GB 51209-2016 发光二极管工厂设计规范.pdf

/R9bs6Ga 哗锥Al 民共和副 蹋家撩邋 捷光撖管匡设潞翔范 猢副瓣锣 矾侈 啐厨计剿龇潋榄躞堰踵镟 唧捌 豕聊 w w 刊 山 酝 钰 暾 c o m 蜘 晤 “ 聪揄面煳区桊鲰丨 甲LI笤醛笨囊C唾寄昴 燔酸翳躅氵岫 | 蹩喃f 岣诬 n 鹦Fy s 岫g 眨浔鄱多 曼冠齑筚印翩包装蔺隈公司 | 厦 丨 忄 s l l | 褥铋 酗 刂I卩 ” 药 “ 注 山i 止y 台蹈 汾 妲昌!印啾 锌 塑 四耻鳔昏垌缡l 跏 铡1蜂 沲倒络I洳郭刷 绋一鹊号o 哆矾g a o Ol OT 蔻偷j 龃00晁 搀梗轿看 钣钡必宽 脚翻 盹 :瀛 邸l O9翩删 0犭 妯蓊卸翘质褰陌题。溏簧髁 孺换. /R9bs6Ga 中华人民共和国住房和城乡建设部公告 第1352号 住房城乡建设部关于发布国家标准 发光二极管工厂设计规范 的公告 现批准 发 光 二极 管 工 厂 设 计 规 范 为 国家 标 准 ,编 号 为 GB512092o 16,自z O17年7月 1日 起 实施 。其 中,第8.2.3、 8.3.3(1)、8.3.9、8.3.11、10.2.9条(款)为强制性条文,必须严格 执行 。 本规范 由我部标 准定 额研 究 所组织 中 国计 划 出版 社 出版 发行 。 中华人民共和国住房和城乡建设部 2016年10月24日 /R9bs6Ga 臼 根据住房城 乡建设部 关 于印发2010年工程建设标准规范 制订 、 修订计划 的通知 (建标 201043号)的要求,由工业 和信 息化部电子工业标准化研究院电子工程标准定额站与中国电子I 程设计院会同有关单位共同编制完成 。 在规范编制过程中,编写组根据我国发光二极管工厂的设计 、 建造和运行的实际情况,进行了广泛的调查研究,收集了有关发光 二极管工厂的设计要求,认真总结实践经验,同时考虑我国目前生 产的现状,参考国外有关的标准规范,广泛征求 了国内有关单位与 专家意见,最后经审查定稿 。 本规范共分13章和3个附录,主要技术 内容包括:总则,术 语,基本规定,工艺,总图,建筑,结构,动力及气体 工程,供暖 、 通 风 、 空气调节与净化,给水排水,电气,防静电和空间管理等。 本规范 中以黑体字标志的条文为强制性条文,必须严格执行 。 本规范 由住 房城 乡 建设部 负责管 理 和对 强 制性 条 文 的解 释,由工业和信息化部 负责 日常管理,由中国电子工程设计 院负 责具体技术 内容 的解 释。执行过程 中如有 意见或 建议,请寄送 中国电子工程设计 院(地址:北京市海淀 区西 四环北路160号 , 邮政编 码:100142,传真,以 便 今 后 修 订 时 参考 。 本规范主编单位 、 参编单位 、 主要起草人和主要审查人: 主 编 单 位:工业和信息化部电子工业标准化研究院电子 工程标准定额站 中国电子工程设计院 参 编 单 位:世源科技工程有限公司 亠刖 1 /R9bs6Ga /R9bs6Ga 次目 1 总 则 (1) 2 术 语 (2) 3 基 本 规 定 (3) 4 工 艺 (4) 4.1 一般规定 ( ) 4,2 基本工序与生产协作 (4) 4.3 工艺区划 (5) 4,4 设备布置 总 图 (5) 5.1 厂址选择 5,2 总平面布置 ” 建 筑 6,1 一般规定 6.2 防火及安全疏散 结 构 7.1 一般规定 7.2 结构设计 动 力 及 气 体工程 8,1 冷热源 8.2 大宗气体供应 8.3 特种气体供应 8.4 动力气体供应 供暖、 通风 、 空气调节与净化 9.1 一般规定 (6) (6) (6) (8) (8) (8) (l 0 (10 (10) ( 12) (12) (13) (14) 16) ( 18 ) (18) 1 /R9bs6Ga 9.2 供暖 、 通风与废气处理 (18) 9.3 空气调节与净化 ( ) 9.4 防羽F火Fk l (21) 10 给 水 排 水 (22) 10.1 一般规定 (22) 10.2 一般给水排水 (22) 10.3 纯水 (23) 10.攻 工艺冷却循环水 (23) l O。