标准解读

《GB/T 32386-2015 电子工业用气体 六氟化钨》是一项国家标准，主要针对电子工业中使用的六氟化钨气体的质量控制和技术要求进行了规定。该标准详细描述了六氟化钨气体的纯度要求、杂质含量限制以及相关的测试方法等内容，旨在确保这种特殊气体在半导体制造等高技术领域的应用时能够达到所需的性能标准。

根据标准内容，六氟化钨（WF6）作为重要的电子特气之一，在集成电路制造过程中被广泛用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）等工艺中形成钨薄膜。为了保证最终产品的质量和稳定性，标准对六氟化钨中的水分、氧气、氮气、一氧化碳、二氧化碳以及其他可能存在的微量杂质设定了严格的上限值。此外，还特别强调了包装容器的选择与处理方式，以避免外部因素导致的产品污染或变质问题。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2015-12-31 颁布
  • 2016-07-01 实施
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文档简介

ICS7110020 G 86 . . 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T323862015 电子工业用气体 六氟化钨 GasesforelectronicindustryTungstenhexaflouride2015-12-31发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/T323862015 前 言 本标准按照 给出的规则起草 GB/T1.12009 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 提出并归口 (SAC/TC203) 。 本标准起草单位 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 厦门钨业股份有限公司 西南化工研究 : 、 、设计院有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海仪盟电子科技有限公司 、 、 。 本标准主要起草人 郑秋艳 江海风 王占卫 方兰兰 林竹光 王志信 方华 杨任 周鹏云 : 、 、 、 、 、 、 、 、 。 GB/T323862015 电子工业用气体 六氟化钨 1 范围 本标准规定了六氟化钨的技术要求 试验方法 包装 标志 贮运和安全 、 、 、 、 。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨 该产品主要用于电子工业中金属钨化学 。 气相沉积工艺 钨材料的制备等 、 。 分子式 :WF6。 分子量 按 年国际相对原子质量计算 :297.8304192( 2009 )。2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 。 , ( ) 。 危险货物包装标志 GB190 工业用化学产品采样安全通则 GB/T3723 钢质无缝气瓶 GB5099 气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第 部分 渗透法 GB/T5275.10 10 : 气瓶颜色标志 GB7144 液化气体气瓶充装规定 GB14193 化学品安全标签编写规定 GB15258 气瓶警示标签 GB16804 特种气体储存期规范 GB/T26571 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T28726 工业企业设计卫生标准 TJ36-79 气瓶安全监察规程 版 (2000 ) 危险化学品安全管理条例 版 (2002 ) 特种设备安全监察条例 版 (2009 )3 技术要求 六氟化钨的技术指标应符合表 要求 1 。 表 1 技术指标 项 目 名 称 指 标 六氟化钨 纯度 体积分数 -2 (WF6) ( )/10 99.9 99.999 99.9995 99.9999 四氟化碳 含量 体积分数 -6 (CF4) (
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