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文档简介
第一章 高温氧化 材料科学与工程学院 金属材料系 一、 金属的高温氧化 金属的氧化 :金属与氧化性介质反应生成氧化物的过程。 2a M + b O2 = 2 MaOb 含氧气体 :空气,H2O, 以及其他含氧气体 含硫气体 : SO2,SO3,H2S 含碳气体 : CO,CO2,CH4 卤 素 : Cl2,HCl 含氮气体 : 空气,NH3 熔 融 盐 : Na2SO4,K2SO4,NaCl,KCl,Na2CO4, K2CO4 在它们的熔点以上 灰份/沉积盐 : V2O5,MoO3,Na2SO4(固态) 液态金属 : Al在660,Na在97.8以上 狭义的氧化, 广义的氧化, 氧化与热腐蚀, 高温腐蚀 1.1、 高温氧化基础 工业背景: 工业设备或工艺 规程 腐蚀环境腐蚀现象 使用的主要材 料及表面处理 燃气轮机 航空发动机叶片 发电机叶片 蒸气涡轮叶片 金属温度约1300K,燃气中含有CO、 H2O、SO2等气体;硫酸钠系熔融灰分附 着;离心力,热应力等负荷 金属温度约1050K,燃气;钒化合物、 Na2SO4系熔融灰附着;离心力,热应力 等负荷 高温高压水蒸气(约840K,24.6MPa) 复杂气氛中高温氧化 ,高温硫化腐蚀,磨 蚀 复杂气氛中高温氧化 ,高温硫化腐蚀,钒 腐蚀;磨蚀 高温高压下水蒸气氧 化;磨蚀 镍基耐热合金 、铬、铝等金属 渗层 镍基耐热合金 、铬、铝等金属 渗层 铁素体不锈钢 锅炉 过热器管(火焰侧 面) 过热管(蒸气侧面 ),空气预热管 金属温度约880K,燃气(通过燃烧在锅 炉内局部生成还原气氛);钒化物、 Na2SO4熔融灰附着(煤燃烧时常常是铁 、钾的化合物) 蒸气温度约840K;压力约25MPa,温度 低于470K,硫酸冷凝 复杂气氛中高温氧化 、高温硫化腐蚀,钒 腐蚀、渗碳;磨蚀 水蒸气氧化;硫酸露 点腐蚀 铬-钼钢,奥氏 体不锈钢 低合金钢 高温 - 金属在某一温度下发生了明显的氧化反应, 那么这一温度对这种金属材料的氧化而言就属高温。 高温是相对的,与材料的熔点和活性有关。 -Fe,熔点15399,450; Al,熔点667,200; -Ti,熔点1667,500; Nb,熔点2470,500; 高温环境的工业背景 汽 车 排气用加热反应 器 CO催化器 温度约1370K、燃气(铅、磷、 硫、氯、溴等化合物存在);反 应加热,冷却;振动 温度约1120K 复杂气氛中高温氧 化;PbO引起加速 腐蚀 复杂气氛中高温氧 化 铁素体和奥氏体 不锈钢;铬、铝 等金属渗层 铁素体和奥氏体 不锈钢 垃圾焚烧炉 过热器 燃烧室温度10201220K,燃气 (少量SO2, HCl、Cl2显著增多, 形成局部还原气氛) 复杂气氛中高温氧 化,特别由HCl、 Cl2引起的加速氧化 ,熔融碱盐引起的 热腐蚀;磨蚀 铬-钼钢;铬表面 包覆 石油化工 石油精制,原油 蒸馏 接触改性 接触分解 氢化脱硫 乙烯制造 温度570720K;常压或负压; 含H2S、HCl气氛 温度690850K,压力1.5-5MPa ;H2和碳氢化物气氛 温度720820K,常压,存在流 动的催化剂 温度470770K,压力3.5- 20MPa;H2、H2S 温度9701170K;压力0.2- 0.5MPa;H2、H2O、C2H4及其他 碳氢化物 硫 化 氢蚀 硫化,由催化剂引 起的磨蚀 硫化,氢蚀 氧化,增碳损伤 Cr-Mo钢,熔融 镀铝 Mo钢,Cr-Mo钢 Cr-Mo钢, 不锈钢 Cr-Mo钢, 不锈钢 ,Al、Cr金属渗 层 HK40,Incoloy800 等 原子反应堆热 交换器 轻水冷却 液体金属冷却 氦冷却 温度530570K;水和水蒸 气 温度670970K;液态Na 温度10201270K;不纯氦 高温水引起的应 力腐蚀 脱碳、碱腐蚀 氦中微量杂质引 起氧化(内氧化 ),脱碳 奥氏体系不锈 钢;镍基合金 奥氏体不锈钢 Fe-Ni基耐热合 金,镍基耐热合 金 煤的液化,气 化 液化温度约720K,气化温 度约1300K,气氛中含有H2 、H2O、CO、H2S;存在有 固体微粒 高温硫化;磨蚀 Cr-Mo钢,不 锈钢 高温环境的工业背景 内在的因素:金属成分,金属微观结构,表面处理状态等 外在的因素:温度,气体成分,压力,流速等。 