5 废水处理 (24) 10.6 消防 (24) 11 电 气 (26) l 1.l 供配电与照明 (26) 11.2 防雷与接地 (27) 11.3 白控 27) 11.4 通信 (28) 11,5 安全防护 (28) 12 防静 电 (30) 12.1 一般规定 (3o ) 12.2 防静电措施 (30) 12.3 防静电接地 (32) 13 空 间管 理 (33) 13.1 一般规定 (“) 13.2 管线布置 (33) 附 录A 发 光二极 管 典 型 生 产 环 境 要 求 (35) 附 录B 发 光二极 管 生 产工 艺 动 力 品 质要 求 (3 附 录C 发 光二极 管 生 产 的典 型工 艺 流 程 (38) 本 规 范 用 词 说 明 (40) 引用 标 准 名 录 (41) 附 :条 文说 明 (43) 2 /R9bs6Ga 1 2 3 4 Co n t e n t s Ge n e r a l p r o v i s i o n s . ( 【 ) Te r m s ? ( 2 Ba s l c r e q u l r e m e n t s 3 ) Pr o c e s s 4) 4.1 Ge n e r a l Fc q u i r e m c n t s ( 4 ) 4.2 Ba s i c p r c e s s a n d p r d u e o o l l a b o r a t i n ( 4 ) 4.s Pr o c e s s l a y o u t ( 5 ) 4.在 Eq u i p m e n t La y o u t ( 5 ) 5 Si t e m a s t e r ( 6 ) 5.1 s i t e s e l e c t o n 6 ) 5.2 s i t e m a s t e r p l a n ( 6 ) 6 Ar c h i t e c t u r e d e s i g n ( 8 ) 6,1 Ge n e r a 1r e q u i r e m e n t s ( 8 6.2 Fi r e e v a c u a t i 。n 。 . ( 8 ) 7 St r u c t u r e d e s i g n (10 7.l Ge n e r a l r e q u i r e m e n t s ( 1o ) 7.2 St r u c t u r a l d e s i g n (1o ) 8 Ut i t i e s a n d g a s q s (12 8,l Co o h n g a n d h Oa t i n g s o u Fc e ( 12) 8.2 Bu l k 息a s e s s u p p l y ( 13 8.3 s p e c i a l g a s e s s u p p l y (I4 B。4 Ut i l i t i e s u p p l y , = ,. ( 16) 9 Ie a t i n g ,v e n t i l a t i o n ,a i r c o n d h i 。 “n g a n d c l e a n i n g (18) 3 /R9bs6Ga 9.1 Ge n e r a l r e q u i r e m e n t s (18 9.2 He a t i n g ,v e n t i l a t i o n a n d w a s t e g a s t r e a t m e n t ( 18 ) 9.3 Ai r c o n d i t i o n i n g a n d c l e a n i n g (20) 9.4 s m o k e v e n t i n g (21) 10 Wa t e r s u p p l y a n d d r a i n a g e (22) 1o 1 Ge n e r a l r e q u i r e m e n t s (22) 10.2 Ge n a r a 1Wa t e r (22) 10.3 Pu r e w a t e r (23) 1o ,4 Pr o c e s s c o 0h n g w a t e r (23) 10 5 Wa s t c w a t e r t r e a t r n e n t ( 24 ) 10,6 Fi r c p r o t e c t i o n (24) 11 El e c t r i c a l d e s i g n (26) 11.1 Po w e r u p p l y a n d i l l u n i n a t i o n (26) 11.2 Ii g h t i n g p r 0t e c t i n g a n d g r 。 