线锯切割机传动系统设计.doc

衢州学院毕业设计（论文）题目：线锯切割机传动系统设计作者：李广杰系（部）：机械工程学院专业班级：机械制造与自动化09级（2）班指导教师：林峰职称：副教授2012年1月3日衢州学院机械工程学院毕业设计（论文）任务书课题名称线锯切割机传动系统设计系别机械工程学院专业/班级09机电（2）班学生姓名李广杰学号3099123206指导教师林峰单位/职称机械工程学院/副教授课题来源科研课题成果形式图纸、设计说明书所属岗位机械制造类岗位一、毕业设计（论文）课题的主要内容、任务和目标、基本要求等：1主要内容本课题主要研究应用于硅片高效精密切割的线锯切割机结构及其工作原理。通过搜集相关文献资料，了解本课题国内外研究动态，确定设计研究方案；完成线锯切割机X轴直线导轨移动平台及传动系统、Y轴直线导轨移动平台及传动系统等相关零部件及装配图的设计；完成相关零部件设计说明书及其图纸。2主要任务和目标1）重点掌握线锯切割机传动系统零部件的选型、尺寸计算及基本设计方法；2）熟练掌握机械CAD软件的使用方法；3）掌握线锯切割机传动系统零件图及装配图的绘制方法。通过该课题的研究和设计，能够起到锻炼学生的实际动手设计能力、创新设计能力、理论联系实际的能力，为学生走上工作岗位进行了有益的实践锻炼和指导。3基本要求1）搜集国内外关于硅片精密切割及相关设备资料，初步确定整体设计方案，完成开题报告（不少于1000字）；2）根据分工安排，详细制订设计方案，对所设计内容进行分析、选型及计算；3）完成不少于5000字的设计说明书，要求格式符合规范；4）完成相关设计图纸3-4张。二、实践要求：在机械设计/机械制造/硅片加工等生产岗位从事顶岗实习16周，运用所学的专业知识进行产品设计和产品加工，并得到相关的实践技能训练。三、进度安排第1、2周：搜集、查阅相关文献资料，初步拟定整体设计方案，完成开题报告；第3、4周：对所设计内容进行分析、选型及计算；第5、6周：完成相关零部件图纸；第7周：整理设计说明书，绘制并打印必要的图纸，准备答辩；第8周：答辩。四、推荐的主要参考资料1机械设计手册2.机电一体化机械系统设计，赵松年等编写，机械工业出版社3机电一体化技术手册，机械工业出版社2同方数据库：/kns50/3万方数据库：/periodical.aspx指导教师签名年月日专业负责人签名年月日（注：课题来源填企业生产（管理）任务、产品开发、创新设计、科研课题等。）线锯切割机传动系统设计摘要目前，半导体材料广泛地应用于各种微电子领域，如计算机系统、电子通讯设备、汽车、消费电子系统和工业自动控制系统等，而绝大多数的半导体材料是采用硅晶片。切片是把单晶体硅由硅棒变成硅片一个重要工序，切片质量的好坏直接影响后续工序的工作量和成本，固结磨料线锯切片技术以及锯切效率高、锯口损耗小、面形精度高和切割环境清洁等优点，有望成为单晶硅等硬脆材料切片的未来发展方向。本文对电镀金刚石线锯切割单晶体硅技术进行了深入的研究。在理论上探讨了单晶硅各异性材料特性对电镀金刚石线锯切割硅晶片过程影响。分析了锯丝沿不同的晶面、晶向锯切对晶片的影响规律，并推荐了首选的锯丝切入方向。研究发现，在确定的工艺参数下，当锯丝切入方向使锯切两边材料的弹性模量分布关于锯丝切入方向呈对称性时，可有效地提高晶片面形质量。锯丝切入方向与被锯切晶面内的易开裂方向一致时，可有减少晶片表面破碎。本文提出电镀金刚石线锯切割机是用电镀的方法在金属丝上沉淀一层金属并在沉淀的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。利用固结在线锯丝基体上的金刚石磨粒直接磨削去除材料，减轻加工面表层磨伤，可用于硅晶体切片及高硬度材料切割加工。具有切割精度高、制造成本低、对环境无污染等优点。本课题主要研究应用于太阳能硅片高效精密切割的电镀金刚石线锯切割机。通过搜集相关文献资料，了解本课题国内外研究动态，