影响因素: 热力学 : 高温环境中反应的可能性。 动力学 :氧化反应的规律与速度。 研究方法: O2-O2-O2- O2 O2 氧化过程示意图 二 、 高温氧化热力学 2.1 热力学基本原理 M + O2 = MO2 G=G0+RTlnK G=G0-RTlnPO2 当PO2 PO2, G0,反应向生成MO2方向进行 当PO2= PO2, G=0,反应处于平衡状态 当PO2 PO2, G0,反应向MO2分解方向进行 Vant Hoff等温方程式 2.2 G0-T 图 M +H2O(g) = MO2 +H2(g) M +CO2(g)= MO2 +CO(g) Ellingham-Richardson图 (1) 以1摩尔氧消耗量为标准 (2) G0随T呈直线变化 (3) PO2、PH2/PH2O和PCO/PCO2 的辅助坐标 (4) 原点 几点说明: M + O2(g) = MO2 G0 = H0 - TS0,H0 为标准状态下的焓变,S0为 标准状态下的熵变。除相变点外,H0 和S0随温度 没有显著变化,G0随T呈直线变化。直线的斜率: 反应 M + O2 = MO2 氧是气体,其熵值比凝聚相大得多,故S0一般 总是负值,从而直线的斜率多为正值,即向上倾斜。 温度越高,G0的绝对值越小,氧化物的稳定性 越小。 (2) G0 随T呈直线变化 M + 2H2O(g) = MO2 + 2 H2(g) G0 M + O2 = MO2 G0MO2 2H2+ O2 = 2H2O G0H2O G0=-2RT ln(PH2/PH2O) G0=G0MO2 - G0H2O G0MO2=G0H2O-2RTln(PH2/PH2O) 当T=0时,G0MO2= G0H2O(T=0) 即PH2/PH2O辅助坐标的原点位于(0,G0H2O|T=0)处 (4) 原点 (1)读出任意温度下金属氧化反应的标准自由能变化值 (2)判断各种金属氧化物的化学稳定性 (3)预测金属元素在不同气氛中氧化的可能性 (1)读出任意温度下金 属氧化反应的标准自由能 变化值。 (2)判断各种金属氧化 物的化学稳定性 (3)预测金属元素在不同气氛中氧化的可能性 1600oCAl2O3的分 解压和平衡气体 CO/CO2组分的比 值。 Ellingham-Richardson图 优点:可方便地判断在不同温度和氧分 压下纯金属发生氧化反应并生成单 一氧化物的可能性。 缺点:不能处理实际的复杂情况。 (1) 气氛复杂,包含两种或两种以上的 反应元素。 (2) 实用金属材料多数为合金,所含金 属元素的种类和百分含量不同。 (3) 一种纯金属可能形成多种氧化物。 (4) 氧化物也不完全都是凝聚相(如挥 发性氧化物)。 (5) 腐蚀产物相间存在互溶和反应。 Metal carbides Metal sulfides 氧化速度的表征:氧化速度的表征: (1 1)金属的消耗量)金属的消耗量 (2 2)氧的消耗量)氧的消耗量 (3 3)生成的氧化物的量)生成的氧化物的量 1、 动力学测量方法 2a M + b O2a M + b O 2 2 = 2 = 2 MM a a O Ob b 三、 高温氧化动力学 氧的消耗量 1重量法 I. 不连续称重法 II. 连续称重法 热天平 2容量法 3压力法 TGA/DSC功能,质谱 分析, 水蒸汽,最高 温度2400oC,感量 0.03g TGA - ThermoGravimetry Analysis DTA Differential Thermal Analysis DSC Differential Scanning Calorimetry 2、氧化的动力学规律 直线规律 y = k t 抛物线规律 y2=2kt 立方规律 y3 = 3kt 对数规律 y=kln(t+c1)+c2 反对数规律 1/y=c -klnt 1)直线规律 碱金属、碱土金属、钨、钼、 矾及含这些元素较多的合金的氧 化符合直线规律。 2)抛物线规律 k:抛物线速度常数; Q:激活能。 3)立方规律 立方规律比较少见,仅出现在中温范围和氧化膜较 薄(5-20nm)的情况下。如镍在400oC左右,钛在350 600 oC氧化时。 4)、对数规律 当金属在低温氧化或在氧化初期,这时氧化膜很薄 (5nm)时,遵循对数规律。如铜、铁、锌、镍、铝 、钛、钽等初始氧化时。 5)、反对数规律 当金属在低温氧化或在氧化初期,这时氧化膜很薄 (5nm)时,遵循对数规律。