检测技术压力传感器霍尔传感器

实验十压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。二、基本原理扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，则其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。三、实验器材主机箱、压阻式压力传感器、压力传感器实验模板、引压胶管。四、实验步骤1、将压力传感器安装在实验模板的支架上，根据图4-1连接管路和电路（主机箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好）。引压胶管一端插入主机箱面板上气源的快速接口中（注意管子拆卸时请用双指按住气源快速接口边缘往内压，则可轻松拉出），另一端口与压力传感器相连。压力传感器引线为4芯线：1端接地线，2端为U0＋，3端接＋4V电源，4端为Uo－。图4-1压阻式压力传感器测压实验安装、接线图2、实验模板上RW2用于调节放大器零位，RW1调节放大器增益。按图4-1将实验模板的放大器输出V02接到主机箱电压表的Vin插孔，将主机箱中的显示选择开关拨到2V档，合上主机箱电源开关，RW1旋到满度的1／3位置（即逆时针旋到底再顺时针旋2圈），仔细调节RW2使主机箱电压表显示为零。3、合上主机箱上的气源开关，启动压缩泵，逆时针旋转转子流量计下端调压阀的旋钮，此时可看到流量计中的滚珠向上浮起悬于玻璃管中，同时观察气压表和电压表的变化。4、调节流量计旋钮，使气压表显示某一值，观察电压表显示的数值。袋5印、仔寒细地锈逐步亭调节辫流量告计旋宝钮，物使压安力在扎2阻～示18京KP移a翠之间讯变化紧，每贞上升激1K啊Pa和掩气压遥分别耍读取林电压夫表读膛数，村将数其值列替于表沟4-他1洁。亡表丘4-敬1井P(橡KP出a)搜2剪3融4热5絮6掌7减8穗9魔10木Vo雀(p吓-p繁)恩P(循KP束a)艰11挺12打13轧14惩15甲16伪17子18蜘Vo宣(p值-p塞)派6芹、画迁出实谨验曲离线计或算本腹系统因的灵杀敏度四和非团线性毫误差扬。是实验枣完毕镜，关冒闭电龄源。位五、厦思考轻题货眨如果朴本实痰验装鲁置要酒成为校一个欠压力涌计，堡则必止须对崖电路牌进行稿标定都。帜条方法完采用肚逼近孤法：洋输入垒4K梅Pa取夜气压弄，调袜节寇Rw炎2紫（低信限调禾节）蜘，使剃电压燥表显爹示0沙.2逆5V羊（有那意偏颜小）朱，输厘入崇16种KP畏a太气压断，调焦节隙Rw护1头（高碧限调优节）怒，使萍电压援表显岛示迷1.朵2V箩（有绩意偏干小）长；再教调气束压为男4K月Pa萍，调膊节坛Rw段2店（低次限调桃节）仔，使吧电压鸦表显唉示0嗽.3征V套（有贸意偏浅小）焰，调汗气压势为朵16耽KP推a盈，调贷节云Rw耻1侧（高眉限调旷节）梨使电交压表外显示净1.泄3V茎（有若意偏帐小）为；这忧个过极程反茂复调页节，依直到其逼近煮自己费的要悼求（迟4K纹Pa吨～密0.楼4V茄，拳16胡KP不a作～砌1.昼6V教），性满足蔑足够芽的精爱度即喇可。妻实验肉十一胖压电气式传弯感器蜡振动告测量触实验贺一、抄实验首目的据革了解安压电狮传感摇器的昼测量刺振动底的原孝理和腐方法嘱。从二、需基本裙原理滴少压电翁式传租感器器由惯礼性质攀量块农和受弊压的系压电浩片等巩组成扬（观野察实幸验用突压电盐加速提度计歪结构驱）。华工作览时传工感器沸感受级与试冒件相肯同频写率的月振动残，质番量块推便有晕正比师于加让速度毁的交抄变力轧作用冒在晶由片上奖，由请于压胸电效击应，淹压电印晶片锐上产岗生正克比于屑运动踏加速挨度的萌表面她电荷跳。口三、眠实验廊器材进泉主机延箱、幻差动范变压腥器实茎验模滚板、巩振动徒源、矩示波谜器。巨图虹4-子2郑压电绕传感屑器振律动实悬验原倦理图蛇图姑4-洁3潜压电森传感原器振侮动实县验安奴装、摇接线袄示意神图叶四、广实验南步骤明1窑、按屈图菊4-行3俭所示布将压脆电传令感器屋安装灵在振渴动台悄面上凡（与趋振动撕台面违中心默的磁扣钢吸袋合）津，振显动源影的低训频输岔入接贴主机惠箱中萌的低续频振找荡器拐，其材它连悲线按黑图示欢意接酿线。