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文档简介

1、焊线工艺规范1 范围 ························2 2 工艺 ·······················

2、·23 焊接工艺参数范围 ·······················34 工艺调试程序 ····················55 工艺制具的选用 

3、83;················· 66 注意事项 ·················· 81 范围1.1 主题内容本规范确定了压焊的工艺能力、工艺要求 .工艺参数、工艺调试程序、工艺制具的选用及注意事项。1.2 适用范围 ASM-Eagle6

4、0. k&s1488机型。 适用于目前在线加工的所有产品。2 工艺2.1 工艺能力2.1.1 接垫最小尺寸:45µm×45µm2.1.2 最小接垫节距(相邻两接垫中心间距离):60µm2.1.3 最低线弧高度:6 mil2.1.4 最大线弧长度:7mm2.1.5 最高线弧高度:16mil2.1.6 直径:Eagle60:1875um , K&S1488: 1850um2.2 工艺要求2.2.1 键合位置2.2.1.1 键合面积不能有1/4以上在芯片压点之外,或触及其他金属体和没有钝化层的划片方格。2.2.1.2 在同一焊点上进行第二次键合

5、,重叠面积不能大于前键合面积的1/3。2.2.1.3 引线键合后与相邻的焊点或芯片压点相距不能小于引线直径的1倍。2.2.2 焊点状态2.2.2.1 键合面积的宽度不能小于引线直径的1倍或大于引线直径的3倍。2.2.2.2 焊点的长度:键合面积的长度不能小于引线直径的1倍或大于引线直径的4倍。2.2.2.3 不能因缺尾而造成键合面积减少1/4,丝尾的总长不能超出引线直径的2倍。2.2.2.4 键合的痕迹不能小于键合面积的2/3,且不能有虚焊和脱焊。 弧度2.2.3.1 引线不能有任何超过引线直径1/4的刻痕、损伤、死弯等。2.2.3.2 引线不能有任何不自然拱形弯曲,且拱丝高度不小于引线直径的

6、6倍,弯屏后拱丝最高点与屏蔽罩的距离不应小于2倍引线直径。2.2.3.3 不能使引线下塌在芯片边缘上或其距离小于引线直径的1倍。2.2.3.4 引线松动而造成相邻两引线间距小于引线直径的1倍或穿过其他引线和压点。2.2.3.5 焊点与引线之间不能有大于30º的夹角。2.2.4 芯片外观2.2.4.1 不能因键合而造成芯片的裂纹、伤痕和铜线短路。2.2.4.2 芯片表面不能有因键合而造成的金属熔渣、断丝和其他不能排除的污染物。2.2.4.3 芯片压点上不能缺丝、重焊或未按照打线图的规定造成错误键合。 键合强度2.2.5.1 对于25um线径拉力应大于5g,23um线径大于4g,30um

7、铜线大于7g 注: 当作破坏性试验时,断点不应发生在焊点上。2.2.5.2 对于25um线径,要求铜球剪切力大于25g. 框架不能有明显的变形,管脚.基岛镀层表面应致密光滑,色泽均匀呈银白色,不允许有沾污.水迹.斑点.异物.发花.起皮.起泡等缺陷.3. 焊接工艺参数3.1 关键工艺参数范围3.1.1 ASM-Eagle60焊线机预热温度(Preheat Temperature):220-230。焊区温度(Bond Site Temperature):230-240。Bond Parameters参数名称ContactBase1st2nd1st2ndTime(ms)0-50-58-1210-15

8、Power(Dac)0-600-6055-85100-170Force(g)50-18080-18055-85100-170Loop Parameters参数名称(Q)Auto LoopSquare LoopLoop Height(mils)7-147-14Neck/Reverse Angle50-800-3050-800-30LHT Correction/Scale OS0-1000-100Span Length-10%-90%2nd Kink HT Factor-20-70Pull Ratio0-15%0-15% 参数名称参数范围Wire Size(0.1mil)8-154500-5000

9、EFO Current(mA)5000-11000Efo time(us)1750-1850Ball Thickness(0.1mil)6-8EFO ParametersK&S1488焊线机预热温度(Preheat Temperature):220-230焊区温度(Bond Site Temperature)230-250Bond Parameters参数名称1st2ndBond time 12-1515-25Bond power 60-8590-120Bond force50-7590-120Usg delay0-200-50Ramp up0-2010-50Ranp down0-20

10、10-50Initial force0-2000-250Force time 0-100-20Force ramp time0-100-20Loop ParametersLoop typeLF2 standardworkLoop Height(um)180-300180-300EFO Parameters参数名称参数范围Wire Size(0.1mil)8-17Ball sizeEfo gap6-15Tail length75-150注:Wire Size根据铜线标称线径设置4 工艺调试程序:4.1 工艺调试员基本职责4.1.1 工艺调试员职责4.1.1.1 以“品质”和“UPH”为工作重点。

11、4.1.1.2 从工艺方面着手逐步消除影响品质和UPH的因素。4.1.1.3 进行过程监控。4.1.1.4 协助主管工作。4.1.1.5 监控当班期间工艺参数的适应性并作适当调整。4.1.1.6 监控当班期间劈刀状况并更换。4.1.1.7 夹具更换,调试和维护。4.1.1.8 填写相关记录。4.2 工艺监控程序:4.2.1 监控人:工艺调试员,工艺工程师。4.2.2 监控项目及参数4.2.2.1 第一点时间(T1)。4.2.2.2 第一点功率(P1)。4.2.2.3 第一点压力(F1)。4.2.2.4 第一点功率输出方式。4.2.2.5 第二点时间(T2)。4.2.2.6 第二点功率(P2)。