如室温下,铜、铁、铝 、银的氧化。 3循环氧化动力学 模拟实际环境,评价氧化膜的抗剥落性能。 1.2 氧化物的基本性质结构与缺 陷 一、 氧化物的基本性质 (1)、熔点 金属熔点 () 氧化物熔点()金属熔点()氧化物熔点() Li180Li2O 1727Y 1500 Y2O3 2420 Na97.8Na2O 920-La 880 La2O3 2320 Mg650MgO 2800-Ce 775 CeO2 2600 Al660Al2O3 2047-Hf 2225 HfO2 2780 Si1420SiO2(石英) 1610-Fe 1537 Fe0.974O 1374 SiO2(方石英) 1720 Fe3O4 1597 SiO2(鳞石英) 1680 Fe2O3 1562 Be1284BeO 2530-Co 1495 CoO 1810 -Ca850CaO 2587Ni 1455 NiO 1957 -Ba710BaO 1920Cu 1083 Cu2O 1242 -Ti1660TiO2 1870 CuO 1336 V1920V2O3 1970Zn 419.5 ZnO 1975 V2O5 670-Zr 1860 ZrO2 2900 -Mn1136MnO 1785Nb 2470 Nb2O5 1490 Mo2620MoO2 1927Ta2990Ta2O5 1785 MoO3 801-U1132UO2 2840 W3380WO2 1570UO3 652 WO3 1473Pt1769PtO2 450 (2) 氧化物的挥发性 Clapeyron关系式: 氧化物蒸发时 MO2(s) = MO2(g) (G0, S0, H0) (理想气体时 ) (3) 氧化物与金属的体积比 a M + b/2 O2 = MaOb 氧化物与形成该氧化物消耗的金属的体积比称为PRB (Pilling-Bed-worth Ratio) 氧化物 生成量 金属消 耗量 氧化物分子 的摩尔质量 金属原子的 摩尔质量 表2.2 氧化物与对应的纯金属的体积比 氧化物PBR氧化物PBR氧化物PBR Li2O0.58-Nb2O52.68OsO23.24 -Li2O20.83-Ta2O52.50IrO22.23 Na2O0.55-Ta2O52.43Cu2O1.64 Na2O20.67MoO33.30CuO1.72 K2O0.45-WO33.35Ag2O1.56 -KO20.73-TiO1.20ZnO1.55 Rb2O0.42TiO21.73CdO1.21 Cs2O0.44-ZrO21.56HgO1.30 BeO1.68-ZrO21.45-Al2O31.28 MgO0.81Cr2O32.07-Al2O31.54 CaO0.64MnO1.79-Al2O31.49 SrO0.61FeO1.681.76-Ga2O31.23 BaO0.67Fe3O42.10In2O31.26 Y2O31.39-Fe2O32.14-SiO2(石英)1.88 La2O31.10CoO1.86-SiO2(方石英)2.15 CeO21.22Co3O42.01-GeO21.23 ThO21.35NiO1.65-SnO21.32 UO21.98Rh2O31.88-PbO1.31 V2O31.82PdO1.65-Sb2O31.44 -Al2O3-Cr2O3; CaO-MnO; CeO2-Dy2O3; CeO2-Gd2O3; CeO2 -PuO2; CeO2-Sm2O3; CeO2-Y2O3; CoO-NiO; CoO-MgO; Cr2O3-Fe2O3; FeO-MgO; Fe3O4-MgFe2O4; FeO-MnO; Fe3O4 -Mn3O4; MgO-NiO; PuO2-ThO2; ThO2-UO2 ; ThO2-ZrO2(2700以上)。 