，个/M4一一必91150MRN管材深度。MM0，3直径。MM成1S数量个/M簇LO透明顺位个/MLOO内壁波纹MM0。4晶纹、云雾、析晶、裂纹、指坟印、生料顺校不允许7出厂检验和型式试验71同种原料、同种工艺在基本相同条件下生产的产品形成生产批检验批可以是生产批，也可以小于生产批，47JB/T8320199672出厂检验721产品交货时，应按表6规定的项目进行出厂检验722按表5规定项目检验合格的批，把抽样检验出的不合格品换为合格品后全数收交。检验不合格的批，应进行全检，剔去不合格品后收交。73型式试验731有下列情况之一，应进行型式试验A连接生产的产品，生产期已达12个月B断续生产的产品，在生产条件无大的变化产品数量已达到或超过5O件。原材料、工艺或设备系统有较大改变时D生产中断三个月或更长时间732型式试验按表5和表6规定的所有项目和要求进行。表5序号试验方法合格判据抽样方案LTPP1外径、壁厚GB9657的771,2条符合表1规定7偏壁度GB9657的773条符合612条要求椭圆度GB9657的77条符合613条要求弯曲度GB9657的775条符合614条要求2涂敷层正常视力和正常照明下目测符合641条规定73其它外观指标GB9657的78条符合表5规定10表6序号试验项目试脸方法合格判据抽样方案NCD1热稳定性GB10701方法A符合表3要求2析晶制造厂给出3高温变形率GB9657的76条，1280士10C,30H符合表3要求4荃体管杂质含量GB3284符合表2要求8标志、包装、运抬和贮存81每支涂层管应附有产品合格证合格证上应标明产品名称、型号、制造厂名、生产日期、规格和编号，还应说明涂层情况82每批产品出广时应附有产品使用说明书，写明该批产品的物理、化学质量分析结果和注意事项。83包装531涂层管应用塑料薄膜封装，然后装纸盒，必要时填、垫泡沫塑料两支以上包装的必须避免运输中的碰撞。832产品包装时应随带产品合格证、装箱单、产品说明书。833包装上应贴有储运图示标志，如“小心轻放”、“请勿倒置”、“玻璃制品”、“防潮”等字样和图形S4运输JB/T83201996装卸