u n d c o n n e c t i o n 27) 11.3 Au t o m a t i c c o n t r o 1 ( 27 ) 11.4 Te l e c o m m v n i c a t i o n (28) 11.5 s a f e t y p r o t e c t i o n ( 28 12 An t 卜s t a t i c d e s i g n 30) 12.1 Ge n e r a l r e q u i r e m c n t s ( 30) 12.2 An t i -s t a t i c m e a s u r e s 30) 12.3 An t i -s t a t i c g r u n d c o n n e c t i o n (32) 13 Sp a c e 1n a n a g e m e n t (33) 13,1 Gc n e r a l r e q u i r e m e n t s (33 ) 13,2 Pi p e h n e l a y o u t (33) Ap p e n d i x A Ty p i c a l r n a i n p r o d u c t i o n e n v i r o n m e n t f LED (35) Ap p e n d i x B Ty p i c a l u t i t i e s q u a h t y r e q u i r e m e n t s o f LED (36) Ap p e n d i x C Ty p i c a l LED p r o c e s s f l o w (38) 4 /R9bs6Ga Ex p l a n a t i o n o f w o r d i n g i n t h i s c d e (40) Ii s t o f q u o t e d s t a n d a r d s (41) Ad d i t i o n :Ex p l a n a t i o n o f p r o v i s i o n s (43 5 /R9bs6Ga /R9bs6Ga 2术 语 2.0.1 发光二极管 吒h t e m i t u n g 山。d e (LED) 一种能够将 电能转化为可见光的固态半导体器件 。 2.0.2 夕 卜 员 亟 e p i t a x y 在单晶衬底(基片)上生长一层或多层有一定要求 的、 与衬 底 晶向相同或相似的单晶层 的生长技术 。 2.0.3 金属有机化合物化学气相沉积 m e t a l -o r g a n i c c h e 汛c a l v a p o r d e p o s i t i o n (MOCVD) 以族 、 族元素的金属有机化合物和V、族元素的氢化物 等作为晶体生长原材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外 延9生长各种 -族 、 -族化合物半导体及其多元薄层单 晶材 料的工艺过程。 2.0.4 空间管理 s p a c e m a n a g e m e n t 为有效利用空间、 缩短工作流程,对大到整个厂区的建筑物布 局 、 地下管线规划,小到一栋建筑物内部各个专业 间的配置协调而 进行的设计 。 /R9bs6Ga a 募 本 靶 霆 、 J 摭光 亘极瞥 工F设卦邂髀姓发窕二撅臂蜊堇产亚艺霎 球.鼾鳙 鳓 令扃氅产炭展豉生产工颟遨酶需霎瓯 i 爹檠僻. 饥显 发抬垦极管亚厂设莳应椒据墅严王艺筢靥点氵 菜用镟链环 髁曲薪技术、 新设籍离 赫涮。 s ,马 笤 鼗 1蒴匕 重 ;溆吏 臀I厂皂 受 ;虚引 g i 葡嬴 E妻鏊“ 调诫粕 懿9贝韭 釉璧奎运 行。 维髀管瘿刨造条擗 /R9bs6Ga /R9bs6Ga 可根据附录C所列的工艺流程确定 。 