腐2踩、合曲上主论机箱岂电源匠开关赌，调蚁节低索频振唱荡器翻的频重率和装幅度哪旋钮劳使振随动台幸振动向，观棍察低直通滤唯波器呀输出把的波柴形。哨3沉、用微示波据器的截两个凯通道衰同时眠观察盘低通筒滤波唉器输滔入端掀和输哨出端伤波形跳；在彻振动暗台正种常振赛动时台用手观指敲掀击振热动台押同时汽观察借输出厌波形式变化插。管4批、改铜变振攻动源文的振欣荡频徒率（蛛调节浩主机型箱低仁频振诵荡器酒的频址率）慢，观驴察输坐出波带形变向化。拉低频绝振荡却器的拜幅度樱旋钮鸭固定店至最探大，狸调节凭频率帐，调贷节时疮用频乏率表刑监测虏频率旷，用胜示波诵器读餐出吃峰峰桂值填坊入表冬4-义2樱。实厘验完畜毕，为关闭脉电源窄。箱表冒4-奸2增f(宁Hz郑)词5聚7宁12争15乓17悉20叶25判V(评p-神p)涨五、火思考青题科根据面实验近结果傻，可岁以知燥道振绝动台降的自专振频浅率大熟致多销少？扇传感初器输竹出波梅形的触相位访差Δ暮φ大驰致植为多楼少？磨实验隐十二旺电涡摩流传织感器乖位移纵实验铅一、藏实验涨目的饶刷了解敞电涡结流传骗感器桶测量核位移勿的工乓作原乡理和最特性灭。废二、骡基本丘原理卸捞通过召交变栽电流钥的线冷圈产喇生交蓄变磁泉场，霞当金劳属体区处在捎交变耳磁场撞时，廉根据侵电磁愚感应段原理宝，金扬属体愁内产鹿生电司流，君该电标流在葵金属捧体内床自行压闭合界，并拉呈旋坚涡状烘，故拜称为安涡流坚。脏怎涡流甩的大扰小与占金属岭导体吴的电垄阻率意、导术磁率套、厚处度、译线圈叠激磁脾电流盖频率净及线再圈与谷金属贵体表断面的宰距离虑ｘ等闷参数混有关乞。午择电涡峰流的桂产生准必然叙要消援耗一访部分计磁场最能量径，从姑而改产变激狠磁线涨线圈添阻抗冤，涡伙流传塔感器顾就是抵基于切这种讨涡流兴效应浊制成馒的。扬电涡拦流工越作在陶非接诚触状据态（票线圈绝与金烈属体华表面看不接胸触）城，当勤线圈竖与金年属体割表面系的距扰离ｘ剥以外纠的所庙有参全数一躁定时猪可以毅进行皇位移锯测量衫。策三、灯实验搬器材命申主机叙箱、婆电涡黎流传状感器仪实验跳模板羡、电锅涡流众传感云器、夹测微汗头、肚被测窗体（劳铁圆户片）屋。臭四、劲实验肠步骤葛图档4-鞋4评电涡俱流传娃感器捐原理倚图蹲图盯4-筋5怨电涡租流传秩感器醉安装注、按鸦线示瓣意图狗1城、守观察腹传感浙器结沟构，浸这是封一个僚平绕剑线圈聚。根显据图影4-释5蒜安装臭测微固头、怪被测粮体、岭电涡吵流传般感器国并接沉线。瞎2挤、调脏节测拼微头世使被鲜测体姻与传豪感器叨端部对接触厌，将息电压卵表显梅示选言择开始关切士换到玻20李V暮档，包检查汁接线唇无误前后开塘启主各机箱培电源拼开关复，记攀下电长压表暴读数欲，然坡后每旗隔约0.涌1m违m刮读一躁个数樱，直燃到输朋出几割乎不萌变为杨止。转将数请据列夹入表轻4-岸2稀。员表伙4-质2负电涡邀流传菌感器薪位移牧X煮与输珍出电笨压数献据弹X(搞mm讽)婚0具0.悲1陕0.煤2饥0.狼3煮0.喊4晨0.虾5吩0.批6巷0.森7斜0.刻8支0.垒9耻V(弊v)垮X(启mm年)菌1.汁0外1.胁1赖1.很2连1.荒3羡1.捆4艺1.弦5岁1.奥6概1.固7品1.馒8间1.膀9迅V(稼v)诞X(诚mm驶)辟2.役0行2.笔1刘2.旗2贷2.贿3暑2.蔽4助2.康5穷2.土6支2.嫌7离2.砍8典2.详9莫V(孟v)份X(奸mm损)外3.糠0及3.壳1缠3.虹2薪3.何3还3.验4溉3.嘱5症3.石6焦3.涛7福3.逆8徒3.味9魄V(倍v)私X(无mm汤)姨4.顺0巴4.夕5掠5.蹲0定5.英5撒6.丈0受6.甲5帮7.贴0昨7.签5势8.免0撤8.火5兔V(宅v)觉X(揭mm土)娘9.慈0逝9.抢5劝10觉.0妇10墙.5糖11密.0男11旺.5掀12境.0途12院.5去13详.0赶13菜.5化V(贯v)否3吃、画当出煎V泻－宁X逮曲线腿，根绝据曲叠线找蝇出线禽性区闪域及六进行步正、貌负位芳移测麦量时豪的最绸佳工水作点锣（即判线余线性遵段的甘中点坑）。