JJG827-1993分辨力板.pdf

U t f (G中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 8 2 7 - 1 9 9 3分辨力板R e s o l u t i o n T a r g e t1 9 9 3 一0 6 一0 4发布1 9 9 3 一1 0 一1 5 实施国 家 技 术 监 督 局发布.1 J G 8 2 7 - 1 9 9 3分辨力板检定规程V e r i f i c a t i o n R e g u l a t io n o f R e s o l u t i o n T a r g e t己9乙令己仑 J J G 8 2 7 - 1 9 9 3 弓全3 本检定规程经 国家技术监督局于 1 9 9 3年 0 6月 0 4日批准，并 自 1 9 9 3年 1 0月 1 5日起施行。归口单位 : 中国计量科学研究院起草单位 : 中国计量科学研究院本规程技术条文 由起草单位负责解释.1 7 G 8 2 7 - 1 9 9 3本规程主要起草人 : 马振亚 参加起草人 : 王莉 茹( 中国计量科学研究院)( 中国计量科学研究院).T .T G 5 2 7 - 1 9 9 3目录概述 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( T )技术要求 ( 4)检 定 项目 和检 定条 件 ( 7 )检定方法 : ( 7)检定结果的处理和检定周期 ( T O )二三四五J .f G 8 2 7 - 1 9 9 3分 辨力 板检 定 规程本规程适用于新制造、使用中和修理后的分辨力板的检定。一概述 分辨力板主要用于测量光学零部件、望远系统、望远镜物镜、体视显微镜与投影物镜 的分辨能 力。分辨力板按图案形式，分为 A型一与B型两种。 A型分辨力板的图案由线宽递减的 2 5 个线条组合单元、菱形图案，以及两对短线标记组成 ( 见图 ! ) o川 一 冷 H i l l 诊 一 一 诊今 至今 至今至II II 诊今 至川毋今 至幸1一11111I:llj今令-1111lIIl令H ill I 李今 奎籍耀IJllff今 羹1111111 诊N ill 诊 h iT 诊川 1I11 诊川 川 诊。曰 今墓今奎令奎今 奎今墓了 3】 2叫卜 图 1 A型分辨力板图案 A型分辨力板相邻两单元的线条宽度的公比 为1 / 1 拒 ( 近似0 . 9 4 ) 0 一套 A型分辨力板由编号为 A l -A 7七块分辨力板组成。 A型分辨力板的每一线条组合单元，均由相邻互成 4 5 。 的4组明暗相间的平行线条组成 。 明线线条宽度与暗 线线条宽度相同。相邻两明 ( 或暗) 线条中心间 距， 称为线条中心距。线条中心距等于线条宽度的2倍。 lJ J G 8 2 7 - 1 9 9 3A型分辨力板明 ( 暗)线条的宽度与长度见表 t o设所用平行光管的物镜焦距为厂 m m，线条宽度为b m m， 则图案相邻线条的角距 a为一臀 x 2 0 6 2 6 5表分 辨 力 板 号A lA2A3A4A5A6A7单元 号每一组 的明暗线条 总数线条宽度 / k m I 2 3 4 5 6 7 8 91 01 11 21 31 41 51 61 71 81 92 02 12 22 32 42 5 7 7 7 7 9 9 91 11 11 11 31 31 51 51 51 71 11 31 31 31 51 51 71 71 91 6 01 5 11 4 31 3 51 2 71 2 01 1 31 0 71 0 1 9 5. 1 8 9. 8 8 4. 8 8 0. 87 5 . 5 7 1 . 3 6 7 . 36 3. 5 5 9. 9 5 6. 65 3. 45 0. 44 7. 64 4. 94 2. 44 0. 08 0. 07 5. 57 1 . 36 7 . 36 3 . 55 9 . 95 6 . 65 3 . 45 0 . 44 7 . 64 4 . 94 2. 44 0. 