4.2.2 生产的主要工序宜完整,辅助生产工序可通过外协方式 完成。 4.2.3 在工艺设计 中,根据外协的具体 内容及要求设置满足外部 协作需要 的相关配套设施 。 4.2.4 工艺设计应满足发光二极管工厂的生产 、 辅助生产 、 管理 和运营设施 、 劳动安全 、 职业卫生和环境保护等管理、 检测 、 教育和 培训设施的设计要求。 4。3工 艺 区 划 4.3.1 生产厂房 内的工艺功能区应依据生产的工艺流程,按照生 产的基本工序进行划分,相同的工序宜集 中布置。典型的工艺流 程可按照附录C设置。 4.3.2 生产 厂房 内的工艺 区应 分别 设 置人 员 出人 口、 物 料 出 人 口。 4.3.3 工艺平面布置应设置设备搬人 口和设备搬人通道。 4.3.4 生产区的参观设施,应与生产环境相隔离 。 4.4设备 布 置 4.4.1 振动敏感设备宜远离振动源布置 。 4.4.2 生产设备宜根据工艺流程 集 中布置,并考虑设 备搬运 、 维 修空间。 4.4.3 金属有机化合物化学气相沉积设备及其辅助设备宜集 中 布置 。 4.4.4 气瓶柜 、 尾气处理设备、 气体纯化柜等金属有机化学气相 沉积设各的辅助设各的布置方式,应符合现行 国家标准 建筑设计 防火规范GB50016和 特种气体 系统工程技术规范GB50646 的有关规定 。 /R9bs6Ga 5总 图 5.1厂址 选 择 5.1.1 发光二极管工厂的厂址选择应按建设规模 、 原材料供应 、 供电、 供水 、供气 、 工程地质和企业协作条件 、 场地现有设施 、 环境 保护等因素进行技术经济 比较后确定 。 5.1.2 厂址选择应符合下列规定 : 1 避免生产的危险或有害因素对周边人群居住或活动环境 造成污染与危害; 2 避开空气经常受悬浮物污染 的地 区; 3 场地应相对平整,距外界强振源较远 。 5.1.3 厂址不应选择在下列地区: 1 易受洪水 、 潮水 、 内涝威胁的区域 ; 2 工程地质 、 水文复杂 的地带 和地震设 防烈度高于9度的 地区; 3 采矿陷落(错动)区界限内; 4 重要的供水水源卫生保护区; 5 级 自重湿陷性黄土 、 厚度大的新近堆积黄土 、 高压缩性 的饱和黄土和 级膨胀土等工程地质地 区; 6 有用矿藏地区。 5.2 总平面布置 5.2。I 发光二极管工厂总体规划,应符合所在地 区的区域规划 、 城镇规划的要求 。 5.2.2 总平面布置应符合下列规定 : 1 主厂房宜根据生产工艺特点和各种功能区的要求,按组合 6 /R9bs6Ga 式 、 大体量的综合性厂房布置; 2 厂区内生产区、 动力辅助区、 仓储 区和办公 、 生活区等功能 区域应合理布置; 3 有微振控制要求的洁净厂房总平面布置时,应考虑邻近存 在较大振动的振源对精密设备 、 仪器的振动影响; 4 工厂的动力设施宜集中布置并靠近工厂的负荷中心; 5 厂区人流和物流的出人 口宜分开设置;原料物料的运输路 线应短捷 、 方便,避免人流和物流之间的混杂和交叉 。 5.2.3 厂区给水 、 排水 、 循环水及动力 电缆等管线宜选用地下敷 设方式;厂区易燃可燃液体 、 燃气 、 热力 、 压缩空气及保护气体 、 通 信信号电缆等管线宜选用地上管架敷设方式;地上 、 地下管线的布 置应符合现行国家标准 工业企业总平面设计规范GB50187的 有关规定。 5.2.4 厂区道路面层应选用整体性能好 、 发尘少的材料 。 5.2.5 厂区应合理进行绿化,但不宜种植对生产环境和产品质量 有影响的植物 。 7 /R9bs6Ga 6建 筑 6.1一般 规 定 6.1.1 发光二极管工厂可 曲生产 厂房 、 动力厂房 、 化学 品库 、 气 站 、 仓库及办公楼等建筑组成。 6.1.2 生产厂房的建筑平 面和空间布局,应根据生产 艺 、 工 艺 改造和扩大生产规模的要求确定 。 6.1.3 生产厂房围护结构材料的选择应满足生产对环境的气密 、 保温 、 隔热 、 防火、 防潮 、 防尘 、 耐久、 易清洗等要求 。外围护结构及 节点部位的内表面温度不应低于室内空气露点温度 。 6.1.4 技术夹层 、 技术夹道应满足各种风管 和各 种动力管线 安 装 、 维修要求 。穿越楼层 的竖 向管线需暗敷时,宜设置技术竖 井, 其形式 、 尺寸和构造应满足风管 、 管线的安装 、 检修和防火要求 。 