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AutoMode1,手指轻触屏幕(图一),进入Main 二),在“Main”模式下,点击“Operations”按钮。系统进入OperationsStatus.(图三)2,等待样品到达传送带上3,查看“Recipe”框,是否是你要选择的Recipe号码。按 “-”钮,可以选择您想要的Recipe按下方“SetRecipe修改请联系设备人员Graphic页面,并显示机台工作状态参数。5ChamberCycleChamber里充入空气,数秒Chamber内,如此循环。在过程中,您还可以根据自己的需要按“Stop”或“Pause”按钮,停止或暂停进程。(ManualMode) 在Main 输入×××,回车。系统就进入ManualMode. 3,用手动模式依次点击“Chamberup/down”=>“VacuumOn/Off”=>“GasOn/Off”=>“ smaOn/Off”=>“Bleed并在每一步中的“Reads”钮,查看系统processvariables状况。
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