03 7. 83 5. 63 3. 63 1. 73 0. 02 8. 32 6. 72 5. 22 3. 82 2. 42 1 . 22 0 . 04 0. 03 7. 83 5. 63 3. 63 1. 73 0 . 02 8 . 32 6 . 72 5 . 22 3 . 82 2 . 42 1 . 22 0 . 01 8 . 91 7 . 81 6. 81 5. 91 5. 01 4. 11 3. 31 2. 61 1. 91 1 . 21 0. 61 0. 02 0 . 01 8 . 91 7 . 81 6 . 81 5 . 91 5 . 01 4 . 11 3. 31 2. 61 1 . 91 1 . 21 0. 61 0. 0 9. 4 4 8. 9 1 8. 4 1 7. 9 4 7. 4 9 7. 0 7 6. 6 7 6. 3 0 5. 9 5 5. 6 1 5. 3 0 5. 0 01 0 . 0 9 . 4 4 8 . 9 1 8 . 4 1 7 . 9 4 7 . 4 97 . 0 76 . 6 76 . 3 05 . 9 55 . 6 15 . 3 05 . 0 04. 7 24. 4 54. 2 03. 9 73. 7 53. 5 43. 3 43. 1 52. 9 72. 8 12 . 6 52 . 5 07. 5 07. 0 86. 6 86. 3 15. 9 55. 6 25. 3 05 . 0 14 . 7 24 . 4 64 . 2 13 . 9 73 . 7 53 . 5 43 . 3 43 . 1 52. 9 82. 8 12. 6 52. 5 02. 3 62. 2 32. 1 01 . 9 91 . 8 85 . 0 04 . 7 24. 4 54. 2 03 . 9 73 . 7 53 . 5 43. 3 43. 1 52. 9 72. 8 12. 6 52. 5 02. 3 62. 2 32. 1 01 . 9 81 . 8 71 . 7 71 . 6 71 . 5 71 . 4 91 . 4 01 . 3 21 . 2 5线条长度 / m m1 一1 6单元1 . 20. 60. 30. 1 50. 0 7 50. 0 5 6 20. 0 3 7 51 7 一2 5单元0. 80. 40. 20. 10. 0 50. 0 3 7 50 . 0 2 5J .I G 8 2 7 - 1 9 9 3 A型分辨力板上两对彼此平行且距离相等的短线标记，称为基线。每对基线中心的距离，称为基线间距 Ba A型分辨力板的基线间距见表 2 0表2分 辨 力 板 号A1A2A3A4A5A6A7基 线 间 距 B / mm1 9 . 29 . 64. 82. 41 . 20. 90. 6间 距 允 差/ t a m士4 8士2 4士 1 2士6士3士 2 . 2士 1 . 5间距互差允差乍m4 82 41 2632. 21. 5B型分辨力板的图案为明暗相同的楔形线组成的圆状辐射形图案。一套 B型分辨力板由3块组成，其编号为 B 1 , B 2 , B 3 。分别见图2 ( a ) 与( b ) o图 2 B型分辨力板图案( a ) B1 号与 B 2号分辨力板图案( b B 3号分辨力板图案B型分辨力板的参数及尺寸见表 3 0分辨力板的有效范围见表 4 0分辨力板和保护玻璃采用无色光学玻璃 K 9 制造，其外形为圆片形。对毛坯的要求 ( 有效范围内)如下 :J J G 5 2 7 - 1 9 9 3N 镇 5AN 毛 1夕毛 5 不允许有疵病与气泡。表3分 辨 力 板 号B 1B 2B3巾 / mmDDD / 4甲/ mm0. 3 00. 1 5 0 . 1 5d / m m3 D / 4r !3 67 27 2R / 52 . 52. 5注:( 1 ) D为分辨力板有效孔径; ( 2 ) n为明 ( 暗)线条数; ( 3 ) R为楔形线的楔角。分 辨 力 板 号一Al ! U!A 3A4一A 5A6一A7有效范围/ m m ( 直径 )3 01 5门D一D二技术要求1 外 观 分辨力板上应标明分辨力板号，A型分辨力板内还应标明单元号和基线间距，单元号的字高等于单元线条长度。