6.1.5 厂房的平面布局和构造处理,宜避免人流 、 物流运输及防 火对洁净生产环境带来不利的影响。生产辅助部 门等与生产密切 联系的部门应尽量靠近生产区。 6,1.6 厂房内宜设置工艺设备 、 动力设备 的搬人及运输安装通 道;通道宽度应满足人员操作 、 物料运输 、 设备安装 、 检修的要求 。 6.1.7 厂房室内装修应符合现行 国家标准 建筑内部装修设计 防 火规范GB50222和 电子I业洁净厂房设计规范 GB50472的 有关规定。 6.2 防火及安全疏散 6.2.1 发光二极管工厂建筑 的耐火等级不应低于二级 。 6.2.2 金属有机化合物化学气相沉积间的火灾危险性分类在满 是下列条件时应按丙类,否则应按 甲类设防: 8 /R9bs6Ga /R9bs6Ga 7结 构 7.1一般 规 定 7.1.1 发光二极管工厂光刻机等精 密设备基础应满足微振动控 制的要求。 7.1.2 产生较大振动的设各基础宜远离光刻机等精密设备区域 ; 当无法远离时,对产生较大振动的设备应采取有效的隔振措施 。 7.1.3 生产厂房工艺生产区的结构不宜设置仲缩缝 。 7.2结构 设 计 7.2.1 发光二极管生产厂房可根据工艺生产要求采用下列结构 体系: I 单层排架结构体系 ; 2 单层门式刚架钢结构体系 ; 3 多层框架结构体系 ; 4 多层框排架结构体系。 7.2.2 精密设备基础宜避开厂房柱基础;无法避开时,应考虑厂 房柱基础沉降引起精密设备基础的地基变形计算 。 7.2.3 光刻机等精密设各基础在首层 的微振动控制应根据其特 性,采取防微振措施,并应符合下列规定: 1 首层应做钢筋混凝土地面,厚度不宜小于250m m ; 2 设备基础厚度不宜小于800m m ,并应与首层 的钢筋混凝 土地面连为一体; 3 有冲击荷载的设备应远离光刻机等精密设备,且宜在有 冲 击荷载设备的周边设置隔振沟; 4 精密设备的基础安全等级应不低于二级 。 10 /R9bs6Ga 7.2.4 楼层和屋顶的普通设各基础应符合下列规定: 1 不宜采用整片的钢筋混凝土基础,宜根据设备支承点位置 采用钢筋混凝土支墩或钢筋混凝土条形基础; 2 设备基础不应跨越伸缩缝; 3 设备基础宜布置在柱顶、 主梁或次梁上。 7.2.5 应考虑楼层上设备的布置范围和运输安装区域的荷载,并 对受此荷载影响的梁、 柱和基础根据正常使用极限状态和承载能 力极限状态的要求进行验算。 7.2.6 生产厂房楼层 、 屋顶应按照实际吊挂的管道 、 吊顶建筑做 法等,计算吊挂荷载标准值,但不宜小于 0.50k N/m ?。 7.2.7 用于吊挂管道的预埋件宜在钢筋混凝土梁的梁侧设置,应 根据水管的重量和吊挂点的间距验算预埋件的承载力。 /R9bs6Ga 8 动力及气体工程 8.1冷 热源 8.1.1 发光二极管工厂人工冷热源宜采用集 中设置的冷(热)水 机组和供热 、 换热设备。机型和设备选择,应根据工厂所在地区的 气候 、 能源结构 、 政 策 、 价格 及环保 规定,按下列 规 定综 合 比较 确定: 1 热源应优先采用城市 、 区域供热和工厂余热 ; 2 具有城市工业燃气供应 的地 区,可采用燃气锅炉 、 燃气热 水机组供热或燃气吸收式冷(热)水机组供冷 、 供热; 3 工厂也可采用燃煤锅炉 、 燃油锅炉供热,电动压缩式冷水 机组供冷或燃油吸收式冷(热)水机组供冷 、 供热; 4 在夏热冬冷地区的办公楼 、 生活区可采用空气源热泵或地 源热泵冷(热)水机组供冷 、 供热 。 8.I.2 同时需要供冷和供热时,冷水机组宜根据负荷要求选用热 回收机组,并采用 自动控制的方式调节机组的供热量。 8.1.3 冷热源设备台数和单 台容量应根据全年冷热负荷工况合 理选择,并应保证设备在高 、 低负荷工况下均能安全 、 高效运行 。 8.1.4 过渡季节或冬季需用一定量的供冷负荷时,可利用冷却塔 作为冷源设备 。 8.1.5 在满足工艺及空调用冷冻水温度的前提下,应加大冷冻水 供 、 回水温差和提高冷水机组的出水温度 。 8.1.6 当冷负荷变化较大时,经过经济技术 比较,冷源系统的部 分或全部设备宜采用变频调速控制 。 8.1.7 电动压缩式冷水机组的装机容量应符合现行国家标准 工 业建筑供暖通风与空气调节设计规范GB50019的有关规定 。 