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文档简介

-精选财经经济类资料- -最新财经经济资料-感谢阅读- 1 纳米压印光刻技术 近年来纳米压印技术迅猛发展， 已引起业界广泛关注。纳米压印是一种 全新的纳米图型复制方法，利用不同材 料之间的杨氏模量差，使两种材料之间 相互作用来完成图型的复制转移。与传 统的光刻工艺相比，压印技术不是通过 改变抗蚀剂的化学特性实现抗蚀剂的图 形化，而是通过抗蚀剂的受力变形实现 其图形化。纳米压印自 1995 年被普林 斯顿大学纳米结构实验室的华裔科学家 Stephen Y. Chou 教授提出后，在热压印、 紫外常温压印、微接触压印技术基础上 发展出了许多新工艺。 中国论文网 /8/view-12723655.htm 本书详细介绍了纳米压印技术的 -精选财经经济类资料- -最新财经经济资料-感谢阅读- 2 原理、特点、关键技术、工艺及应用， 主要涉及压印研究现状、模板的制备和 处理、压印用光刻胶、压印工艺以及压 印理论等内容，着重阐述了纳米压印技 术在半导体光电器件、半导体存储器件 等领域应用的最新研究成果。本书共 10 章：1.引言；2.纳米压印光刻原理及现 状；3.模板制备；4. 模板表面处理；5. 纳米压印光刻胶；6. 纳米压印光刻过程； 7.纳米压印光刻建模与仿真；8.纳米压 印光刻在发光二极管中的应用；9.纳米 压印光刻在内存器件中的应用；10.纳米 压印光刻在太阳能电池中的应用。 本书基于作者所在单位纳米加工 技术实验室的研究工作以及近年来在纳 米压印方面的研究成果编写而成，可供 微纳加工、电子器件、生物芯片等领域 的科研人员及工程技术人员参考，也可 作为高等院校相关专业研究生和高年级 本科生的教材或参考书。 作者周伟民是中国科学院上海微 系统与信息技术研究所博士后，上海市 -精选财经经济类资料- -最新财经经济资料-感谢阅读- 3 纳米科技与产业发展促进中心纳米科技 实验室副研究员，主要从事纳米压印技 术研究。 杜利东，助理研究员 （中国科学院电子学研究所） Du Lidong，Assis
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