字母，数字和基线上的疵病 ，不得影响外观和使用。2 表 面质量2 . 1 分辨力板与保护玻璃胶合后，在有效范围内不允许有脱胶。2 . 2 B型分辨力板上，在 6 倍放大镜下观察，不得有影响使用和外观的疵病。2 . 3 胶合后的 A型分辨力板上允许有下列疵病。 4J J G 8 2 7 - 1 9 9 32 . 3 . 1 麻点直径应小于二分之一线宽。且最大值对于暗线上的亮点与细线上的暗点分别不得超过1 0 m和3 0 j m 。 麻点数量在整块分辨力板上不得多于 1 0 个， 在每个单元内不得多于 2 个。2 . 3 . 2 擦痕宽度小于五分之一线宽， 最大不超过8 r m 。 长度不大于单元线条长度。数量在整块分辨力板上不多于 4条，在每一单元内不得多于 1 条。2 . 3 . 3 线条局部疵病 ( 如缺口，凸形，凹形)宽度不得大于三分之一线宽，长度不得大于两倍线宽。数量在整块分辨力板上不得多于 1 0处，在每一单元内不得多于 2处。3 A型分辨力板基线间距的允差与两对基线间距相互偏差的允差见表 2 a4 A型分辨力板的线宽允差及需测量的板号与单元号见表 5 05 A型分辨力板的线条中心距允差及需测量的板号与单元号见表 6 .6 A型分辨力板第2 5 单元中的 “ +”字中心是图案的对称中心。其与基线的允许对称偏差及对毛坯中心的允许对中误差见表 7 07 B型分辨力板上每一条楔形线的楔角偏差，允差为士1 0 0分辨力板 号测 量 单 元 号线宽乍m线宽允差 小mAl 1 5 91 32 51 6 01 2 71 0 1 8 0 4 0士 1 6士 1 2士 1 0 士8 士4A2 1 5 91 38 06 3 . 55 0 . 44 0士8士6士5士4A31594 03 1 . 72 5 . 2士6士5士 4A4152 01 5 . 9士 4士 3A511 0士 2A617 . 5士 2A 715士 1 . 5J J G 8 2 7 - 1 9 9 3表6分 辨 力 板 号测 量 单 元 号线条中 心距乍M线条中心距允差乍mA1 1 5 91 32 53 2 02 5 42 0 21 6 0 8 0士1 6士 1 2士 1 0 士8 士4表7分辨力板 号与基线的允许对称偏差/ m m与毛坯的允许对中偏差 / mmA10 . 0 4 80. 3A 20. 0 2 40 . 3A30. 0 1 20 . 3A40. 0 0 60 . 3A 50. 0 0 30. 3A60. 0 0 20. 3A70 . 0 01 50. 38 在高低两种对比度的分辨力板中，明暗线条的光密度差应符合表 8 0表8类别光密度差高对比 ( 3 2 : 1 )1 . 5低对比 ( 3 : 1 )0 . 4 5 - 0 . 5 5( 单向 密度)0 . 2 7 一0 . 3 7( 漫射密度)7 J G 8 2 7 - 1 9 9 3三检定项 目和检定条件分辨力板的检定项目和主要检定工具列于表 9 0检定环境温度 ( 2 0 士3 ) C。分辨力板在检定室内平衡温度的时间不得少于2h 。检定仪器在室内使其温度平衡的时间不得少于 2 4 h o四检定方法1 1 外 观 用 6 倍放大镜观察，应符合本规程第 1 条要求。1 2 表面质量1 2 . 1 用 6 倍放大镜观察 ，胶合质量应符合本规程第 2 . 1 款要求。1 2 . 2 用 6 倍放大镜观察。B型分辨力板的表面质量应符合本规程第2 . 2 款要求。序号检 定 项 目主 要 检 定 工 具检 定 类 别新制 的使用中修理后t外观6倍放大镜+十，表面质量( 1 ) 6 倍放大镜( 2 )显微镜+3基线间距( 功 万能工具显微镜( 2 ) 0 . 5 p m激光比长仪+4线条宽度( 1 )万能工具显微镜( 2 ) 0 . 5 p m激光t 匕 长仪+5线条中心距万能工具显微镜+6“ +”字线中心对基线的对称，及对毛坯中心的对中万能工具显微镜+7楔形线楔 角万能工具显微镜+8光密度差测微光度计+注:“ +”表示该项应检定;“ 一”表示该项可不检定。