12 /R9bs6Ga 8.1.8 电动压缩式制冷机组的制冷剂应符合有关环保的要求,当 采用过渡制冷剂时,其使用年限应符合相关要求 。 8.1.9 燃油燃气锅炉应选用带 比例调节燃烧器的全 自动锅炉,且 每台锅炉宜独立设置烟 囱,烟囱的高度应满足项 目环境评价文件 的要求 ,并 应 符 合 现 行 国家标 准 锅 炉 大 气 污 染 物 排 放 标 准 GB13271的有关规定 。 8.1.10 锅炉排放的大气污染物,应符合大气污染物排放标准的 要求 ,并 应 符 合 现 行 国 家 标 准 锅 炉 大 气 污 染 物 排 放 标 准 GB13271和 大气污染物综合排放标准GB16297的有关规定 。 8.2 大宗气体供应 8.2.1 大宗气体管道系统设计应符合下列规定: 1 大宗气体的供气方式应根据气体用量 、 气体品质和当地的 供气状况等因素,经技术经济比较后确定; 2 氢气 、 氧气管道的终端或最高点应设置放散管,放散管应 引至室外并高出建筑的屋脊1m ,氢气放散管道上应设置阻火器; 3 洁净室内的氢气管道应明敷,穿过洁净室的墙壁或楼板处 的管段应设置套管,套管内的管道不应有焊缝,套管与管道之间应 采取密封措施; 4 氢气管道不得穿过不使用氢气的房闾;当必须穿过时应设 套管或使用双层管 。 8.2.2 高纯气体管道设计应符合下列规定: 1 管径应按气体容许流量 、 压力或生产工艺设 备确定,管外 径不宜小于6m m ; 2 管道布置不应出现不易吹除的“盲管”等死空间; 3 管道系统应设置吹扫口和取样 口。 8.2.3 设有氢气等可燃气体装置的气体纯化 间或气体入 口室的 火灾危险性应按甲类确定,并应符合下列规定: 1 应靠外墙设置,并应设置防爆泄压设施; 13 /R9bs6Ga 2 氢气等可燃气体引入管道上应设置 自动切断阀 ; 3 应具有机械通风装置,并应设置事故排风装置 ; 4 应设置气体泄漏报舍装置,并应与事故排风装置联锁。 8.2.4 大宗气体管道和阀门应根据生产工艺要求选择,并应符合 下列规定: 1 气体纯度大于或等于99.9999%时,宜采用 内壁电抛光的 奥氏体超低碳不锈钢管,阀门应采用隔膜阀、 波纹管阀; 2 气体纯度大于或等于99,999%、露点低于-76时,宜采 用内壁电抛光的奥氏体超低碳不锈钢管或内壁电抛光的低碳奥氏 体不锈钢管,阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀; 3 气体纯度大于或等于99.99%、 露点低 于-60C时,宜采 用内壁抛光的奥氏体不锈钢管,除可燃气体管道宜采用波纹管 阀 外,其余气体管道可采用球阀; 4 气体管道阀门、 附件的材质宜与相连接的管道材质一致。 8.2.5 气体管道连接应符合下列规定 : 1 管道连接应采用焊接,不锈钢管宜采用 自动氩弧焊或等 离子熔透对接焊; 2 管道与设各或阀门的连接,宜采用表面密封的接头或双卡 套,接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫; 3 管道与设备的连接应符合设备连接的要求,当采用软管连 接时,应采用金属软管。 8.3 特种气体供应 8.3.1 特种气体应采用外购钢瓶气体 、 液态气体,在厂 内设置 储存 、 分配系统 。 8.3.2 特种气体储存分配系统设备,应根据特种气体的性质和储 存数量布置在独立的建构筑物内,或布置在生产厂房内。 8.3.3 特种气体系统的气瓶柜 、 气瓶架 的设置应符合下列规定 : 1 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中 ; 14 /R9bs6Ga 2 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房问里;当布置 在同一房间时,不相容特种气体 的气瓶柜 、 气瓶架之 闾的距离应 大于6m ; 3 气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于300次/h ,且气瓶 柜应保持负压; 4 自燃 、 可燃 、 毒性 、 腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄 漏探测器; 5 气瓶柜 门应具各 自动关 闭功能,并应配备 防爆玻璃观察 窗;气瓶柜 应 采取抗 震措 施 ,设 计 应满 足 当地 抗震 设 防烈 度 的 要求 。 