12、4.2.2.7 第二点压力(F2)。4.2.2.8 第二点功率输出方式。4.2.2.9 弧高。4.2.2.10 反弧。4.2.2.11 弧度因素。4.2.2.12 烧球尺寸(BS)。4.2.2.13 线径尺寸(WS)。4.2.2.14 预热时间(HT1)。4.2.2.15 加热时间(HT2)。4.2.2.16 预热温度。4.2.2.17 焊区温度。4.2.2.18 劈刀打线总数。 规定的首件检验项目。4.2.3 监控时机:4.2.3.1 更换型号后。4.2.3.2 设备重新调试.维修后。4.2.3.3 交接班后。4.2.3.4 换劈刀.铜丝后。4.2.3.5 新材料、新工艺投入生产后。4.2.

13、4 工艺调试员作业依据4.2.4.1 压焊作业指导书。4.2.4.2 ASM焊线机使用手册。4.2.4.3 本文件中的相关条款。5. 工艺制具的选用5.1 劈刀选用指导劈刀的选用应综合铜线线径、铝垫尺寸、铝垫间距、相邻弧高等因素来考虑。5.1.1 根据线径,选用劈刀孔径(H)估算公式为孔径(H)=铜丝线径+经验值(0.50.8mil)应用范例:.1 采用23-25µm线径产品,选用孔径(H)为30µm劈刀如:UTS-30IE-CM-1/16-XL或UTS-30HE-CM-1/16-XL。K&S:CU-N8-1224-R35。5.1.1.2 采用38-42µ

14、m铜丝的产品,选用孔径为46-56µm的劈刀如:UTS-46JI-CM-1/16-XL或UTS-56LJ-CM-1/16-XL. 5.1.2 根据铝垫尺寸选用内倒角直径(CD)大小估算公式为内倒角直径(CD)=铝垫尺寸-经验值(0.80.9mil)5.1.3 根据铝垫间距选用劈刀头部直径(T)的大小估算公式头部直径(T)=2×铝垫间距- 平均金球直径5.1.3.1 铝垫间距>110µm产品 可灵活选用UTS或CU“打头”的劈刀。5.1.4 根据相邻弧高和相邻间距选用劈刀头部形状5.1.4.1 如果相邻间距120µm产品,一般选用CU“打头”劈刀。5

15、.1.4.2 如果相邻间距>120µm产品,一般选用UTS “打头”劈刀。5.2 附录 (SPT)1.TIP Stype 劈刀头部类型11.Main Taper Angle(MTA)外端面锥度(外端面夹角)2.Face Angle 头部端面角 10.Tool Length 劈刀长度3.Chamfer Angle 内倒角角度9. Tool Diameter 劈刀外圆直径4.Hole Size 内孔直径8. Finish 表面处理状况5.Tip Diameter 劈刀头部直径7. Materiai 材料6.Chamfer Diameter倒角直径1. ip Stype:SBN Fi

16、ne Pitch with to deg Slinline Bottleneck(for Tµm).细间距,瓶颈端面角为100(T<165µm)UT Standard capillary with Face Angle for non-Fine Pitch application.普通型劈刀不适于细间距焊接使用CSAStandard capillary with a 00 Face Angle for nin-Fine Pitch application.普通型劈刀,头部端面角为00,FA=00不适于细间距焊接使用2. Face Angle:Z-00 F-40 S-8

17、0 E-110 FA-头部端面角3. Chamfer Angle:Standard-900(no need to specify) 内倒角角度:标准为900 4.Hole Size5.Tip Diameter6.Chamfer Diameter25 µm (.0010")W=70 µm (.0028")A=35 µm (.0014")28 µm (.0011")Y=75 µm (.0030")B=41 µm (.0016")30 µm (.0012")Z=

18、80 µm (.0032")C=46 µm (.0018")33 µm (.0013")A=90 µm (.0035")D=51 µm (.0020")35 µm (.0014")B=100 µm (.0039")E=58 µm (.0023")38 µm (.0015")C=110 µm (.0043")F=64 µm (.0025")41 µm (.0016&qu

19、ot;)D=120 µm (.0047")G=68 µm (.0027")43 µm (.0017")E=130 µm (.0051")H=74 µm (.0029")46 µm (.0018")F=140 µm (.0055")I=78 µm (.0031")51 µm (.0020")G=150 µm (.0059")J=86 µm (.0034")56 µm (

20、.0022")H=165 µm (.0065")K=92 µm (.0036")64 µm (.0025")I=180 µm (.0071")L=100 µm (.0039")68 µm (.0027")J=200 µm (.0079)M=114 µm (.0045")75 µm (.0030")K=225 µm (.0089")N=127 µm (.0050")5.4 压焊夹具选用:5.4.1 压焊夹具选用依据5.4.1.1 各机型夹具配置。5.4.1.2 封装规格。5.4.1.3 框架载体尺寸。5.4.1.4 框架载体凹深。5.4.2 压焊夹具选用要求5.4.2.1 框架上机后,所有焊接区不能有松动现象。5.4.2.2 框架上机后要有足够的焊接

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