2023年-pvd作业指导书

2023-2023-pvd2023-2023-pvd本文局部内容来自网络整理，本司不为其真实性负责，如有异议或侵权请准时联系，本司将马上删除！pvd篇一：PVD真空镀膜机作业指导书一．开机检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作〔水压需到达0.4Mpa〕。检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作〔0.5Mpa〕。开启电源开关，翻开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在1、21、2》四个开关。即集中泵升温〔1〕。距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分钟冷却时间过后，按二．生产操作确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置完毕。待真空室大门吸合即可。当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集器制冷功能。此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详述，即为口述。工艺完成后，关闭电子枪、离子源〔必需先归零灯丝电〕等开关，翻开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手〔此处必需留意除维持泵、集中泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不行按下，以免操作失误造成集中泵暴露大气！〕，F3，30〔注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆〕三．停机的全部开关。〔注：此停机开关，正常生产中严禁开启〕冷却塔，激进泵。注：以上全部操作必需严格执行，未经允许不行更改(来自:pvd作业指导书)，假设应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将担当相应责任。警告:本机器有多处高压变压器，电压高达篇二：PVD操作使用说明“稀土永磁材料外表防护磁控溅射”使用说明掌握和显示面板名目系统抽气...................................................................................................................................3大腔室抽.....................................................3小腔室抽.....................................................3大腔室抽气系统关.....................................3小腔室抽气系统关.....................................3离子源的工作...........................................................................................................................41.............................................42.............................................53.............................................5磁控圆形靶的使用...................................................................................................................5C1C4............................................5磁控矩形靶的使用...................................................................................................................8中频电源的使.............................................92.........................................9样品转盘的使用.....................................................................................................................10真空室1样品转盘的使...........................10真空室2样品转盘的使...........................10加热电源的使用.....................................................................................................................10励磁电源的使用.....................................................................................................................11升降电机的使用.....................................................................................................................11状态指示.................................................................................................................................11靶材更换.................................................................................................................................12圆形靶的更...............................................12矩形靶的更...............................................12软件连锁说明.........................................................................................................................12偏压的操作.............................................................................................................................13系统抽气>20Pa，2，1。1，1，1。然后2〔也可以不使用〕指示灯变绿，表示分子泵到达额定转速)，1〔也可以不使用〕。?留意：翻开旁抽阀12时，必需先关闭截止阀，和挡板阀、闸板阀！?12！小腔室抽气?粗抽：当小腔室真空度>20Pa，2，2<=20Pa2，3-5450RPM(指示灯变绿，表示分子泵到达2，进展主抽。?留意：翻开旁抽阀12时，必需先关闭截止阀，和挡板阀、闸板阀！?12！大腔室抽气系统关闭1，5-10?关闭分子泵1，等待转速下降小腔室抽气系统关闭2，5-10?关闭分子泵2，等待转速下降离子源的工作1I〕，5〔此时其余进气阀门应关闭〕，对气路管道抽气。2〔3-10sccm〕。等2?在“目标位置”输入设定值掌握节流阀阀板的角度〔0-90，090〕/启动”按键，等待“当前位置”显示值与“目标位置”设定值全都时，观看当前真空度。1.5X10-2Pa~7.0X10-2Pa如下：开启离子源面板“总开关”〔留意：开启前确认全部调整旋钮在最小位置〕150V右。翻开“灯丝开关”，将灯丝电流缓慢调至10A左右。缓慢调整“阳极电流调整”旋钮，直至消灭阳极电流。/“节流阀”角度，并适当转变离子源工作真空度。等待阳极电流稳定后手动翻开离子源挡板，进展清洗或镀膜。???接触离子源电极以及输出端子前，必需先确认各指针表归零！留意：灯丝电流工10-15A，20A！200V！2I〕，4〔此时其余进气阀门应关闭〕，对气路管道抽气。〔3-10sccm〕。?等1II〕，9〔此时其余进气阀门应关闭〕，对气路管道抽气。〔3-10sccm〕。?等4磁控圆形靶的使用C1C4I〕，1，选2/3，对气路管道抽气。篇三：3号真空镀膜机作业指导书(生产部06)1.目的：为了标准PVD作业流程，合理、准