8.3.4 可燃 、 自燃特种气体的气瓶柜应符合下列规定 : 1 硅烷气瓶柜闭门时的排风换气次数不得低于1200次/b , 且应连续监控气瓶柜的负压; 2 自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外 、 红外火焰探测器及水 喷淋系统; 3 可燃特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统; 4 自燃 、 可 燃 特 种 气 体 的气 瓶 柜 应 在 气 瓶 之 间设 置 隔 离 钢板。 8.3.5 特种气体系统吹扫氮气的设置,应符合下列规定 : 1 特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接,不得与 公用氮气或工 艺氮气系统相连; 2 不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源; 3 吹扫氮气管线应设置止田阀。 8.3.6 特种气体排气与废气处理 的设置应符合下列规定 : 1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫; 2 不相容性特种气体的排气不得接人同一排气主管; 3 自燃 、 可燃 、 毒性 、 腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理 装置进行处理,排放应符合现行国家标准 大气污染物综合排放标 准GB16297的有关规定 。 15 /R9bs6Ga 8.3.7 生产厂房 内的可燃和毒性特种气体管道应明敷,穿过生产 区墙壁与楼板处的管段应设置套管,套管内的管道不得有焊缝,套 管与管道之间应采用密封措施 。可燃 、 毒性 、 腐蚀性气体管道的机 械连接处,应置于排风罩 内。 8.3.8 特种气体和吹扫气体 的管道和管件应采用奥 氏体超低碳 不锈钢无缝钢管,内表面应进行洁净和钝化处理 。 8.3.9 自燃 、 可燃 、 氧化性特种气体管道,应设置静电泄放的接地 设施。 8.3.10 室外布置的特种气体管道应架空布置。 8.3.1I 当特种气体为硅烷、 磷烷、 砷烷时,应采用双层管道设计。 8.3.12 特种气体采用双层管输送时,双层管的外层管道宜采用 SS304奥氏体不锈钢管道,内层管道应与所输送特种气体的性质 匹配 。 8.4 动力气体供应 8.4.1 干燥压缩空气系统应根据生产丁艺对供气量和供气 品质 等因素确定,并应符合下列规定: I 干燥压缩空气系统 的供气规模应按生产I艺所需实际用 气量及系统损耗量确定; 2 供气设各可集 中布置在生产厂房 内的供气站或生产厂房 外的综合动力站 内。 8.4.2 风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应防止 冷却空气发生短路现象。 8.4.3 当干燥压缩空气输送露点低于-76C时.可采用内壁电抛 光不锈钢管;当干燥压缩空气输送露点低于厂40C时,应采用不锈 钢管或镀锌碳钢管。 8.4.4 压缩空气系统的管道设计应符合下列规定 : I 压缩空气主管道的直径应按照全 系统实际用气量进行设 计,支干管道的直径应按照局部系统实际用气量进行设计,支管道 16 /R9bs6Ga 的直径应按照设各最大用气量进行设计; 2 干燥压缩空气输送露点低于-40C时,用于管道连接的密 封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片; 3 当设计软管连接时,宜选用金属软管 。 8.4.5 工艺真空系统的设计应符合下列规定 : 1 工艺真空设备的抽气能 力应按生产工艺所需实 际用气量 及系统损耗量确定; 2 工艺真空设 备 应 布置在生 产厂 房 内的一个或 多个供气 站内; 3 工艺真空 没备应选用能耗少 、 噪声低的设备 ; 4 工艺真空设备应根据工 艺系统 的实际情况选用水环式或 干式真空泵; 5 工艺真空系统应设计真空压力过低保护装置。 