阻传感器

阻传感器Tag内容描述：<p>1、压阻式传感器piezoresistancetypetransducer利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制（见加速度计） 。压阻效应 当力作用于硅晶体时，晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化，扰动了载流子纵向和横向的平均量，从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向。</p><p>2、压阻式传感器,1. 半导体的压阻效应 2. 体型半导体应变片 3. 扩散型压阻式压力传感器 4. 压阻式加速度传感器 5. 压阻式传感器的测量电路 6. 压阻式传感器的应用,1. 半导体的压阻效应,固体材料受到压力后，它的电阻率将发生一定的变化，所有的固体材料都有这个特点，其中以半导体最为显著。 当半导体材料在某一方向上承受力时，它的电阻率将 发生显著变化，这种现象称为半导体压阻效应。 压阻式。</p><p>3、压阻式传感器,1. 半导体的压阻效应 2. 体型半导体应变片 3. 扩散型压阻式压力传感器 4. 压阻式加速度传感器 5. 压阻式传感器的测量电路 6. 压阻式传感器的应用,1. 半导体的压阻效应,固体材料受到压力后，它的电阻率将发生一定的变化，所有的固体材料都有这个特点，其中以半导体最为显著。 当半导体材料在某一方向上承受力时，它的电阻率将 发生显著变化，这种现象称为半导体压阻效应。 压阻式。</p><p>4、13.1压阻效应13.2晶向的表示方法13.3压阻系数13.4压阻式传感器13.5压阻式传感器的温度补偿13.6集成压阻式传感器,第十三章压阻式传感器,压阻式传感器分类,粘贴型压阻传感器：半导体应变片固态压阻传感器（扩散型压阻传感器）：应变电阻与硅基片一体化,2,13.1概述,压阻效应：当固体材料在某一方向承受应力时，其电阻率（或电阻）发生变化的现象。半导体（单晶硅）材料受到外力作用，产生。</p><p>5、,1,第二节压阻式传感器,7.2.1半导体的压阻效应7.2.2压阻式压力传感器原理和电路(1)体型半导体应变片(2)扩散型压阻式压力传感器(3)测量桥路及温度补偿7.2.3压阻式传感器的应用,下一页,返回,.,2,7.2.1半导体的压阻效应,固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应半导体材料的压阻效应特别强。压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它。</p><p>6、精选,压阻式传感器,1.半导体的压阻效应2.体型半导体应变片3.扩散型压阻式压力传感器4.压阻式加速度传感器5.压阻式传感器的测量电路6.压阻式传感器的应用,精选,1.半导体的压阻效应,固体材料受到压力后，它的电阻率将发生一定的变化，所有的固体材料都有这个特点，其中以半导体最为显著。当半导体材料在某一方向上承受力时，它的电阻率将发生显著变化，这种现象称为半导体压阻效应。压阻式传感器的灵敏系数大。</p><p>7、第二节压阻式传感器,2.2.1半导体的压阻效应2.2.2体型半导体应变片2.2.3扩散型压阻式压力传感器2.2.4压阻式加速度传感器2.2.5测量桥路及温度补偿,下一页,返回,2.2.1半导体的压阻效应,单晶半导体材料在受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应半导体材料的压阻效应特别强。压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速度。</p><p>8、第二节压阻式传感器,7.2.1半导体的压阻效应7.2.2压阻式压力传感器原理和电路(1)体型半导体应变片(2)扩散型压阻式压力传感器(3)测量桥路及温度补偿7.2.3压阻式传感器的应用,下一页,返回,7.2.1半导体的压阻效应,固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应半导体材料的压阻效应特别强。压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测量压力。</p><p>9、第二节 半导体压阻式传感器,2.2.1 半导体的压阻效应 2.2.2 体型半导体应变片 2.2.3 扩散型压阻式压力传感器 2.2.4 压阻式加速度传感器 2.2.5 测量桥路及温度补偿,下一页,返 回,2.2.1 半导体的压阻效应,压阻效应：固体材料受到作用力后，其电阻率发生变化。 半导体材料的压阻效应特别强。 灵敏系数大，分辨率高，频率响应好，体积小。用于测量压力、加速度和载荷等。 半导体。</p><p>10、压力单位换算表,表3-1 压力单位换算表,（一）压力的概念 大气压力：地球表面的空气柱重量所产生的压力 绝对压力：p=pH+pB，是气体所处空间的全部压力 表压力： pB= p-pH，高于大气压的绝对压力与大 气压力之差。,一、应变式压力传感器,（二）种类 测量压力的传感器可分为： 1、绝对压力传感器 2、相对压力传感器（表压） 3、差压传感器,（三）应变式压力传感器,应变片粘贴在 测量压力的弹性元件表面（即感压膜片）。 弹性敏感元件为周边固定圆形金属平膜片。膜片受压力变形时，中心处径向应变和切向应变均达到正的最大值，而边缘处径向应。</p>