遗试计注算测树量范嫂围为秩1m秧m短与笨3度mm券时的歼灵敏列度和舟线性庭度（匀可以喉用端碎基法潜或其围它拟饥合直做线）桃。实栋验完恋毕，读关闭遇电源如。部五、灰思考宁题样1参、电织涡流途传感复器的伞量程遵与哪配些因版素有狡关，它如果认需要鼓测量搞±醋5m闻m码的量煮程应捐如何希设计摩传感滋器？各2胳、用袜电涡雹流传好感器捷进行泊非接袜触位绳移测辆量时亩，如比何根便据量棚程使公用选负用传牌感器羊。迹实验呈十五孩直流写激励扒时线平性霍存尔传啊感器到的位吸移特览性实点验皮一、久实验册目的洒标了解凑霍尔闯式传爷感器辞原理砍与应窜用。离二、典基本芬原理寄皱根据躺霍尔臂效应需，霍漂尔电亡势纲U吼H闸＝锋K唉H莲·贸I突B样，当京霍尔上元件喉处在暖梯度接磁场场中运联动时查，它讲的电限势会情发生巡变化搬，利穴用这奸一性纵质可拆以进堤行位者移测俘量。旱三、棍实验君器材猜恶主机父箱、尺霍尔饲传感降器实删验模怕板、贩霍尔黑传感盯器、治测微币头。方四、德实验抖步骤逃图剩5-讽1袄霍尔塌传感跑器（追直流做激励守）实智验原蝶理图后图吊5-望2奇霍尔燃传感僵器（绘直流仗激励肥）位例移实劣验接秋线示妇意图元1宾、按抛图略5-懒2体示意杀图接适线（涨实验授模板吹的输膏出Ｖ石o1嫁姻接主乘机箱梳电压绑表的县Ｖ望in正），记将主凳机箱通上的璃电压厅表量票程（远显示细选择佛）开那关打口到２金v苹档。挪2估、检体查接套线无芒误后烦，开隶启电偷源，释调节无测微库头使驾霍尔皆片处桐在两负磁钢锋的中晌间位续置，序再调悦节紫Rw考1肿使漏数显钻表指狭示为敢零。森3软、向源某个鸟方向震调节骗测微学头滤2草ｍｍ借位移捧，记另录电弃压表标读数妈作为斤实验垮起始片点；妥驰再反矿方向讽调节吃测微丸头，斧每增过加物0.骄2m艇m陵记下吗一个内读数陵（建朴议做替4世ｍｍ他位移办），绕将读恰数填态入表点5-欣1我。言表极5-闻1括X(痰mm书)肯0轻0.赖2步0.粉4竭0.烦6悲0.鉴8摸1.低0牲1.援2呀1.困4逗1.姑6欢1.在8反2.因0脏V(架mv奔)误X(青mm挣)笨2.森2季2.葵4塘2.贤6绢2.君8身3.总0领3.巩2危3.考4茅3.奉6诚3.跟8枝4.近0亦V(并mv捞)陡作出拍V拒－罗X贞曲线咬，计溪算不梅同测竖量范劳围时乱的灵餐敏度鸟和非典线性优误差疼。历实验兽完毕惕，关宝闭电凳源。揭五、馅思考饱题捐本实喜验中圆霍尔艰元件傲位移馋的线午性度肚实际划上反耳映的灯是什让么量插的变颜化？锻实验好十六溉交流纱激励口时霍放尔式渔传感墓器的挠位移充实验伟一、则实验立目的泄耍了解伙交流做激励赶时霍讽尔式暮传感俭器的腹特性久。猛二、默基本叮原理丰乡交流喝激励蜡时霍妹尔式均传感恳器与源直流民激励科一样膊，基晓本工浓作原晒理相磨同，辩不同决之处拒是测验量电勺路。霞三、拘实验乓器材漠良主机赔箱、万测微箱头、泥霍尔倒传感险器、执霍尔慧传感叉器实徐验模脏板、耀移相谁器／揭相敏葬检波中器／笼低通尸滤波牵器模嚷板、师双线到示波遭器。突四、章实验保步骤有图糕5-惰3道霍尔启传感萄器（培交流捆激励暴）实劝验原罢理图旨1床、实糊验模处板接登线见祖图境5-云4境（注恢意：鸦暂时塑不要搞将主慎机箱帽中的栗音频陪振荡杠器Ｌ刺v符接入韵实验辞模板施）。句2询、首贞先检写查接兴线无取误后漫，合驳上主用机箱答总电笛源开参关。耐唯调节里主机向箱音锦频振糟动器弟的频命率和课幅度搁旋钮日，用钢示波自器、情频率疲表监遮测碧Lv把输出书频率砖为沈1K扒Hz迷、递峰峰岭值为灰4V迷的信三号。撞肚关闭浓主机以箱电招源，孩将域Lv活输出奋信号引作为暖传感惑器的由激励徒电压踩接入肢图赵5-乏4谜的实惭验模移板中显。赚栏（注何意：蒙Lv稳电压精峰峰沈值为蚊4V傲，幅摸值过我大会但烧坏纠传感滩器）东3如、合挪上主椒机箱冲电源满，调让节测川微头买使霍羽尔传蛋感器唯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