8.4.6 工艺真空系统的管道设计应符合下列规定 : 1 工艺真空管路设计应布置成支状系统; 2 I艺真空主管道的直径应按照全系统实际抽气量进行设 计,支干管道的直径应按照局部系统实际抽气量进行设计 ,支管道 的直径应按照设备最大抽气量进行设计; 3 工艺真空系统的管道材料宜根据工艺真空 系统 的真空压 力及真空特性选用不锈钢管或厚壁聚氯乙烯管道; 4 当设计软管连接时,宜选用金属软管 。 8.4.7 清扫真空系统宜选用移动式清扫真空设备 。 17 /R9bs6Ga 9 供暖、 通风、 空气调节与净化 9.1一 般 规 定 9.1.1 洁净室的空气洁净度等级 以及洁净室形式应根据生产工 艺对生产环境的要求确定 。 9.1.2 洁净室的气流组织应根据洁净度等级 、 生产工艺要求以及 技术经济比较确定 。 9.I.3 当出现下列情况之一时,空 气净化调节系统宜分开设置: 1 生产工艺中散发的物质对其他I序 的产 品质量及人员安 全卫生有影响; 2 温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室 ; 3 净化空调系统和一般空调系统 ; 4 洁净室内工艺设备发热 、 散湿量相差悬殊的洁净室 ; 5 系统风量过大的净化空调系统 。 9.1.4 洁净室 内的新风量应取下列两项 中的最大值 : 1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和 ; 2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于在 0m 3。 9.1.5 洁净室与周 围的空间应保持静压差,静压差应符合下列 规定: 1 不同等级 的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa ; 2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa ; 3 洁净室与室外的静压差应大于10Pa 。 9.2 供暖、 通风与废气处理 9.2.1 供暖设计应符合现行 国家标准 工业建筑供暖通风与空气 调节设计规范GB50019的有关规定 。 18 /R9bs6Ga 9.2.2 洁净室内不应采用散热器供暖。 9.2.3 寒冷和严 寒地 区各动力站房应 根据工艺 要求设 置值班 供暖。 9.2.4 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备,均 应设局部排风装置,排风罩宜为密闭式 。 9.2.5 排风系统的设计应符合下列规定 : 1 金属有机化合物化学气相沉积设备的尾气应设就地 处理 装置; 2 酸 、 碱 排风应 独立设 置 系统,风机 的电机应按一级 负荷 供电; 3 工艺设各的排风系统应设置备用风机; 4 有冷凝液产生 的酸、 碱排风系统 风管宜设置坡度和排 液 口,且风管系统应采取防液体渗漏措施; 5 金属有机化合物化学气相沉积设备 的排风系统应采取 防 火 、 防爆措施; 6 酸 、 碱 、 硅烷排风系统的风管不应穿越防火墙或通风 、 空气 调节机房的隔墙和楼板,当必须穿越时,不得设置熔片式防火阀; 7 酸 、 碱排风系统的风机应设在废气处理设备的下风侧 ; 8 工艺设备的排风温度高于60C时,排风管应设保温措施 ; 9 工艺设备局部排风系统的室外风管应根据 当地气象条仵 设置防结露保温措施; 10 洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施 。 9.2.6 废气处理系统的设计,应符合下列规定 : 1 酸 、 碱废气不得采用固定床吸附剂方式处理 ; 2 酸 、 碱废气宜采用淋洗方式处理,处理设备的填料层数 、 厚 度和喷淋药液循环量应计算确定;处理设各的加药 、 补水和排污应 采用 自动方式;处理设备宜就近设置 日用药箱; 3 两台及两台以上废气处理设备并联运行时,应在每台设备 的人 口设置 电动或气动密闭风阀 ; 19 /R9bs6Ga 4 寒冷地区或严寒地 区使用 的淋洗式废气处理装置应采取 防冻措施。 9.2.7 酸、 碱废气经处理