2、 氧化物间的溶解与反应性 (1) 氧化物间的溶解性 表2.3 完全互溶的双氧化物体系 -Al2O3-Cr2O3 -(Al, Cr)2O3 MnAl2O4; FeAl2O4; CoAl2O4; NiAl2O4; ZnAl2O4; Mg2VO4; MgV2O4; FeV2O4; ZnV2O4; MgCr2O4; MnCr2O4; FeCr2O4; CoCr2O4; NiCr2O4; ZnCr2O4; Fe2MnO4; MgFe2O4; MgCo2O4; Fe2CoO4; Fe2NiO4; Co2NiO4; CuFe2O4; CuCo2O4; ZnFe2O4; GeNi2O4; SnCo2O4; Mg2SnO4; Zn2SnO4 表2.4 尖晶石结构的复合氧化物 (2) 氧化物间的固相反应 NiO + Cr2O3 = NiCr2O4 NiO + Al2O3 = NiAl2O4 CoO + Al2O3 = CoAl2O4 尖晶石氧化物 - MN2O4 或 M2NO4 Fe3O4 - FeFe2O4 二、 氧化物的晶体结构 五种典型的结构:氯化钠(NaCl)型氟化钙(CaF2)型 金红石(TiO2)型刚玉(-Al2O3)型尖晶石( MN2O4)型 简单金属氧化物: 氧离子按六角或面心立方密排, 金 属离子占据密堆积结构的间隙位置。 1. 氯化钠型结构 2. 氟化钙型结构 3. 金红石型结构 4. 刚玉型结构 表2.5 属于不同类型结构的氧化物种类 晶体结结构类类型氧化物种类类 氯氯化钠钠型MgOCaOSrOCdOCoONiOFeOMnO TiONbOVO 氟化钙钙型ZrO2HfO2UO2CeO2ThO2PuO2 金红红石型TiO2SnO2MnO2VO2MoO2WO2RnO2GeO2 刚刚玉型-Al2O3-Fe2O3Cr2O3Ti2O3V2O3 5. 尖晶石型结构 氧离子构成面心立方晶格,而金属离子占据着四面体 和八面体间隙位置。尖晶石原胞中含有32个氧离子, 因而含64个四面体和32个八面体间隙位置。 正尖晶石结构: MgAl2O4原胞中,Al3+占据着所有八 面体间隙位置的一半,而Mg2+则占 据着所有四面体位置的1/8 反尖晶石结构: Fe3O4的晶体结构中,Fe3+占据了四面 体间隙的1/8,剩余的Fe3+和Fe2+离子 则占据了八面体间隙位置的一半。 Fe3+四面体(Fe2+,Fe3+)八面体O42-。 三、氧化物中的缺陷 点缺陷 空位,间隙,替位式杂质离子 线缺陷 位错 (刃位错和螺位错) 面缺陷 小角晶界,孪晶界,堆垛层错 1、 化学计量的氧化物 对点缺陷 ,Krger-Vink符号系统: 点缺陷 名称 点缺陷所带 有效电荷 缺陷在晶格 中所占位置 :中性 :正电荷 :负电荷 M:金属格位 O:氧 格 位 i: 间 隙 M:金属 O:氧 V: 空位 点缺陷所带电荷: 实际电荷(价态),有效电荷 电中性原则:所有带电粒子(空位,间隙,电子,电子空穴) 氧离子空位 二价金属离 子空位 间隙二价金 属离子 间隙氧离子 肖脱基(Schottky)缺陷:空位缺陷 弗兰克尔( Frankel)缺陷:间隙数量=空位数量 2、 非化学计量的氧化物 1). 氧化物的半导体类型 I. n-型半导体 a. 金属过剩型(M1+O) Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 e- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 e- Zn Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- e- e- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 图2.6 ZnO缺陷结构简化示意图 b. 非金属不足型(MO1-) II. p-型半导体 a. 金属不足型(M1-O) b. 非金属过剩型(MO1+) III. 本征半导体 0 = h + e Ni2 O2- Ni2 O2- Ni2 O2- Ni2 O2- O2- Ni3 O2- Ni3 O2- O2- Ni2 Ni2 O2- O2- Ni2 O2- Ni3 O2- O2- Ni2 O2- Ni3 O2- Ni2 O2- Ni2 图2.7 NiO缺陷结构简化示意图 MaOb 不同半导体类型的氧化物(硫化物和氮化物)种类 分类氧化物,硫化物和碳化物 n-型半导体BeO,MgO,CaO,SrO,BaO,BaS,ScN,CeO2,ThO,UO3, U3O8,TiO2,TiS2,(Ti2S3),TiN,ZrO2,V2O5,(V2S3),VN, Nb2O5,Ta2O5,(Cr2S3),MoO3,WO3,WS2,MnO2,Fe2O3, MgFe2O4,NiFe2O4,ZnFe2O4,ZnCo2O4,(CuFeS2),ZnO, CdO,CdS,HgS,Al2O3,MgAl2O4,ZnAl2O4,Tl2O3,(In2O 3),SiO2,SnO2,PbO2 