7 .J c 8 2 7 - 1 9 9 31 2 . 3 用显微镜观察，A型分辨力板应符合本规程第 2 . 3款要求。 所用显微镜 ，其物镜放大率需按表 1 0 选用。目镜放大率为 l o x o 在显微镜观察 下 ，分辨不 出疵 病 ( 麻点 、擦 痕 、缺 口等 ) ，视为合格 。表1 0分 辨 力 板 号A l八 2一一“ 3 A 4 一 A 5 4 0A 6A74 04 0物 镜 放 大 率 一“一一1 3 A型分辨力板的基线间距 采用测量准确度为1 ra m的 万能工具显微镜，对A 1 - - A 5号 分辨力板进行测量 采用测量准确度为0 . 5 ri m的 激光比 长仪， 对 A 6 - A 7号 分辨力板进行测量。 测量时，将分辨力板放在仪器工作台 上，并调焦清晰，使图案两基线端头连线与工作台运动方向平行。然后使 目 镜 中的分划线对准左边一条基线的中心，得读数 a l ，再使 分 划 线对 准 右 边 一条 基 线的 中 心， 得 读 数。 2 ， 两读 数 之 差。 =一 。 I 一 。 2 1 ， 即 为 该对基线的问距一次测量值。 每对基线的间距测量三次，取平均值，即为该对基线的间距实测值。两对基线的基线间距实测值之差，即为基线间距的互差。 每对基线的间距实测值与两对基线之间的问距互差均应符合本规程第 3 条要求。1 4 A型分辨力板的线宽 采用测量准确度为1 p m的万能工具 显微镜对八 1 - A 5 号板进行 测量。 采用测童准确度为。 . 5 t m的 激光比长仪对A 6 - A 7 号板进行测量。 测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，然后使 目 镜中的分划线依次对准待测一组相邻两明 ( 或暗)线条的两侧， 得读数 a ， 和a 2 ， 两读数之差的三分之一 ， 。 一 号 一 la l亏 里 且 ， 即 为 该 组 相 邻 两 线 条 宽 度 的 一 次 测 量 值 。 对 该 组 相 令 。 两 线 条测量三次，取平均值，即为该组相邻两线条的线宽实测值 ( 见图 3 ) 0 测量时，按本规程第 4条规定，选定待测分辨力板的板号与测量单元号。在待测单元中，任选三组相邻两线条明 ( 或暗)线进行测量。三组线条的线宽实测值的平均值，即为该单元的线宽实测值。 测得的各单元线宽实侧值均应符合本规程第 4 条的规定。巧A型分辨力板的线条中心距 根据本规程第 5条的规定 ， 仅对 A l 号板其中的1 , 5 , 9 , 1 3 , 2 5 诸单元进行线条中心距的检定。 采用测量准确度为1 u m的力 一 工显对上述单元进行测量 测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，并调焦清晰，然后使目镜中的分划线，依次对准待测单元中任一对相邻明 ( 或暗)线条的中心， 得读数 a : 和 a 2 ，两读数之差 81 J G 8 2 7 - 1 9 9 3。 一 。 ， 一 。 2 一 ， 即 为 该 对 线条 的 中 心 距 一次 测 量 值 对该 对 线条 测 量三 次， 取 平均 值，即为该对线条中心距的实测值。任选三对线条进行测量，三对线条中心距实测值的平均值 ，即为该 单元 的线条 中心距 的实测值 。 图 3 线宽测量原理 测得的各单元的线条中心距的实测值均应符合本规程第 5 条要求。1 6 A型分辨力板 “ 十”字中心对基线的对称偏差，对毛坯中心的对中偏差 采用测量准确度为 L ! a m的万工显对A 1 一 A 7 号板进行测量。 测量时，将分辨力板放在仪器工作台上，调焦清晰，使 目镜中的分划线依次与毛坯边缘相 切，与基线中心及 “ +”字中心相重合。获得读数值 二 I , a - 2 . ，二 ，x 7 ， 二 : ， 与， 、 诸量 ( 见图4 ) 。然后按式 ( 工 )与式 ( 2 )计算:(1)(2)v( ( 二 ， 一二 ) 一( 二一二 1 1 2