直拉单晶炉

直拉单晶炉Tag内容描述：<p>1、直拉单晶硅工艺技术,主讲教师：裴迪石油化工学院,1,(1)热场的概念热场也称温度场。热系统内的温度分布状态叫热场。煅烧时，热系统内的温度分布相对稳定，称为静态热场。在单晶生长过程中，热场是会发生变化，称为动态热场。单晶生长时，由于不断发生物相的转化(液相转化为固相)，不断放出固相潜热，同时，晶体越拉越长，熔体液面不断下降，热量的传导、辐射等情况都在发生变化，所以热场是变化的，称为动态热场。,热场。</p><p>2、合肥工业大学 本论文经答辩委员会全体委员审查，确认符合合肥工业大 学硕士学位论文质量要求。 答辩委员会签名：( 工作单位、职称) 主席： 委员： 导 毒希维墨钣膨兹绽 船砂氕弓 7 扣、忍镌础石舌 蓐I J 承疲 以之。</p><p>3、浙江大学 硕士学位论文 CZ150直拉单晶炉 热场控制系统的研究 姓名 刘兵 申请学位级别 硕士 专业 机械电子工程 指导教师 李世伦 20060501 学号塑i 叁竺 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的。</p><p>4、直拉单晶硅工艺技术直拉单晶硅工艺技术 主讲教师：裴迪 石油化工学院 主讲教师：裴迪 石油化工学院 1 第二章 直拉单晶炉第二章 直拉单晶炉 直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。 炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。 炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石 墨加热器和石墨保温套构成的热场。 籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉 内，两轴具有转动和升降的机械传动系统。 下轴顶端装有石英坩埚。</p><p>5、直拉单晶硅工艺技术,主讲教师：裴迪 石油化工学院,1,直拉单晶炉的热系统,直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料，并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统，它包括：加热器、保温罩、保温盖、托碗（石墨坩埚）、电极等部件。它们是由耐高温的高纯石墨和碳毡材料加工而成的。,加热系统长期使用在高温下，所以要求石墨材质结构均匀致密、坚固、耐用，变形小，无空洞，气孔率24%，无裂纹，弯曲强度4060MPa，颗粒度。</p>