p-型半导体UO2,(VS),(CrS),Cr2O3(1250),MgCr2O4,FeCr2O4, CoCr2O4,ZnCr2O4,(WO2),MoS2,MnO,Mn3O4,Mn2O3, ReS2,FeO,NiO,NiS,CoO,(Co3O4),PdO,Cu2O,Cu2S, Ag2O,CoAl2O4,NiAl2O4,(Ti2O),Ti2S,(GeO),SnS, (PbO),(Sb2S3),(Bi2S3) 两性导体(电子导体 和离子导体) TiO,Ti2O3,VO,Cr2O3(1250),MoO2,FeS2,(OsS2), (IrO2),RuO2,PbS 电导率: 即单位电场强度中通过的电流密度(-1cm-1) 传输数 : 2)、 氧化物的电导率 非化学计量氧化物内缺陷反应时必须遵守的一些规则: (1) 正常的正、负离子格点数之比是一个常数。 (2) 缺陷反应前后正常格点数可能会发生变化。 (3) 质量守恒。空位,电子和电子空穴质量可忽略. (4) 电中性。 Nernst-Einstein公式: (二价间隙Zn离子) 一价间隙Zn离子: I. 金属过剩型(n-型半导体) Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 O2- Zn2 e- O2- Zn2 O2- e- O2- Zn2 O2- Zn2 O2 + .非金属不足型(n-型半导体) M2 O2- M2 O2- M2 O2- M2 O2- e- O2- M2 O2- M2 O2- M2 M2 1/2 O2 + M2 O2- M2 O2- M2 O2- M2 O2- e- O2- M2 O2- M2 O2- M2 O2- M2 非化学计量氧化物MO2-中缺陷形成模式 . 金属不足型(p-型半导体) Ni2 O2- Ni2 O2- Ni2 O2- Ni3 O2- O2- Ni2 O2- Ni2 Ni2 O2- O2- Ni2 + 1/2 O2 Ni2 O2- Ni2 O2- O2- Ni2 O2- Ni3 O2- O2- Ni2 O2- Ni2 O2- Ni2 O2- Ni2 图2.10 非化学计量NiO中缺陷形成模式 . 本征半导体 对本征半导体,电子或电子空位的浓度与氧分压无关, 从而电导率也与氧分压无关。 一般地,n-型半导体氧化物的电导率随氧分压成 负指数幂(小于1)变化;而P-型半导体氧化物的恰 相反,与氧分压成正指数幂关系。. 3. 掺杂对氧化物缺陷性质的影响 杂质离子的存在方式:间隙,替位 间隙 间隙离子浓度增加,电子浓度也增加。 替位 取决于杂质离子与基体金属离子的价态比。 利用化学热力学可作简单分析。分析中假设,杂质 离子浓度在其溶解度范围,为稀溶液;只考虑价态的影 响,忽略离子半径和应力场的影响。 I. ZnO中掺杂Al2O3 (1) 一个Al2O3分子中有三个氧离子,但只有两个氧 离子可以和被Al3+替换出来的两个Zn2+构成两对ZnO晶 格。剩余的一个氧离子必然放电,以中性氧的形式释放 到气氛中,并在导带中产生两个电子。 Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- e- e- e- O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 O2- Al3 O2- Zn2 Zn2 + Al2O3 1/2 O2(g)+ e- Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- e- e- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 Al3 O2- Zn2 O2- Zn2+ 图2.12 一种模式的ZnO中掺杂Al2O3时的结构示意图 (2) 当氧离子放电产生的电子进入氧化物的导带,破坏 了ZnO中原来保持的缺陷平衡。因此,Al2O3中全部氧离子 可以结合构成新的晶格格点,同时还要消耗间隙Zn离子。 Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- e- e- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Al3 O2- Zn2 Zn2 + Al2O3 Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Al3 O2- Zn2 O2- e- e- O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 图2.13 另一种模式的ZnO中掺杂Al2O3时的结构示意图 IIZnO中掺杂Li2O (1) 两个Li+离子占据正常的Zn2+的位置,但Li2O中仅提 供一个配对的氧离子。另一个氧离子由气氛中的1/2O2充, 并从导带上获取两个电子而发生电离。 Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- e- O2- Zn2 O2- Zn2 Li O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 + Li2O +1/2O2 Zn2 Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Zn2 O2- Li O2- e- O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 一种模式的ZnO中掺杂Li2O时的结构示意图 (2)由于从导带取出电子从而破坏了ZnO中原来保持的 缺陷平衡。两个Li+占据正常的Zn2+的位置时,有一个Zn2+ 进入间隙 。 Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- e- e- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 Zn2 O2- Li O2- Zn2 Zn2 + Li2O Zn2 Zn2 O2- Zn2 O2- O2- Li O2- Zn2 O2- e- e- O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 O2- Zn2 另一种模式的ZnO中掺杂Li2O时的结构示意图 III. NiO中掺杂Cr2O3 IV. NiO中掺杂Li2O Wagner-Hauffe半导体价法则: 对于电子导体氧化物(n-型和P-型半导体) (a) 在n-型半导体中 如果ZFZM , 则离子缺陷的浓度降低; 如果ZF ZM, 则离子缺陷的浓度增加。 (b) 在P-型半导体中 如果ZF ZM, 则离子缺陷的浓度降低; 如果ZFZM, 则离子缺陷的浓度增加。 1.3 金属氧化基本理论 一、 氧化过程的一般描述 整个反应过程包括如下步骤: (1) 气氛中的O2向O2/ MO界面扩散, 并发 生物理吸附。 O2 (g) O2 (ad.) (2) 在O2/ MO界面 O2 (ad.) = 2 O2- + 4 h 或 O2 (ad.) + 4 e = 2 O2- (3) 在MO/ M界面 M + 2 h = M2+ 或 M = M2+ + 2 e 总反应为 M2+ + O2- = MO (4) 正负离子通过氧化膜的扩散。 氧化的控制步骤:最慢的分步骤 氧化的控制步骤:最慢的分步骤 I. 通常的氧化气氛中,步骤(1)即气氛中氧向氧化膜表 面的传输速度是非常迅速的,可以供应充分的氧以维 持反应进行。只有在一些特殊环境中,稀薄气体(高 真空)或稀释气体(惰性气氛,氧分压非常低)中, 相比之下气氛中的氧向氧化膜表面的传输才成为速度 最慢的步骤。此种情况下,步骤(1)成为氧化的控制步 骤。 II. 假如界面的反应速度不是很快,并成为氧化的控制 步骤,那么氧化速度与离子和电子在氧化膜内的传输 速度无关,即与氧化膜厚度无关。 正负离子通过氧化膜 的扩散是控制步骤 (1)p-型氧化物生长机制 (2)n-型氧化物生长机制 对多晶氧化物,需考虑晶界扩散 VM向里, h.向里 Mi向外, e向外 VO向外, e向外 二、 Wagner 理论 p 理论明确了正负离子通过已形成的氧化膜的扩散 是金属氧化的速率控制步骤时,氧化动力学遵循 抛物线规律。 p 确定了抛物线速率常数与参与反应的粒子的电导 率、扩散系数、氧分压等参数之间的定量关系。 p 合金内氧化和选择性氧化理论的基础。 1. 模型的建立 界面反应与化学位梯度的建立 在O2/MO界面,依据反应2M+O2=2MO
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